JPS63143921A - 圧力変動利用混合ガス分離装置 - Google Patents

圧力変動利用混合ガス分離装置

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JPS63143921A JP61292038A JP29203886A JPS63143921A JP S63143921 A JPS63143921 A JP S63143921A JP 61292038 A JP61292038 A JP 61292038A JP 29203886 A JP29203886 A JP 29203886A JP S63143921 A JPS63143921 A JP S63143921A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は例えば燃料発電プラントに使用され、ゼオライ
ト笠のような圧力により吸着能力差のある吸着材を利用
した圧力変動利用混合ガス分離装置に関する。
［従来の技術］ 現在広く知られている圧力変肋利用混合ガス分離装置（
以下Ｐ　Ｓ　Ａと称する）の代表例は、特公昭／Ｉ　５
−２００８２号公報、特開昭４７−１４０７０号公報及
び特開昭／１８−１６８７４号公報とに示されている。
何れの従来例に於ても、分離しようとする原料混合ガス
をまず何笠かの手段。
普通にはガスコンプレッサーなどで一定圧力まで背圧さ
れ、しかる後吸着材の内臓された吸着塔にバルブを介し
て導かれ、例えば次のようなサイクルを繰り返す事によ
りガスも分離している。
即ら、 （１）供給ガスを供給端より製品ガスの一部を（ル出端
より導入し、圧力均笠化を行う （ａ　供給ガスの導入を続Ｃ〕、より高い圧力に再加圧
する。
（３）他塔に製品ガスの一部を供給し、圧力均笠化を行
う。
（４）　　並流減圧により製品ガスの一部を他塔のパー
ジを使う。
（５）　　自流減圧にて吸着成分の脱着を（１つ。
（６）吐出端部よりパージを受ける。
であり、３塔式の運用例を表１に示している。
表　　１ 第４図は従来例の一例として空気を酸素と窒素にて分離
する目的に使用される吸着法による空気分離装置を示し
ている。これによると、エアフィルタ２６を通って除じ
んされた空気が空気圧縮僚２７て・約５　Ｋｌ　／　ｃ
ｒｔ　’Ｊ　Ｉ；　背圧され水冷Ｗ器２８で圧縮熱が除
去される。ついで水分分離器２９で水分が除去され、吸
着塔１９ａ〜１゜９ｄへ送出される。
吸着塔１９ａ〜１９ｄの内部にはフィルタどしての機能
を有するゼオライト等よりなる吸着剤２０ａ〜２０ｄが
内臓されている。そこでバルブ２４８〜２４ｄを通って
供給された空気のうち製品ガス成分のみが吸着剤２０ａ
〜２０ｄを通過し、バルブ２４０〜２４ｈを通って製品
ガスホルダー２１に送り込まれる。
ところで、吸着剤２０ａ〜２０ｄは、吸着能力に対しか
なり大量の空気が送り込まれるので、吸着能力回復のた
め圧力を下げて脱着し、廃空気をバルブ２４ｉ〜２４ρ
を通して系外へ放出する必要がある。そこで、連続的に
製品ガスを供給するにはこの高圧下の吸着と低圧下の脱
着とを周期的に行なう必要から吸着塔１９ａ〜１９ｄは
最低２引必要であり、ここでは４組設置した例を示して
いる。なお、図中２４ｍ〜２４ｑは均圧バルブである。
そして吸着および脱着の行程をスムーズに行なわせるた
めに、バルブ２４ａ〜２４ｑを制御装置２２により制御
するようにしている。
［発明が解決しようとする問題点１ 第１図の空気分離装置をより経済的ならしめるためには
、コンパクト化による設備費の削減及び高性能化による
運転経費の削減が必要である。
曲名の目的のためにはサイクルタイムの短縮又、後右の
目的のためには吸着工程での昇圧動力及びあるい（よ再
生工程での減圧動力の低減が効果的である。
しかしながら従来技術では吸着剤２０ａ〜２０ｄが必要
とづる圧力変動サイクルはまず空気圧縮重などで一定圧
力に昇圧され、しかるのち吸着塔１９ａ〜１９ｄの出入
口にある複数個のバルブ２４ａ〜２４ｆｆｉの開閉操作
により達成されており吸着時初期に（よ圧力エネルギー
は何笠仕事をＵず又、吸着完了後の易吸着ガスの圧縮エ
ネルギーはバルブを介してｊ影玉ケるが、仕事はしない
のでエネルギー的には４大であり、所要動力の増大をＩ
ｎき、そのサイクルタイムは１〜５分が通例であった。
これを長い側に延長することは何笠問題はないが、短縮
する側にはバルブの４ａ〜４Ｊ２の耐久性及び聞閉速隘
の点でせいぜい０．１秒位までがやっとであり、それ以
下に短Ｆ６する事は経流性を著しく損うものであり、実
現はほとんど不可能であった。
そこで、本発明ｔよ所要動力を大幅に低減ニーき、従来
装置よりは経流的に優れた圧力変動利用混合ガス分離装
置を提供することを目的とする。
［問題点を解決するためのｆ段］ 本発明は上記目的を達成するために、シリンダ内を店動
するビス！・ンにより上記シリンダ内のガス圧力を変動
し得る装置に於て、上記ピストンど上記シリンダヘッド
との間に圧力により吸着能力に差のある吸着材を配置す
る事を特徴とするしのである。
