JPS63153805A - Manufacture of voltage nonlinear resistance element - Google Patents

Manufacture of voltage nonlinear resistance element

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JPS63153805A
JPS63153805A JP62215849A JP21584987A JPS63153805A JP S63153805 A JPS63153805 A JP S63153805A JP 62215849 A JP62215849 A JP 62215849A JP 21584987 A JP21584987 A JP 21584987A JP S63153805 A JPS63153805 A JP S63153805A
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JP
Japan
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sintered body
electrode
nonlinear resistance
resistance element
electroless plating
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宮林 進
梶 毅之
信義 佐々木
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、酸化チタン(Ti(h)を主成分とする焼結
体を用いた電圧非直線性抵抗素子の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a voltage nonlinear resistance element using a sintered body containing titanium oxide (Ti(h)) as a main component.

電圧非直線性抵抗素子は、焼結体に設けた電極間に加え
られる印加電圧によって抵抗値が非直線的に変化し、印
加電圧がバリスタ電圧を超える範囲で、抵抗値が急激に
減少する特異な性質を有する。この特性に着目し、電圧
非直線性抵抗素子は音響機器に関連する小形直流モータ
のノイズ防止、リレー接点の保護、カラーテレビブラウ
ン管回路の放電吸収などの手段として広く利用されてい
る。
Voltage nonlinear resistance elements are unique in that the resistance value changes nonlinearly depending on the applied voltage applied between the electrodes provided on the sintered body, and the resistance value rapidly decreases in the range where the applied voltage exceeds the varistor voltage. It has the following characteristics. Taking note of this characteristic, voltage nonlinear resistance elements are widely used as a means for noise prevention in small DC motors associated with audio equipment, protection of relay contacts, and discharge absorption in color TV cathode ray tube circuits.

電圧非直線性抵抗素子は、これを取り付けるべき機器の
構造、形状等に応じて、例えば第1図に示すように、平
板状に形成された焼結体1の相対向二面に電極2.3を
設け、該電極2.3上にリード線4.5を半田付けする
構造としたり、或いは第2図(A)、(B)に示すよう
に、小形直流モータの回転軸等を通す孔6を有して円環
状に形成された焼結体7の両面に、共通電極8および分
割電極9a、9b、9cをそれぞれ設け、分割電極9a
、9b、9cを小形直流モータの整流子片等にリード線
によって導通接続する構造となっていた。
Depending on the structure, shape, etc. of the equipment to which the voltage nonlinear resistance element is attached, the voltage nonlinear resistance element may be formed by attaching electrodes 2. 3, and a lead wire 4.5 is soldered onto the electrode 2.3, or as shown in FIGS. A common electrode 8 and divided electrodes 9a, 9b, and 9c are provided on both sides of a sintered body 7 formed in an annular shape with a common electrode 8 and divided electrodes 9a, 9b, and 9c, respectively.
, 9b, and 9c are electrically connected to a commutator piece or the like of a small DC motor through lead wires.

ところで、従来の電圧非直線性抵抗素子としては、酸化
錫(Snow)系、酸化鉄(Fezo3)系、シリコン
カーバイト(SiC)系等のものが知られている。
Incidentally, as conventional voltage nonlinear resistance elements, those based on tin oxide (Snow), iron oxide (Fezo3), silicon carbide (SiC), etc. are known.

このうちSnO,系、Fe2O,系のものは焼結体自体
は直線性抵抗体で、これに特別の電極を付与することに
より、焼結体と電極との間に電位障壁を形成し、これに
よってバリスタ特性を得ている。またSiC系のものは
、SiC粒子間の接触面でバリスタ特性を得ているので
、特に電極を選ばない。
Among these, the sintered body itself of the SnO type and Fe2O type is a linear resistor, and by adding a special electrode to it, a potential barrier is formed between the sintered body and the electrode. This gives it varistor characteristics. In addition, since SiC-based materials obtain varistor characteristics at the contact surfaces between SiC particles, any electrode is not particularly selected.

