JPS63144163A - 集成マイカシートの製造法 - Google Patents

集成マイカシートの製造法

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JPS63144163A
JPS63144163A JP61290118A JP29011886A JPS63144163A JP S63144163 A JPS63144163 A JP S63144163A JP 61290118 A JP61290118 A JP 61290118A JP 29011886 A JP29011886 A JP 29011886A JP S63144163 A JPS63144163 A JP S63144163A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は耐熱性、電気絶縁性さらには誘電率の改良され
た集成マイカシート及びその製造法に関するものである
〔従来技術とその問題点〕
従来集成マイカシートは、天然マイカのリン片を水に分
散させて抄造した原紙板に樹脂接着剤たとえばエポキシ
樹脂系又はシリコーン樹脂系の接着剤を含浸させ、ホッ
トプレスによシ接着してシートとするもので耐絶縁性は
あるが、接着剤が樹脂であるため耐熱性が250℃以下
と著しく劣っている。
又人工的に合成したフッ素マイカたとえば非膨潤性のフ
ッ素金マイカ、四けい素マイカ等を原料とした集成マイ
カシートには、リン酸塩念とえはリン酸、リン酸アルミ
ニウム系塩、リン酸マグネシウム系塩等の無機接着剤を
用いて耐熱性の改善を図っ念ものがあるが、リン酸塩が
本質的に吸湿性であるので接着性、耐湿性が低く、経時
的に電気絶縁性と強度が劣化するなどの欠点がある。
さらに上記した天然マイカ及びフッ素マイカは何れも誘
電率(ξ)が7を限界とし、またそこに用いられている
樹脂、リン酸塩の誘電率は5以下で、リン酸塩は誘電体
力率損も大きいので、近来求められている電気機器、電
子材料の小容量化を図るために必要とされる高誘電率の
集成マイカシートは望むべくもないものである。
さらにまた、これらの従来法は原紙板に樹脂やリン酸塩
の結合剤を含浸させてホットプレスし九ので、製品シー
ト体には微小な気泡が残存し、tめに絶縁性、誘電率の
劣化は避けられないものであった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は耐熱性、絶縁性、誘電率等の電気緒特性の改良
され几集成マイカシート及びその集成マイカシート1製
造する方法を提供しようとするもので、本発明の一つは
非膨潤性フッ素マイカを金属アルコキシドの加水分解生
成物でめる少くとも1種の生成金属酸化物だより結合し
てなる集成マイカシートであシ、また他の一つは非膨潤
性フッ素マイカと、金属アルコキシドを加水分解して得
た少くとも1種の生成金属酸化物との混合ゾルを調製し
、次いでこれをシート状に成型し几のち焼成することを
特徴とする集成マイカシートの製造法であって、本発明
においては焼成時結合剤の軟化温度低下用として鉱化剤
を使用することも出来る。
7 ツ素w イカ上1フ式Xo、s−t、o Yzo−
LO(Z4010)F2  で示されるもので、非膨潤
性フッ素マイカと膨潤性フッ素マイカとに大別できる。
非膨潤性フッ素マイカは吸湿しないマイカで、フッ素金
マイカ、カリ四けい素マイカ、バリウムニけい素マイカ
等がある。また膨潤性マイカは上記フッ素マイカの一般
式のZが8i  であり、層間イオンXがNa又はLi
で、この層間イオンを他の陽イオンたとえばに、Sr、
Pb、Cu 等でイオン交換して非膨潤性化することに
より、吸湿性がなく電気絶縁性や誘電性が改善され几も
ので、それには四けい素マイカ、テニオライト、ヘクト
ライト等がある。
本発明においては、これら非膨潤性フッ素マイカ及び前
記非膨潤化されたフッ素マイカ(以下これらを非膨潤性
マイカと呼ぶ)を用いるもので、これらマイカのリン片
は水などに分散することにより非膨潤性フッ素マイカの
