JPS63157927U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63157927U JPS63157927U JP5055287U JP5055287U JPS63157927U JP S63157927 U JPS63157927 U JP S63157927U JP 5055287 U JP5055287 U JP 5055287U JP 5055287 U JP5055287 U JP 5055287U JP S63157927 U JPS63157927 U JP S63157927U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- tank
- treatment
- supply means
- supplying
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である半導体装置の
ウエハ処理装置の縦断面図、第２図は第１図の装
置のＡ―Ａ′線についての横断面図、第３図は第
１図の装置のシヤワーノズル部の正面図である。 １……ウエハ処理装置、２……処理槽、３，４
，５……停溜槽、３ａ，４ａ，５ａ……シヤワー
ノズル、６ａ，６ｂ，６ｃ，１０ａ，１０ｂ，１
４……供給管、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，１２ａ
，１２ｂ……空気制御バルブ、２０ａ，２０ｂ，
２３ａ，２３ｂ……排出管。
ウエハ処理装置の縦断面図、第２図は第１図の装
置のＡ―Ａ′線についての横断面図、第３図は第
１図の装置のシヤワーノズル部の正面図である。 １……ウエハ処理装置、２……処理槽、３，４
，５……停溜槽、３ａ，４ａ，５ａ……シヤワー
ノズル、６ａ，６ｂ，６ｃ，１０ａ，１０ｂ，１
４……供給管、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，１２ａ
，１２ｂ……空気制御バルブ、２０ａ，２０ｂ，
２３ａ，２３ｂ……排出管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 処理すべき半導体ウエハを収納する処理槽と、 上記処理槽に連結され上記処理を行なうための
複数種の処理物質を上記処理槽に各別に供給する
ための複数の供給手段と、 上記各供給手段に設けられ上記処理槽への処理
物質の供給と停止を行なう開閉手段と、 上記処理槽に連結され使用済みの上記処理物質
を排出するための排出手段とを備えたことを特徴
とする半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5055287U JPS63157927U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5055287U JPS63157927U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63157927U true JPS63157927U (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=30874021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5055287U Pending JPS63157927U (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63157927U (ja) |
-
1987
- 1987-04-02 JP JP5055287U patent/JPS63157927U/ja active Pending