しかしながら、上述の従来の電圧非直線性抵抗素子は、
電極の形成や焼結体の成形などの製造上の困難性を伴い
、価格が高くなること、非直線性の経時的劣化を招き易
いこと、さらにはバリスタ電圧が高く、低電圧用の小形
直流モータのノイズ防止等の用途に適さないこと等の欠
点がある。
However, the conventional voltage nonlinear resistance element described above is
It involves manufacturing difficulties such as forming electrodes and molding sintered bodies, which increases the price, tends to cause deterioration of nonlinearity over time, and furthermore, the varistor voltage is high, making it difficult to use small DC for low voltage. It has drawbacks such as not being suitable for applications such as motor noise prevention.

このような従来の欠点を改善するものとして、酸化チタ
ン(Ti02)を主成分とし、これに半導体元素(アン
チモン、ニオブ、タンタル等)の酸化物と酸化ビスマス
を微量添加して焼結した酸化チタン系の電圧非直線性抵
抗素子が提案されたいる。
In order to improve these conventional drawbacks, titanium oxide (Ti02) is the main component, and titanium oxide (Ti02) is sintered by adding small amounts of oxides of semiconductor elements (antimony, niobium, tantalum, etc.) and bismuth oxide. A system of voltage nonlinear resistance elements has been proposed.

この酸化チタン系の電圧非直線性抵抗素子は、焼結体自
身が第3図の曲線Llで示すような優れた電圧非直線性
を示し、かつバリスタ電圧7丁も低く、焼結体自身の電
圧非直線性に着目する限りは、小形直流モータのノイズ
防止などのように、低電圧の用途に最適である。
In this titanium oxide-based voltage nonlinear resistance element, the sintered body itself exhibits excellent voltage nonlinearity as shown by curve Ll in Figure 3, and the varistor voltage is also low. As long as we focus on voltage nonlinearity, it is ideal for low-voltage applications such as noise prevention in small DC motors.

ところが、焼結体と電極との間の接触が非オーム性接触
になると、焼結体と電極との間に第3図の曲線L2のよ
うな整流特性が生じるため、電極間における電圧非直線
性が曲線り、と、曲線L2とを合成した曲線り、のよう
な鈍化した特性となり、曲線L1で示す焼結体自身の優
れた電圧非直線性を有効に利用できないという欠点を生
じる。
However, when the contact between the sintered body and the electrode becomes a non-ohmic contact, a rectification characteristic as shown in curve L2 in Fig. 3 occurs between the sintered body and the electrode, resulting in a non-linear voltage between the electrodes. The characteristics become blunt, such as a curve that is a combination of curve L2 and curve L2, resulting in a drawback that the excellent voltage nonlinearity of the sintered body itself, shown by curve L1, cannot be effectively utilized.

そこで本発明は、酸化チタン系の電圧非直線性抵抗素子
において、焼結体自身の持つ優れたバリスタ特性を充分
に発揮しえ、しかも焼結体に対する接着力が強く、耐食
性に富み、材料コストの安価な電極構造を有する電圧非
直線性抵抗素子を、焼結体素地を傷めることなく、高精
度のパターンで、容易に製造し得る製造方法を提供する
ことを目的とする。
Therefore, the present invention provides a titanium oxide-based voltage nonlinear resistance element that can fully utilize the excellent varistor properties of the sintered body itself, has strong adhesive strength to the sintered body, is highly corrosion resistant, and has low material costs. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method that allows a voltage nonlinear resistance element having an inexpensive electrode structure to be easily manufactured in a highly accurate pattern without damaging a sintered body.