［作用］ 上記のように構成することにより、従来不要であった吸
着工程初期の原料ガスの昇圧エネルギー及び従来損失と
なっていた吸着完了後の易吸着ガスの減圧動力を機械的
に回収することができ、これにより所要動力の大幅低減
が可能となり、設備費低減が達成できる。
［実施例〕 第１図及び第２図は、本発明に係る圧力変動利用混合ガ
ス分離装置の一実施例を示づ゛概念図である。第１図で
ｔよ、吸着剤１はシリンダ２の上端部すなわちシリンダ
２のヘッドとピストン３との間に設けられ、圧力の変動
はピストン３のｔｌ復動作によって腎るようにしている
。ガス吸排口４゜５．６．７．８はシリンダ２に設Ｃノ
られ、これらは次の役目を担っている。即ち、４Ｇよ難
吸着ガスの排出口、５蕎よ原料ガスの吸込口、６は易吸
着ガスの排出口、７は易吸着ガスの吸込口、８は易吸着
ガスの排出口である。このように構成して、従来設Ｇプ
でいた空気圧縮は２７および吸着塔１９ａ−１９ｄの出
入口の圧力制御用のバルブ２４ａ〜２４２を除去したも
のである。
第２図では第１図に示す圧力変動利用混合ガス分離装置
を４塔並列配置し、それぞれの作動時間を１／４サイク
ルずつずらした状態を示しである。
第２図においては、１１はピストン型吸着塔、１２は雷
ｖＪ機などのピストン駆動用原動機、１３はクランクシ
ャフト、１４は難吸着ガス排出ラインに設けられた弁、
１５は原料ガス導入ラインに設けられた弁、１６は易吸
着ガス初出ラインに設けられた弁、１７は易吸着ガス移
退ラインに設けられた弁であり、各機器には１／４サイ
クルずつずれた状態毎にａ、ｂ、ｃ、ｄを付しである。
以下、このように構成された圧力変動利用混合ガス分子
４装置の動作について、第３図のクイムチセードのよう
になる。第３図の上部室が加圧状態で、下部室が再減圧
状態のときは、各機器に対してａをイ・Ｊした状態すな
わも第２図の最も左側の圧力変動利用混合ガス分離装置
を示し、この場合にはピストン３が中立点位置にあり、
一方弁１４ａ。
１５ａ、１６ａが閉じており、弁１７８．１７ｂは開い
ている。この状態からピストン駆動用電動橢１２により
ピストン３ａを上死点側に移動させる。そして、ピスト
ン３ｂが上死点に達して製品ガス返り比し状態を、第２
図の各機器に対してｂを伺した左から２番目の圧力変動
利用混合、ガス分離装置を示し、この状態では弁１５ｂ
、１６ｂの力が閉じており、他の弁１／ｌｂ、１７ｂ、
１７ｃが開いている。同様に、第３図の減圧脱離の状態
は第２図の機器に対してＣを付した左から３番口の状態
を示し、第３図の棉気状態は第２図の各機器に対しｄを
付した左から４番目を示している。
以下、同様に動作することになる。
以上述べた本発明の実施例によれば、下記のような効果
が得られる。
（１）従来不要であった吸着工程初期の原料ガスの昇圧
エネルギー及び従来損失となっていた吸着完了後の易吸
着ガスの減圧動力を橢械的に回収することができ、これ
により所要動力の大幅（約５〜３０％）低減が可能とな
り、設備費低減が達成できる。
（２サイクルタイムの大幅なｍＦＮが可能となり、例え
ば従来６０秒だったものを０．６秒にすると吸着剤の所
要昂が約１１５０となりコンパクト化及び設備費低減が
達成される。すなわち、従来装置にあっては、バルブ自
体でガスの圧力制御を行なっており、このバルブは耐久
性の面から紅湾的でないという的なからであり、サイク
ルの短縮ができにくく、高速ルが困難であった。これに
ヌ・１し、本実施例ではガスの圧力制御を、弁ではなく
、シリンダ２とビスＩ−ン３とにより行く家っているの
で、弁の耐久性に比べて高く、サイクルタイムの短縮化
が可能どなる。
なＪ３、本発明は上記実施例に限らず、第２図の弁１７
を廃止しピストン自体で弁１７を代替するシステムして
もよい。
［発明の効果］ 以上述べた本発明によれば、所要動力が大幅に低減でき
、股婦費低減ができる圧力食初）り用混合ガス分離装置
を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本発明に係わる圧力変動利用混合
ガス分離装置の一実施例を概念図、第３図は第２図の動
作を説明するためのタイムチャート、第４図は従来装置
を示す概念図である。 １・・・吸着剤、２・・・シリンダ、３・・・ピストン
、４〜８・・・ガス吸排口、１１・・・ピストン型吸着
塔、１２・・・ピストン駆動川原ｖＪ機、１３・・・ク
ランクシャフト、１４−’１７・・・弁。 出願人復代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. シリンダ内を摺動するピストンにより上記シリンダ内ガ
    ス圧力を変動し得る装置に於て、上記ピストンと上記シ
    リンダのヘッドとの間に圧力により吸着能力に差のある
    吸着材を配置する事を特徴とする圧力変動利用混合ガス
    分離装置。
JP61292038A 1986-12-08 1986-12-08 圧力変動利用混合ガス分離装置 Expired - Fee Related JPH0687936B2 (ja)