ゾル(以下これをマイカゾルと略称する)になる。
金属アル」キシドは、一般式M+(OR)n (但しM
は金属元素、Bはアルキル基)で表わされるように、ア
ルコール(ROH)の水酸基のHが金属Mで置換された
誘導体である。アルコールとシテハメチルアルコール、
エチルアルコール、プロピルアルコール、フチルアルコ
ール等カ使用される。
金属アルコキシドは加水分解により金属醸化物または金
属水和物とアルコールとに分解し、その時生成し友金属
酸化物が分散してゾルになる。
本発明において金属アルコキシドの加水分解生成物は、
Al 20.、S i02、B2O3、MgO1BaO
、SrO,Cab、   Cub、   ZnO,Pb
O,Bed。
SnO□、〜1r+02、Ni 203、Co z O
3、Fe2O3、Cr2O3、TiO2、zro2等の
生成金属酸化物であり、これらの中より製品の用途及び
特性に応じて1種の生成金属酸化物を選択使用するが又
は2種以上の生成金属酸化物の組合せを設計して配合使
用する。例えば1種の生成金属酸化物の場合、耐熱絶縁
の用途にはA1□03又はS io2、耐熱の用途には
PbO、ZuO、又は5n02  であり、また2種以
上配合の場合、耐熱絶縁の用途にはガラス結合の配合と
して5jOz   Bz03 k添加したもの又はSi
n、 −8203をベースとし、それにAI 、03又
はPb0f、添加したもの、高温用回路基板の用途には
セラミック質形成の配合としてムライト系A1203−
 5in2又はコージェライト系MgO−8i0.− 
Al2O3を添加したもの、或イn A1203−8i
0. 又u MgO−5in2− Al2O,fベース
とし、これらにそれぞれZnO1BeO又はSnO□ 
を添加したもの、そしてコンデンサー用途には高誘電体
組成のBaOT r 02を添加した本の又はBaO−
TiO2をベースとし、それにPbO,SrO又はMn
O□ を配合するものである。
金属アルコキシドの加水分解ゾルの大きな特徴は、生成
する金属酸化物の粒経が数十オングストロームから数百
オングストローム程度の超微粒子であることである。こ
うした分子単位の大きさの粒子同士の利点は、このゾル
をマイカゾルと混合して製品マイカシートtつくる場合
、混合ゾルの液が蒸発するのにしたがって、生成金属酸
化物粒子が緻密な状態で凝集して結合マトリックスの初
期素地上つくる。次いでシートを加熱して焼結する工程
では、粒子が超微粒子であることから、焼結進行の最大
因子である表面エネルギーが犬であるので、通常の窯業
鉱物の焼結温度より200〜300℃低い温度域で焼結
が進行してシートの結合が容易に行われると共に、フッ
素マイカの変質しない1200℃以下の温度で多様な機
能をもつ材質の結合マトリックスを形成することができ
る。
結合マトリックスの相組織は混合ゾルの状態、300〜
500℃での加熱処理、500〜SOO℃での加熱処理
、800〜1000℃での加熱処理、および1000〜
1200℃での加熱処理等の処理段階で変化する。すな
はち混合ゾルの状態では生成金属酸化物は1〜2水和物
の分子単位に近い超微粒子のゲルである。このゲル状物
は7−ト化され300℃まで加熱される段階で脱水し、
分子凝集による結合状態であり、これは非晶質物である
。500℃以上においてはガラスが生成しマイカシート
の結合は著しく強くなる。800〜1ooo’cでは生
成金属酸化物の成分に応じて化合物が生成する。生成化
合物としてはたとえば耐熱性、絶縁性のシリカ(5in
2)、アルミナ(A120.)高絶縁性のムライト(3
A120.・2Si02)、耐熱衝撃性のコージェライ
ト(2Mg0・2A1203・5Si02)、低膨張性
のフォルステライト(2Mgo・5in2)、高誘電率
性のペロプスカイト(MTiOl、MはBa。
Sr、 Ca、 Pb )  等が生成し、1000℃
を超見るとさらに化合物の生成は増大4更に7本発明に
よる高誘電率を備えた集成マイカシートは好しい製品で
ある。
従来の高誘電率全必要とする集成マイカシート例えばコ