上記目的を達成するため、本発明は、酸化チタンを主成
分とする焼結体にニッケルを主成分とするオーム性接触
電極を有する電圧非直線性抵抗素子を製造する方法にお
いて、前記焼結体の略全表面にニッケルを主成分とする
無電解メッキを施す工程と、前記無電解メッキの表面の
電極形成領域にエツチングレジストを塗布して電極パタ
ーンを特定する工程と、前記エツチングレジストを塗布
した領域以外の無電解メッキをエツチング除去する工程
と、前記エツチングレジストを除去する工程と、前記焼
結体に残っている無電解メッキをオーム性接触電極化す
る熱処理工程とよりなることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method for manufacturing a voltage nonlinear resistance element having an ohmic contact electrode mainly composed of nickel on a sintered body mainly composed of titanium oxide. a step of applying electroless plating containing nickel as a main component to substantially the entire surface of the electrode, a step of applying an etching resist to an electrode formation area on the surface of the electroless plating to specify an electrode pattern, and a step of applying the etching resist. The method is characterized by comprising a step of etching away electroless plating outside the region, a step of removing the etching resist, and a heat treatment step of converting the electroless plating remaining on the sintered body into an ohmic contact electrode. .

すなわち、本発明は、例えば第1図、第2図に示す構造
の電圧非直線性抵抗素子において、酸化チタンを主成分
とし、これに半導体元素(アンチモン、ニオブ、タンタ
ル等)の酸化物と酸化ビスマスを微量添加した焼結体に
、通常の電極を付与すると、電極が非オーム性接触とな
り、焼結体自身の持っている優れたバリスタ特性を充分
に発揮できないので、電極としてオーム性接触電極を付
与し、焼結体自身の持つ優れたバリスタ特性を充分に発
揮させるものである。
That is, the present invention provides a voltage nonlinear resistance element having the structure shown in FIGS. 1 and 2, for example, in which titanium oxide is the main component and oxides of semiconductor elements (antimony, niobium, tantalum, etc.) and If a normal electrode is applied to a sintered body containing a small amount of bismuth, the electrode will become a non-ohmic contact and the excellent varistor properties of the sintered body itself cannot be fully demonstrated, so an ohmic contact electrode is used as the electrode. This gives the sintered body its own excellent varistor properties.

オーム性接触電極としては、In−Ga合金によるもの
も考えられる。しかしIn−Ga合金は非常に高価で量
産に適さない。またIn−Ga合金を焼結体につけるに
は、こすり付けるか又は超音波ろう付けをしなければな
らず、焼結体に対する電極の接着力が弱く、電極剥離な
どの事故も生じ易い。更にIn−Ga合金は融点が低く
、リード線のハンダ付時等に多くの問題点を生じる。
The ohmic contact electrode may also be made of an In-Ga alloy. However, In-Ga alloy is very expensive and is not suitable for mass production. Furthermore, in order to attach the In-Ga alloy to the sintered body, rubbing or ultrasonic brazing must be performed, and the adhesion of the electrode to the sintered body is weak and accidents such as electrode peeling are likely to occur. Furthermore, the In--Ga alloy has a low melting point, which causes many problems when soldering lead wires.

そこで本発明においては、酸化チタンを主成分とする焼
結体に、オーム性接触電極を設けるにあたって、無電解
メッキを採用し、焼結体にニッケルを主成分とするオー
ム性接触電極を設ける。
Therefore, in the present invention, electroless plating is used to provide an ohmic contact electrode on a sintered body containing titanium oxide as a main component, and an ohmic contact electrode containing nickel as a main component is provided on the sintered body.

ニッケルを主成分とするオーム性接触電極は、従来のl
N−Ga合金によるものに比べて著しく安価であり、量
産性の富むものである。従って、本発明によれば、焼結
体と電極との間の接着力が非常に大きく、電極の界面剥
離などを生じ難く、しかも経時的劣化も小さく、高信頼
度かつ安価な酸化チタン系の電圧非直線性抵抗素子を製
造できる。
The nickel-based ohmic contact electrode
It is significantly cheaper than those made of N-Ga alloys and is highly suitable for mass production. Therefore, according to the present invention, the adhesion between the sintered body and the electrode is very strong, it is difficult to cause interfacial peeling of the electrode, and the deterioration over time is also small. Voltage nonlinear resistance elements can be manufactured.