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US07/243,040 US4948401A (en) 1986-12-08 1987-12-07 Gas mixture separator utilizing pressure modulation
PCT/JP1987/000944 WO1988004195A1 (en) 1986-12-08 1987-12-07 Mixed gas separation apparatus utilizing pressure change
EP87907986A EP0292569B1 (en) 1986-12-08 1987-12-07 Mixed gas separation apparatus utilizing pressure swing adsorption
DE87907986T DE3789018T2 (de) 1986-12-08 1987-12-07 Vorrichtung zur trennung von gasgemischen durch druckwechseladsorption.
CA000553621A CA1309361C (en) 1986-12-08 1987-12-07 Gas mixture separator utilizing pressure modulation
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01171603A (ja) * 1987-12-28 1989-07-06 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 高速プロセス装置

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5082473A (en) * 1990-07-23 1992-01-21 Keefer Bowie Extraction and concentration of a gas component
EP0952883A1 (en) * 1996-12-31 1999-11-03 Bowie Gordon Keefer High frequency pressure swing adsorption
GB9710664D0 (en) * 1997-05-23 1997-07-16 Boc Group Plc Separation of a gas
US6056804A (en) * 1997-06-30 2000-05-02 Questor Industries Inc. High frequency rotary pressure swing adsorption apparatus
US6051050A (en) * 1997-12-22 2000-04-18 Questor Industries Inc. Modular pressure swing adsorption with energy recovery
US6290759B1 (en) * 1999-11-08 2001-09-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Linear actuator driven molecular sieve oxygen generator
US6511526B2 (en) * 2001-01-12 2003-01-28 Vbox, Incorporated Pressure swing adsorption gas separation method and apparatus
US6740146B2 (en) * 2002-09-12 2004-05-25 Edward L. Simonds Oxygen concentrator
GB2398522A (en) * 2003-02-18 2004-08-25 Air Prod & Chem Apparatus for the purification of gasses.
US7954490B2 (en) * 2005-02-09 2011-06-07 Vbox, Incorporated Method of providing ambulatory oxygen
US8684704B2 (en) * 2007-12-21 2014-04-01 Carleton Life Support Systems, Inc. Radial cam-driven compressor and radial cam-driven compressor assemblies
US8394178B2 (en) 2009-07-22 2013-03-12 Vbox, Incorporated Apparatus for separating oxygen from ambient air
US11002268B2 (en) 2015-07-27 2021-05-11 Cobham Mission Systems Davenport Lss Inc. Sealed cavity compressor to reduce contaminant induction
US10258919B2 (en) * 2015-08-19 2019-04-16 Koninklijke Philips N.V. Oxygen separator with improved efficiency
KR101987968B1 (ko) * 2017-03-02 2019-06-11 주식회사 옥서스 가스 농축 장치

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE593866A (ja) * 1959-09-25
US3121625A (en) * 1960-10-05 1964-02-18 Universal Oil Prod Co Adsorptive separation of gas mixtures
US4354859A (en) * 1981-08-06 1982-10-19 Union Carbide Corporation Enhanced gas separation by selective adsorption
EP0143537B1 (en) * 1983-10-03 1990-03-21 Bowie Gordon Keefer Method and apparatus for gas separation and synthesis
US4702903A (en) * 1983-10-03 1987-10-27 Keefer Bowie Method and apparatus for gas separation and synthesis

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01171603A (ja) * 1987-12-28 1989-07-06 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 高速プロセス装置

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Publication number Publication date
DE3789018T2 (de) 1994-05-11
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US4948401A (en) 1990-08-14
WO1988004195A1 (en) 1988-06-16
CA1309361C (en) 1992-10-27
EP0292569A4 (en) 1989-05-11
DE3789018D1 (de) 1994-03-17
EP0292569B1 (en) 1994-02-02
EP0292569A1 (en) 1988-11-30
KR900006423B1 (ko) 1990-08-31

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