ンデンサー用のマイヵシートハ、マイカと結合マトリッ
クスの構造組織で誘電率がマイカの誘電率(6〜7)及
び結合剤である樹脂系、リン酸塩系の誘電率(5以下)
に依存していた。しかし本発明では、前記結合マトリッ
クスが高誘電率であり、該結合マトリックスによってカ
プセル状に被覆されたマイカフレークとの平行、交錯、
積層した構造組繊が高誘電体組成に独自な機能を与えて
いる。すなはち本発明では生成金属酸化物のゾルの配合
として、前記した高銹電率物質であるBad、 SrO
,PbO。
T t 02  等の生成金属酸化物を適宜配合するこ
と釦より結合マトリックスを高誘電率化するもので、完
成しt集成マイカシートにおいて顕微鏡的観察によれば
、高誘電体である生成金IiA酸化物の薄膜とその薄膜
により被覆された高絶縁体であるマイカリン片層とが交
錯積層し、高誘電体層と高絶縁体層との多重層による直
列形式のコンデンサー的組織が形成され、この組織によ
す得うれt集成マイカシートの特性は誘電率では従来の
5倍以上(ξ 35以上)で、電気比抵抗10L6Ω−
の前後、耐電圧8Kv/ m以上である。
本発明においては前記したように、1種又は2種以上の
生成金属酸化物を製品の用途、特性に応じて配合するこ
とにより、高銹電率の結合マ) IJソックス形成する
場合と同様に耐熱性、高絶縁性の結合マ) IJソック
ス形成し、後記の実施例に示す電気特性を有する集成マ
イカシートにするものである。
本発明の集成マイカシートを製造するに当り、使用する
フッ素マイカは、それが非膨潤性マイカの場合には10
〜200メツシエの粉末を、ま穴膨潤性マイカの場合に
は眉間イオンをに+、Ba 2+、 Pb”  、Cu
  等でイアF7交換して非膨潤化し友もので、粒経が
1〜10μに分布しているものを用いる。これらの非膨
潤性マイカは予め金属アルコキシドと共通溶媒であるア
ルコール類(例えばメチルアルコール、エチルアルコー
ル)やケトン類(MDI(、アセトン類等)にマイカの
含有量が5%程度になるように添加してマイカゾルとす
る。
金属アルコキシドの使用には、1種の生成金属酸化物の
ゾルを作成する場合と、2種以上を複合した生成金属酸
化物のゾルを作成する場合とがある。
1f4の生成金属酸化物だけの場合は、1種の金属アル
コキシド1モルに塩酸によりPH2〜4の範囲に調整し
たイオン交換水100〜120モルを加えて40〜60
分攪拌しながら加水分解しt後、酸性の解膠剤を加えて
常温〜80℃の液温で強力な攪拌(例えばホモジュナイ
ザーや超音波等による攪拌)を行い分散ゾルを作成する
211[以上の複合した生成金属酸化物のゾルを作成す
る場合には、上記の1種の生成金属酸化物のゾルを得る
方法により個々に必要とする複数種の生成金属酸化物の
ゾルを用意し、これらを所定の比率により混合し強力に
攪拌して作成する方法と、予め金属アルコキシドの段階
で混合したものを加水分解する方法とがある。後者の方
法は、個々の金属アルコキシド1モルに対しベンゼンを
1〜5モル加えた溶液をつくり、次いでこれらの溶液を
所定の比率で混合し、この混合溶液に300〜500モ
ルの蒸溜水を加えて攪拌しながら加水分解を行い、さら
に減圧濃縮して複合し友生成金属酸化物の含有量が重量
で5%を超えないように調整する。
またマイカゾルに直接金属アルコキシドの溶液を加えて
加水分解し、生成金属酸化物を生成させながら混合して
混合ゾルを得ることもできる。この場合はマイカゾルを
前記しfc1種の生成金属酸化物を得る←←−→→のと
きと同様に、イオン交換水を加えてPHおよび所要量を
調製し九のち、金属アル;キシドの溶液を加えて力「水
分解および攪拌を打力えはよい。
次にマイカゾルと生成金!7t4酸化物のゾルとを混合
し、これに必要に応じ鉱化剤としてフッ化物の水溶液を
添加して強力攪拌することにより、各成分が均質に混合
したシート形成用の混合ゾルを作成することができる。
どの場合鉱化剤のフッ化物は、シート成形時に結合剤中
に含有され、次いで加熱によシ結合剤がマイカと融着結
合する焼結時においてフッ化物は揮散するが、その時結