次に第4図(aI)〜(a4)および(b+)〜(b4
)を参照し、本発明に係る電圧非直線性抵抗素子の製造
方法を具体的に説明する。この実施例は、第2図(A)
、(B)に示した分割電極構造を有する酸化チタン系の
電圧非直線性抵抗素子を得る場合の具体例を示している
が、他の形状、構造のものにも同様に適用することがで
きる。
Next, Fig. 4 (aI) to (a4) and (b+) to (b4
), a method for manufacturing a voltage nonlinear resistance element according to the present invention will be specifically described. This example is shown in Fig. 2(A).
, shows a specific example of obtaining a titanium oxide-based voltage nonlinear resistance element having the split electrode structure shown in (B), but it can be similarly applied to other shapes and structures. .

まず、酸化チタン(Ti02)を主成分とし、これに酸
化ニオブ(Nb20s)と酸化ビスマス(Bi20s)
を微量添加した組成物を1380℃の温度で焼成して、
孔6を有する円環状の焼結体7を作成した後、第4図(
a、)、(bl)に示すように、この焼結体7の全表面
に、ニッケルを主成分とする無電解メッキを施す。ニッ
ケルの無電解メッキに当っては、焼結体フを塩化錫溶液
と塩化パラジウム溶液に浸漬して、電極形成領域10a
〜10dを活性化した後、塩化ニッケル、次亜燐酸ナト
リウム、クエン酸ナトリウムからなるメッキ溶液に浸漬
し、80〜90℃の温度でニッケルー燐の無電解メッキ
を施す。
First, titanium oxide (Ti02) is the main component, and niobium oxide (Nb20s) and bismuth oxide (Bi20s) are added to it.
A composition to which a small amount of is added is baked at a temperature of 1380°C,
After creating an annular sintered body 7 having holes 6, as shown in FIG.
As shown in (a) and (bl), the entire surface of this sintered body 7 is electroless plated with nickel as the main component. For electroless plating of nickel, the sintered body is immersed in a tin chloride solution and a palladium chloride solution to form the electrode forming area 10a.
After activating ~10d, it is immersed in a plating solution consisting of nickel chloride, sodium hypophosphite, and sodium citrate, and electroless nickel-phosphorus plating is applied at a temperature of 80 to 90°C.

次に第4図(a2)、(b2)に示すように、無電解メ
ッキの表面の、電極形成領域10a〜10dに、エツチ
ングレジストlla〜lidをスクリーン印刷法等の手
段によって塗布し、これによって電極パターンを特定す
る。エツチングレジストlla〜lidとしては、ブロ
ードコート(商品名)が有効である。
Next, as shown in FIGS. 4(a2) and 4(b2), etching resists lla to lid are applied to the electrode forming areas 10a to 10d on the surface of the electroless plating by means such as screen printing. Identify the electrode pattern. Broadcoat (trade name) is effective as the etching resists lla to lid.

次に、この焼結体7をエツチング液に漫潰し、エツチン
グレジストlla〜lidを塗布した領域以外の無電解
メッキをエツチング除去する。
Next, this sintered body 7 is immersed in an etching solution, and the electroless plating other than the areas coated with the etching resists lla to lid is etched away.

エツチング液としては、酢酸、硝酸およびアセトンを1
=1=1の割合で混ぜたものを使用し、約40℃の温度
条件でエツチング処理する。これにより第4図(a、)
、(b、)に示すように、焼結体7の電極形成領域10
a〜10dに、電極8、分割電極9a、9b、9cとな
る無電解メッキ層およびエツチングレジストlla〜t
tctを有するものが得られる。
As an etching solution, acetic acid, nitric acid, and acetone are mixed in 1 part.
Using a mixture in the ratio of =1=1, etching is performed at a temperature of approximately 40°C. As a result, Fig. 4 (a,)
, (b), the electrode formation region 10 of the sintered body 7
a to 10d, electroless plating layers and etching resists lla to t, which become the electrode 8, divided electrodes 9a, 9b, and 9c;
tct is obtained.

