JPS63151903A - カラーフイルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、カラーフィルタに関するものである。

従来の技術 従来のカラーフィルタについて図面を参照しながら説明
する。

第４図は、従来のカラーフィルタの形成途中の基板の平
面図である。１はガラス基板または固体撮像素子群が形
成された半導体基板である。２は色分解フィルタが組み
込まれたカラーフィルタである。３はカラーフィルタを
個々に分割するだめのスクライブラインである。第６図
は、第４図の破線五ム′　に沿った断面図である。４．
５はゼラチンなど被染色性有機材料に所定の分光特性を
もつよう染色を施した着色膜である。通常、着色膜４．
６の膜厚値１　、　ｌ’　は約１μｍである。第６図は
、第４図の従来のカラーフィルタを形成途中の基板上に
ゼラチンなどの被染色性有機材料を所定の膜厚（通常的
１μｍ）塗布し、同図に示す矢印の方向に生ずる塗布膜
の膜厚ムラを破線ＢＢ’に沿って見た断面図である。６
はさらに積層したゼラチンなどの着色膜である。ｔはス
クライブラインのコーナー部７から生じた着色膜の膜厚
ムラ値を示す。

以上のような構成において従来のカラーフィルタを説明
する。

カラーフィルタは、ガラス基板または固体撮像素子群が
形成された半導体ウェハ上に２個以上のカラーフィルタ
群として形成され、終わりの工程テカラーフィルタ群を
個々のカラーフィルタに分割されて作られる。そのため
カラーフィルタの製造工程で、分割する箇所にはカラー
フィルタに用いる材料を堆積させていない。第４図は、
カラーフィルタ形成途中のカラーフィルタ群で、２はカ
ラーフィルタであり、３は分割する箇所のスクライブラ
インであるためカラーフィルタに用いる材料が堆積され
ていない。その様子を示す断面図が第５図である。第５
図は、２層の着色膜４．５が形成された例である。通常
、各層の膜厚は約１７ａある。このような状態のところ
に更に１μｍの膜厚の着色膜を形成した例の断面図が第
６図である。

先の２μｍの段差のある上に１μｍの膜厚を形成した場
合スクライブラインのコーナー部７より、約０．１　μ
ｍの膜厚ムラ値ｔが生じる。この例は、着色膜を基板中
央に滴下し、回転によって形成した例である。この例で
は０．１μｍの膜厚ムラによりシアン色の場合的４　ｎ
ｍものシアン分光特性の半値波長にずれを生じさせる。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記のような構成では、本来、すべての
箇所で同じであるべき着色膜の膜厚が異なり、カラーフ
ィルタの分光特性が場所によシ異なってしまうという欠
点を有していた。

本発明は、上記の欠点に鑑み、着色膜の膜厚ムラを解消
したカラーフィルタを提供するものである。

問題点を解決するだめの手段 この目的を達成するために本発明は、スクライブライン
のコーナー部分が欠けたパターン構造であり、着色膜の
各層のスクライブラインに接したパターンエッヂが一段
下層の着色膜のパターンエッヂより後退させ、着色膜の
各層のスクライブラインに接したパターンエッヂを階段
状とした構造で構成されている。

作用 この構成によって、着色膜を形成した場合には、スクラ
イブラインのコーナー部の段差が急峻でなくなり、また
、コーナ７部分が欠けていることより着色膜の膜厚を抑
えることができる。

実施例 本発明の一実施例について図面を参照しながら以下に説
明する。本実施例は着色膜が３層から成った例である。

第１図は、本発明の一実施例の基板上に形成されたカラ
ーフィルタ群の一部を拡大した平面図である。

実線１００は、最下層の着色膜のパターンエッヂを示し
ている。一点鎖線１ｏ１は、中層の着色膜のパターンエ
ッヂを示している。点線１０２は、最上層の着色膜のパ
ターンエッヂを示している。

また、１０３は色モザイクフィルタからなるカラーフィ
ルタで、１ｏ４はスクライブラインである。

１０５はスクライブラインのコーナー部の欠けた部分で
２に分解された角度１３５°の角である。

第２図は、第１図の点線ＣＣ′　　に沿った断面図であ
る。１０６はガラス基板または固体撮像素子群が形成さ
れた半導体基板である。

１０７．１０８，１０９はそれぞれ最下層、中層、最上
層の着色膜を示す。

以上のような構成で本発明の一実施例のカラーフィルタ
について説明する。

スクライブラインに接する着色膜のパターンエッヂを第
１図、第２図に示すようにずらし階段状とし、急激な段
差を解消する。そのため、さらに上層に着色膜を形成し
た場合では、段差が階段形状のためスクライブライン１
０４に着色膜に用いるゼラチンなどの被染色性有機材料
が滞留することなく、一様に形成できる。また、第４図
のスクライブライン３のコーナー部７を面とりし、１３
５゜の角度の角１０５を設けることにより、従来の角度
９０°のコーナー部７から発生する膜厚ムラが面とりす
ることで分散される。