合剤成分の軟化温度を低下させる鉱化剤作用を行う。そ
してフッ化物としては混合ゾルと相溶性がある溶媒たと
えばアルコール類、ケトン類或は塩酸水溶液等に溶解す
るもので、成形されたシート状物の加熱に当って昇華す
るような化合物例えばフルオロホウ酸アンモニウム(N
H4BF2)や三7フ化ホウ素メタノール〔(CH30
H)BF21等が用いられる。
混合ゾルの配合比率は、シート形成に参加する固形物で
るる非膨潤性マイカが重量で50〜80部、生成金属酸
化物が20〜50部であり、鉱化剤添加の場合は気化成
分であるフッ化物が1〜3部で、混合ゾル中の固形分は
マイカと生成金属酸化物の合算固形分含有量が7%程度
以下になるようにし、不足分は水又はアルコールを添加
して調整する。
シートの成形工程は混合ゾルを離型性のある平面体(ポ
リエチレン、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂等の板、
フィルム或はこれらを焼付は几板)の上にドクターブレ
ード法等により流下展延して均一な厚みの混合ゾルMt
−形成し、常温〜50℃程度の低温での乾燥又は減圧乾
燥等により緩徐に乾燥する。
混合ゾル膜より液が蒸発していくにし友がいが連続した
組織の集成マイカシートが成形される。この場合特に緻
密な組織で且つ強度の更に大きい集成マイカシートを望
むならば、シートの湿分が約3%以下の状態で、ロール
やプレスによシ加圧処理すればよい。
成形したシートは100〜120℃で約30分乾燥した
後、300℃で40〜60分加熱し金属酸化物の水和水
を完全に除去する。次いでマトリックスの組成に応じて
500〜80゛0℃、800〜1000℃、1000〜
1200℃の各温度領域で加熱して、集成マイカシート
ラ完成する。
〔発明の効果〕
本発明は生成金属酸化物の種類や配合を選択的に変える
ことにより、製品の耐熱性、電気絶縁性や銹電率を変え
たものが得られる。
また本発明では結合のために用いられるものが生成金属
酸化物であるため、従来の樹脂やシん酸塩を使用した場
合のように゛製品の耐熱性や電気絶縁性が低下すること
なく、塘た使用される生成金属酸化物はゾルとして添加
されるので、結合力が強く強度の大きい集成マイカシー
トを得ることができる。
さらに本発明ではマイカゾルと生成金属酸化物ゾルとの
混合ゾルを成形し几後に行なう焼結に際し、フッ素マイ
カが変質しない温度でしかも通常の窯業鉱物の焼結温度
よシ低い温度域で焼結を進行させてマイカシートの結合
を容易に行にわせ、前記した多様な機能をもつ製品集成
マイカシートを得ることができる。
〔実施例〕
以下本発明の実施例を示す。
例  1 製品集成マイカシート中に重量で非膨潤性マイカ90%
、1種の金属酸化物10%の組成となるようシート作成
用の混合ゾルを次のように調製する。
マイカゾル:フッ素四けい素マイカ(KMgλS(8i
、O8゜)Fz)go〜120メッシェ重量(以下同じ
)で90部にメチルアルコール500部と脱イオン水1
000部を加えてゾルとする。
生成金!J4酸化物ゾル:アルミニウムイソプロポΦシ
ト(AI (i −QC3H,)s ) 1モルに対し
て塩酸でPH2〜3に調整し几脱イオン水100モルを
加えて強力に攪拌して加水分解し、アルミナ水和物が均
一に分散したゾルを作成する。
この生成金属酸化物ゾルをマイカゾルに対しマイカ(固
形分):アルミナ(固形分)が80:20になるように
添加して混合ゾルを作成する。
混合ゾルをテフロン被榎鋼板上に流下展延して厚さ4〜
5s!IEの塗膜とし、そめまま室温で24時間乾燥し
て湿分が2〜2..5%の状態で鋼板よシ剥離してから
2關厚のモリブデン板に挾み、800℃に加熱しながら
5ooky/adで20分間加圧して肉厚120μの集
成マイカシートを得た。この集成マイカシートは引張強
度8.5 klil/−1電気比抵抗4. l X 1
015  Ω−cIrL(25℃)、耐電圧10に’i
’ / m テ;h りfc。   ′例  2 製品集成マイカシート中にitでマイカ50%、複”!