次に、アルカリ性溶液または有機溶剤などを用いてエツ
チングレジストlla〜lidを除去し、第4図(a4
)、(b4)に示すように、焼結体7の両面にニッケル
を主成分とする電極8、分割電極98〜9cを有するも
のが得られる。次に、これを300℃前後の温度で熱処
理することにより、安定したオーム性接触の電極8、分
割電極98〜9cを有する電圧非直線性抵抗素子が得ら
れる。
Next, the etching resists lla to lid are removed using an alkaline solution or an organic solvent, and the etching resists lla to lid are removed using an alkaline solution or an organic solvent.
) and (b4), a sintered body 7 having electrodes 8 mainly composed of nickel and divided electrodes 98 to 9c on both sides is obtained. Next, by heat-treating this at a temperature of around 300° C., a voltage nonlinear resistance element having stable ohmic contact electrode 8 and divided electrodes 98 to 9c can be obtained.

このようして得られたオーム性接触電極8.9a〜9c
は、焼結体7に対する接着力が非常に強く、しかも耐食
性に優れたものとなる。また、In−Ga合金を使用し
たものに比較して、電極材料費が遥かに安価で、量産的
である。
Ohmic contact electrodes 8.9a to 9c thus obtained
has very strong adhesion to the sintered body 7 and excellent corrosion resistance. Furthermore, compared to those using In--Ga alloys, the cost of electrode materials is much lower and mass production is possible.

また、焼結体の略全面に無電解メッキを施した後、無電
解メッキの表面にエツチングレジストを塗布して電極パ
ターンを特定する製造工程を経ることにより、焼結体の
素地を傷めることがない。
In addition, by applying electroless plating to almost the entire surface of the sintered body and then applying etching resist to the surface of the electroless plating to specify the electrode pattern, there is no possibility of damaging the base of the sintered body. do not have.

しかもエツチングレジストはスクリーン印刷法などによ
り高精度のパターンで容易に塗布することができるから
、複雑な電極パターンであっても、高精度で容易に形成
することができる。
Furthermore, since the etching resist can be easily applied in a highly accurate pattern using a screen printing method or the like, even a complicated electrode pattern can be easily formed with high accuracy.

なお、安定したオーム性接触電極を得るためには、ニッ
ケル98〜80重量%、燐2〜20重量%からなる電極
を付与することが必要であるが、ニッケルと燐の組成割
合は、メッキ溶液の水素イオン濃度(PI()によって
制御され、PHIO以上の溶液では燐の割合が2重量%
以下、PH2以下では燐の割合が20重量%以上になる
。従って良好なオーム性接触電極を得るために、メッキ
溶液の水素イオン濃度PHを、P)I−2〜10の範囲
に設定する必要がある。
In addition, in order to obtain a stable ohmic contact electrode, it is necessary to provide an electrode consisting of 98 to 80% by weight of nickel and 2 to 20% by weight of phosphorus, but the composition ratio of nickel and phosphorus is determined by the plating solution. It is controlled by the hydrogen ion concentration (PI()), and in solutions above PHIO the proportion of phosphorus is 2% by weight.
Hereinafter, when the pH is below 2, the proportion of phosphorus is 20% by weight or more. Therefore, in order to obtain a good ohmic contact electrode, it is necessary to set the hydrogen ion concentration PH of the plating solution in the range of P)I-2 to 10.

以上述べたように、本発明は、酸化チタンを主成分とす
る焼結体にニッケルを主成分とするオーム性接触電極を
有する電圧非直線性抵抗素子を製造する方法において、
前記焼結体の略全表面にニッケルを主成分とする無電解
メッキを施す工程と、前記無電解メッキの表面の電極形
成領域にエツチングレジストを塗布して電極パターンを
特定する工程と、前記エツチングレジストを塗布した領
域以外の無電解メッキをエツチング除去する工程と、前
記エツチングレジストを除去する工程と、前記焼結体に
残っている無電解メッキをオーム性接触電極化する熱処
理工程とよりなることを特徴とするから、次のような効
果が得られる。
As described above, the present invention provides a method for manufacturing a voltage nonlinear resistance element having an ohmic contact electrode mainly composed of nickel on a sintered body mainly composed of titanium oxide.
a step of applying electroless plating containing nickel as a main component to substantially the entire surface of the sintered body; a step of applying an etching resist to an electrode formation area on the surface of the electroless plating to specify an electrode pattern; It consists of a step of etching away the electroless plating in areas other than the area where the resist has been applied, a step of removing the etching resist, and a heat treatment step of converting the electroless plating remaining on the sintered body into an ohmic contact electrode. Because of this feature, the following effects can be obtained.

