JPS63160659U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63160659U JPS63160659U JP5362287U JP5362287U JPS63160659U JP S63160659 U JPS63160659 U JP S63160659U JP 5362287 U JP5362287 U JP 5362287U JP 5362287 U JP5362287 U JP 5362287U JP S63160659 U JPS63160659 U JP S63160659U
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- JP
- Japan
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- electrostatic
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- semiconductor manufacturing
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- Pending
Links
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 4
Description
第1図は従来のイオン注入装置のX方向のイオ
ンビーム走査の構成又第2図はY方向の走査の構
成の一例で、第3図、第4図はそれぞれX方向、
Y方向のイオンビーム走査の構成の一例である。 〔符号の説明〕、1,1′……X方向静電走査
電極、2,2′……Y方向静電走査電極、3……
ウエーハ、4……走査イオンビーム、5,5′…
…X方向静電偏向電極、6,6′……Y方向静電
偏向電極、7……走査偏向イオンビーム。
ンビーム走査の構成又第2図はY方向の走査の構
成の一例で、第3図、第4図はそれぞれX方向、
Y方向のイオンビーム走査の構成の一例である。 〔符号の説明〕、1,1′……X方向静電走査
電極、2,2′……Y方向静電走査電極、3……
ウエーハ、4……走査イオンビーム、5,5′…
…X方向静電偏向電極、6,6′……Y方向静電
偏向電極、7……走査偏向イオンビーム。
Claims (1)
- 半導体製造用の静電界走査型のイオン注入装置
において、静電走査による偏向を補正し、ウエー
ハ基板に対し、任意の位置で垂直にイオン注入を
可能にしたことを特徴としたイオン注入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5362287U JPS63160659U (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5362287U JPS63160659U (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63160659U true JPS63160659U (ja) | 1988-10-20 |
Family
ID=30879859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5362287U Pending JPS63160659U (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63160659U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61263038A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-21 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置 |
-
1987
- 1987-04-08 JP JP5362287U patent/JPS63160659U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61263038A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-21 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置 |