’1lJC8,O5in2−2.0PbO)  50%
の組成となるように混合ゾルを次のように調製する。
マイカゾル:フッ素金マイカ(KMgs (AIS i
 、01゜)F2)80〜120メッシ150部にメチ
ルアルコ−#500部、脱イオン水1000部を加えて
ゾルとする。
複合する生成金属酸化物ゾル:配合モル比8、 O5s
Oz @2. OPbOになるよう、シリコンテトキシ
ド(Si(0C2H3)4 ”18部(重量、以下同シ
)ト鉛メトキシド〔Pb(Oa(3)2〕2..0部を
ベンゼン90部に溶解し、次いで蒸溜水1000部を加
えて強力に攪拌しながら加水分解してゾルを得る。この
ゾルをマイカゾルに、製品中のマイカ(固形分):複合
金属酸化物(固形分)がso:soになるように添加し
て混合ゾルを作成する。
混合ゾルをモリブデン鋼板上に流し、展延して厚さ5〜
6uの塗膜とし、減圧乾燥して無水の状態にしたのち電
気炉中で600℃2時間加熱焼結して厚さ210μの集
成マイカシートを得比。
この集成マイカシートは鉛含有のシリカガラスによシ結
合された透明なものであり、直経30nの円柱に巻いて
も損傷を起さず、引張シ強度20ゆ/d、電気比抵抗2
 X 1014Ω−3、耐電圧8 KV / vx テ
;h v fC0例  3 製品集成マイカシート中に重量(以下同じ)で、フッ素
マイカ65%、複合金属酸化物35%の組成となるよう
に混合ゾルを次のように調製する。
フッ素マイカゾル:フッ素マイカCKMga(”8i、
01゜)F2)80〜120メッシ:L65部にメチル
アルプール500部と脱イオン水1000部とを加えて
ゾルとする。
生成金属酸化物ゾル;配合モル比3. OAl、0.・
Z Q8tOz、0.8Si02、Bzos−0,5P
bOK fx ルヨうに複合した生成金属酸化物のゾル
を作成する。
すなはち金属アルコキシド〔アルミニウムイソプロポキ
シドAI (i −QC3H,)s 6モル、ンリコン
テトキシド8i (OC,H,)42モル、ボロンメト
キシドB (OCR,)s 0.8モル、鉛メトキシド
Pb (0CH1)21モル〕を種類毎に加水分解した
ゾルを作成し、次いで前記の配合モル元通りに各種ゾル
を配合して強力な攪拌により均一に分散したゾルとする
次いで固形分く換算して35%を含有する量の複合した
生成金属酸化物のゾルとフッ素マイカ65%含有のゾル
とを混合し、これにメチルアルコールに溶かした鉱化剤
のフルオロホウ酸アンモニウム3部を添加し、製品中に
固形分(マイカと複合金属酸化物)含有量が5%になる
ように脱イオン水全加えて混合ゾルを調製する。
混合ゾルをドクターブレードによシテフロン被覆鋼板上
に流下展延して厚さ4fiの塗膜とし、そのま\室温で
24時間乾燥して湿分25%の状態で鋼板より剥離して
から2詣厚のアルミニウム板に挾んでsoo#/iで加
圧し友。次いで100℃で30分加熱した後、100℃
から300℃までを20分間、300℃で30分保持、
300℃から700℃までを30分間、700℃で30
分保持して肉厚130μの製品集成マイカンートを得た
この製品のX線及び電子顕微鏡による観察によれば、ピ
ンホールの無いガラスマトリックス中に微細な3A1 
、O,・2SiO2が少くとも60%生成していること
が認められ、またこの製品は、引張り強度17′に9/
−1電気比抵抗3.8 X 1015Ω−crtt (
25℃)、耐電圧11 KV / rttx テ;h 
ッた。
例  4 製品集成マイカシート中に重量(以下同じ)でフッ素マ
イカ70%、複合金属酸化物30%の組成となるよう混
合ゾルを次のように調製する。
マイカゾル:ナトリウム四けい素マイカをイオン交換し
たバリウム四けい素マイカCBao、sMgzs (S
”4010 ) Fz )粒径2〜5.AIのもの75
部(重量以下同じ)に、メチルアルコール500部、脱
イオン水1000部を加えてゾルとする。
複合し友生成金属酸化物ゾル:配合モル比BaO@ T
ie。a Q、zpbo @ 0.2Si02に人るよ
うに複合し比生成金属酸化物のゾルを作成する。す々は
ち金属アルコキシド〔バリウムイソプロポキシドBa 
(i −QC,H,)21モル、チタニウムイソプロポ
キシドTi(t  0C3H7)41モル、鉛イソプロ
ポキシドPb (i −QC,H7)20.2モル、シ
リコンテトキシド8i (QC2H,)40.2モル〕
を種類毎に加水分解したゾルを作成したのち、前記した