(a)焼結体自身の有する電圧非直線性を充分に発揮さ
せることができ、しかも、焼結体とオーム性接触電極と
の間の接着力が非常に強く、電極剥離などが生じにくく
、更に、経時劣化の小さい、耐食性に優れた電極を有す
る電圧非直線性抵抗素子を、量産性よく製造できる。
(a) The voltage nonlinearity of the sintered body itself can be fully utilized, and the adhesive force between the sintered body and the ohmic contact electrode is very strong, making it difficult for electrode peeling to occur. Furthermore, a voltage nonlinear resistance element having electrodes with excellent corrosion resistance and less deterioration over time can be manufactured with good mass productivity.

(b)焼結体の略全面に無電解メッキを施した後、無電
解メッキの表面にエツチングレジストを塗布して電極パ
ターンを特定する製造工程を経ることにより、エツチン
グレジストによって焼結体の素地を傷めることがない。
(b) After electroless plating is applied to almost the entire surface of the sintered body, an etching resist is applied to the surface of the electroless plating to specify the electrode pattern. will not damage.

(C)エツチングレジストはスクリーン印刷法などによ
り高精度のパターンで容易に塗布することができるから
、複雑な電極パターンであっても、高精度で容易に形成
することができる。
(C) Since the etching resist can be easily applied in a highly accurate pattern by screen printing or the like, even a complicated electrode pattern can be easily formed with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は電圧非直線性抵抗素子の基本的構造を示す正面
図、第2図(A)、(B)は他の例における正面図およ
び背面図、第3図は酸化チタンを主成分とする焼結体を
用いて電圧非直線性抵抗素子を構成するときの問題点を
説明するバリスタ特性図、第4図(ax)〜(a4)は
本発明に係る製造方法を説明する図、第4図(bl)〜
(b4)は第4図(a、)〜(a4)の(DI −DI
) 〜(D4−D4)線上における各断面図である。 フ・・・焼結体   8・・・電極 9a、9b、9C・・・分割電極 第1図 第2図 (A)          (8) 第3図
Fig. 1 is a front view showing the basic structure of a voltage nonlinear resistance element, Fig. 2 (A) and (B) are front and rear views of other examples, and Fig. 3 is a main component composed of titanium oxide. Figures 4 (ax) to (a4) are diagrams explaining the manufacturing method according to the present invention; Figure 4 (bl) ~
(b4) is (DI - DI
) to (D4-D4). F... Sintered body 8... Electrodes 9a, 9b, 9C... Divided electrodes Figure 1 Figure 2 (A) (8) Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)酸化チタンを主成分とする焼結体にニッケルを主
成分とするオーム性接触電極を有する電圧非直線性抵抗
素子を製造する方法において、前記焼結体の略全表面に
ニッケルを主成分とする無電解メッキを施す工程と、前
記無電解メッキの表面の電極形成領域にエッチングレジ
ストを塗布して電極パターンを特定する工程と、前記エ
ッチングレジストを塗布した領域以外の無電解メッキを
エッチング除去する工程と、前記エッチングレジストを
除去する工程と、前記焼結体に残っている無電解メッキ
をオーム性接触電極化する熱処理工程とよりなることを
特徴とする電圧非直線性抵抗素子の製造方法。
(1) In a method for manufacturing a voltage nonlinear resistance element having an ohmic contact electrode mainly composed of nickel on a sintered body mainly composed of titanium oxide, substantially the entire surface of the sintered body is coated mainly with nickel. A step of applying electroless plating as a component, a step of applying an etching resist to the electrode formation area on the surface of the electroless plating to specify an electrode pattern, and etching the electroless plating other than the area where the etching resist is applied. manufacturing a voltage nonlinear resistance element, comprising a step of removing the etching resist, a step of removing the etching resist, and a heat treatment step of converting the electroless plating remaining on the sintered body into an ohmic contact electrode. Method.
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