第２の実施例について図面を参照しながら以下に説明す
る。第１の実施例のカラーフィルタは着色膜が定着液な
どによシ定着されている例で着色膜だけでカラーフィル
タが形成された場合である。

第２の実施例は着色膜が定着液などによシ定着せず、中
間膜と称す透明樹脂を着色膜に介して形成されたカラー
フィルタの場合である。

第３図は、第１の実施例の断面図である第２図に相当す
る第２の実施例の断面図である。

１００は、最下層の着色膜のパターンエッヂであり、１
０１は、中層の着色膜のパターンエッヂであり、１０２
は、最上層の着色膜のパターンエッヂを示している。１
０４はスクライブラインである。１０６は、ガラス基板
または固体撮像素子群が形成された半導体基板である。

１０７，１０８゜１０９はそれぞれ最下層、中層、最上
層の着色膜を示す。１１０，１１１はそれぞれ中間膜で
ある。

以上のような構成の本発明のカラーフィルタの第２の実
施例について説明する。

スクライブラインに接する着色膜のパターンエッヂを第
３図に示すようにずらして階段形状とする。このとき中
間膜１１０は着色膜１０７全体をおおうよう形成する必
要があるため着色膜１０７のパターンエッヂ１００より
中間膜１１ｏのパターンエッヂが拡がっている。同様に
中間膜１１１についても着色膜１０８全体をおおうよう
形成する必要があるため着色膜１０８のパターンエッヂ
１ｏ１より中間膜１１１のパターンエッヂが拡がってい
る。しかし、着色膜の段差が階段状であるため、さらに
上層に着色膜を形成した場合では、スクライブライン１
０４に着色膜に用いるゼラチンなどの被染色性有機材料
が滞留することなく一様に形成できる。なお、第２の実
施例については第１の実施例と同じく着色膜のコーナー
部にも面とりを施しであるだけでなく、中間膜について
もコーナー部の面とりを施しである。

以上のように本実施例によれば、各層のスクライブライ
ンに接する着色膜のパターンエッヂをずらして階段形状
にし、スクライブラインのコーナー部を面とりすること
により、たとえば、従来、膜厚ムラ値が０．１μｍであ
ったものが０．０１　μｍ以下になり、分光特性の半値
波長ずれを±２ｎｌｌ１以内することができ著しい効果
が得られる。

発明の効果 以上のように、本発明は、スクライブラインのコーナー
部を欠いたパターン構造にし、また、スクライブライン
に接する各層のパターンエッヂをずらし、階段形状にす
ることでカラーフィルタの着色膜の膜厚ムラを解消でき
、その実用的効果は大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の基板上に形成されたカラー
フィルタ群の一部を拡大した平面図、第２図は第１図の
点線ＣＯ’　に沿った部分の断面図、第３図は本発明の
第２の実施例のカラーフィルタの断面図、第４図は従来
のカラーフィルタの形成途中の基板の平面図、第５図は
第３図の点線Ａ五′に沿った部分の断面図、第６図は第
３図の点線ＢＢ′に沿った部分の断面図である。 １ｏＯ・・・・・・最下層の着色膜のパターンエッヂ、
１０１・・・・・・中層の着色膜のパターンエッヂ、１
ｏ２・・・・・・最上層の着色膜のパターンエッヂ、１
０３・・・・・・カラーフィルタ、１０４・・・・・・
スクライブライン、１０５・・・・・・スクライブライ
ンのコーナー部の欠けた部分、１ｏ６・・・・・・ガラ
ス基板または固体撮像素子群が形成された半導体基板、
１０７　、１０８　。 １０９・・・・・・着色膜、１１０，１１１・・・・・
・中間膜。 ｍ−最下層の着色膜のパターンエッヂ １０１−一　　中層の着色膜のパダーシエ・ｐ−ｆ−ｒ
ｏ；ｚ　−ｔよ層の着色膜のパターンエッヂＩＯ３−カ
ラーフィルタ １Ｄ４−　スクライブライン Ｉの−スクライブラインのコーナー部の欠けｒ、部分 第１図 １０６−がラス１板また１よ固体撮偉米子郡が形式才本
丸千４体墓訊 第３図　　　　　　　ｔｒｏ、ｍ−中間層第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. スクライブラインのコーナー部分が欠けたカラーフィル
   タパターンを有し、着色膜の各層のスクライブラインに
   接したパターンエッヂを一段下層の着色膜のパターンエ
   ッヂより後退させ、着色膜の各層のスクライブラインに
   接したパターンエッヂを階段状としたことを特徴とする
   カラーフィルタ。