配合モル元通りに各種ゾルを配合し、強力な攪拌により
均一に分散しtゾルとする。
次いで製品集成マイカシート中に、固形分に←+−と混
合し、製品中に固形分(マイカ及び複合金属酸化物)の
含有量が3%になるように脱イオン水を加えて混合ゾル
を調製する。
こり 6ゾルを用い例3と同じ方法で得次シート状塗膜の乾燥
品を得る。次いで100℃から700℃まで20分間、
700℃で20分保持、700℃から1100℃まで2
0分、1100℃で30分保持して、肉厚100μの集
成マイカシートを得比。
この集成マイカシートのX線回折及び電子顕微鏡による
観察によれば、ピンホールのないガラスマトリックス中
に微細J BaTiO3が少くとも50%生成している
結合マトリックスの形成が認められ、とのマイカシート
の特性は電気比抵抗5.6 X 1. □xsΩ−薗、
誘電率(ζ)120、誘電体力車積(Tanδ) 18
 X 10−’、耐電圧8Kv/N1Lテあった。
看お製品の組成は化合物BaTiO3とその余はアーe
、tvフy、x、coBaO* Tie、 * PbO
@ 8i0.質のガラスであることが認められた。
例  5 製品マイカシート中に重量でマイカ80%、金属識化物
20%の組成となるように混合ゾルを次のように調製す
る。
マイカスラリー:カリ四ケイ素マイカ(”KMg、。
(5f401o) F2 )  80〜150メッシ、
 600部にメチルアルコール100部およびPH3に
調整した脱イオン水2100部を加えゾルとする。
混合ゾル:アルミニウムイソプロポキシドAI (1−
QC8H7)s 205部にメチルアルコール200部
を添加した溶液をマイカゾル中に滴下し、ホモジェナイ
ザーにより強力に攪拌することにより加水分解をしなが
ら、生成したアルミニウム酸化物とマイカを均質に混合
、分散させ、次いで固型分(マイカとアルミニウム酸化
物)の含有量が約5%になるように脱イオン水を加えて
混合ゾルとする。
シートの形成は例1と同様々方法で肉厚150μの集成
マイカシートを得た。
このマイカシートは引張り強度12 kg / md、
電気比抵抗5.2 X 1014Ω−tx (25℃)
、耐電圧9.8 KV / xxの特性であった。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非膨潤性フッ素マイカを金属アルコキシドの加水
    分解生成物である少くとも1種の生成金属酸化物により
    結合してなる集成マイカシート。
  2. (2)金属アルコキシドの加水分解生成物はAl_2O
    _3、SiO_2、B_2O_3、MgO、BaO、S
    rO、CaO、CuO、ZnO、PbO、BeO、Sn
    O_2、MnO_2、Ni_2O_3、Co_2O_3
    、Fe_2O_3、Cr_2O_3、TiO_2、Zr
    O_2等から選んだ1種又は2種以上から成る生成金属
    酸化物である特許請求の範囲第1項記載の集成マイカシ
    ート。
  3. (3)非膨潤性フッ素マイカと、金属アルコキシドを加
    水分解して得た少くとも1種の生成金属酸化物との混合
    ゾルを調製し、次いでこれをシート状に成形したのち焼
    成することを特徴とする集成マイカシートの製造法。
  4. (4)混合ゾルの調製は、非膨潤性フッ素マイカのゾル
    に、金属アルコキシドを加水分解して得た生成金属酸化
    物のゾルを配合することにより得られる特許請求の範囲
    第3項記載の集成マイカシートの製造法。
  5. (5)混合ゾルの調製は、非膨潤性フッ素マイカのゾル
    に、2種以上の金属アルコキシドを夫々加水分解して得
    た生成金属酸化物のゾルを配合することにより得られる
    特許請求の範囲第3項記載の集成マイカシートの製造法
  6. (6)混合ゾルの調製は、非膨潤性フッ素マイカのゾル
    に、2種以上の金属アルコキシドを混合したのち加水分
    解して得た生成金属酸化物のゾルを配合することにより
    得られる特許請求の範囲第3項記載の集成マイカシート
    の製造法。
  7. (7)混合ゾルの調製は、非膨潤性フッ素マイカのゾル
    と金属アルコキシドの溶液とを配合することにより得ら
    れる特許請求の範囲第3項記載の集成マイカシートの製
    造法。
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