JPS63142239A - 表面形状の観察装置 - Google Patents
表面形状の観察装置Info
- Publication number
- JPS63142239A JPS63142239A JP29089486A JP29089486A JPS63142239A JP S63142239 A JPS63142239 A JP S63142239A JP 29089486 A JP29089486 A JP 29089486A JP 29089486 A JP29089486 A JP 29089486A JP S63142239 A JPS63142239 A JP S63142239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- objective lens
- illumination
- observed
- vertical illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 31
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims abstract 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は物体の表面形状の観察方法およびその装置、
特にその照明のための光源装置に関する。
特にその照明のための光源装置に関する。
物体の表面の微細形状を観察するための計測装置として
は、従来から顕微鏡やレンズを取シ付けたカメラを轟該
物体に近付けて、適切な照明を施すことで目的を達成し
たものがある。また表面形状を適当な材料に写し取るレ
プリカの手法が利用された。
は、従来から顕微鏡やレンズを取シ付けたカメラを轟該
物体に近付けて、適切な照明を施すことで目的を達成し
たものがある。また表面形状を適当な材料に写し取るレ
プリカの手法が利用された。
しかし、観察対象物が顕微鏡の試料台に乗らないような
大きな物であるか、生物であって生きたまま観察する必
要がある場合には直接観測には不都合があった。さらに
、表面の微細な剥離や毛状の構造は、レプリカによって
は観察が不可能であった。このような例のひとつとして
、人間の皮膚表面や、植物の組織表面などの観察があげ
られる。
大きな物であるか、生物であって生きたまま観察する必
要がある場合には直接観測には不都合があった。さらに
、表面の微細な剥離や毛状の構造は、レプリカによって
は観察が不可能であった。このような例のひとつとして
、人間の皮膚表面や、植物の組織表面などの観察があげ
られる。
またレプリカによらず物体表面を直接に対物レンズによ
って観察をする場合には、落射照明によらなければなら
ない。細かい凹凸のある物体の表面を見るには、垂直入
射光の反射量を濃淡画像として捕らえることのできる通
常の落射照明が適している。さらに暗視野照明は、物体
で反射された直接光は対物レンズに入射しないようにし
、散乱光、回折光のみで観察し、視野中の微細構造が輝
点として得られるため構造観察の有力な手段となる。す
なわち物体の表面観察にはこの２方式を適切に切り換え
て使い分けられることが必要である。
って観察をする場合には、落射照明によらなければなら
ない。細かい凹凸のある物体の表面を見るには、垂直入
射光の反射量を濃淡画像として捕らえることのできる通
常の落射照明が適している。さらに暗視野照明は、物体
で反射された直接光は対物レンズに入射しないようにし
、散乱光、回折光のみで観察し、視野中の微細構造が輝
点として得られるため構造観察の有力な手段となる。す
なわち物体の表面観察にはこの２方式を適切に切り換え
て使い分けられることが必要である。
この発明は、拡大像を得るための対物レンズ、上記対物
レンズ付近に装着されて対物レンズの光軸前方向に照明
光を照射する照明装置、光源の前方にあって反射部と遮
光部を移動可能かつ光軸と同軸に配設したものからなり
、上記反射部と遮光部は後方に移動した場合には光源か
ら反射部と遮光部に影響なく、観察対象物体に直接光ｔ
−あてて落射照明を行い、また前方に移動したときには
遮光部により光源から観察対象物体への直接光を遮ると
ともに、反射部において光線を反射させて落射暗視野照
明を行うことを、任意に選択しうるようにされている。
レンズ付近に装着されて対物レンズの光軸前方向に照明
光を照射する照明装置、光源の前方にあって反射部と遮
光部を移動可能かつ光軸と同軸に配設したものからなり
、上記反射部と遮光部は後方に移動した場合には光源か
ら反射部と遮光部に影響なく、観察対象物体に直接光ｔ
−あてて落射照明を行い、また前方に移動したときには
遮光部により光源から観察対象物体への直接光を遮ると
ともに、反射部において光線を反射させて落射暗視野照
明を行うことを、任意に選択しうるようにされている。
加えて、いずれの方式の照明でも焦点の再設定が不用で
簡便に観察できるように観察面に対当てて拡大像を得る
ように構成される。
簡便に観察できるように観察面に対当てて拡大像を得る
ように構成される。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例の断面図である。すべて中心＠
１３について軸対称に配置され、１は反射部・２は遮光
部でこの２つは一体であシ、外側ケース９の内面で前後
移動機構３によシ可動支持されている。５は光源のスト
ロボランプ・４は光源用反射鏡で、光源はケース９内面
に固定支持されている。６は観察用対物レンズ・７は鏡
筒で支持部材８によりケース９に固定支持されている。
１３について軸対称に配置され、１は反射部・２は遮光
部でこの２つは一体であシ、外側ケース９の内面で前後
移動機構３によシ可動支持されている。５は光源のスト
ロボランプ・４は光源用反射鏡で、光源はケース９内面
に固定支持されている。６は観察用対物レンズ・７は鏡
筒で支持部材８によりケース９に固定支持されている。
ケース９の前面には開口部１１を持ったカバー１２があ
シ、カバーの前面を観察対象１０に軽く押し当てて観察
した場合にレンズ６の焦点が合うように配置されている
。レンズ６の後方には観察のためのカメラまたは接眼レ
ンズ（図示せず）が設けられている。
シ、カバーの前面を観察対象１０に軽く押し当てて観察
した場合にレンズ６の焦点が合うように配置されている
。レンズ６の後方には観察のためのカメラまたは接眼レ
ンズ（図示せず）が設けられている。
反射部・遮光部を第１図のように後方に移動した場合、
光源５の出す光は反射部・遮光部には遮られす、開口部
１１を通して観察対象１０の表面を照明し、反射光は対
物レンズ６に導かれる。この場合通常の落射照明となる
。
光源５の出す光は反射部・遮光部には遮られす、開口部
１１を通して観察対象１０の表面を照明し、反射光は対
物レンズ６に導かれる。この場合通常の落射照明となる
。
また、反射部・還元部を第２図のように前方に移動する
と、直接光は遮光部２に遮られて開口部１１に達しない
。また反射部１によシ反射された後、観察対象１０の表
面でさらに反射された光線は、直接反射光線は観察対象
１０の表面への入射角が小さ過ぎて対物レンズには達せ
ず、散乱光・乱反射光のみを観察できる。すなわち落射
暗視野照明として動作する。この場合でも対物レンズと
観察対象１０との間隔は図１の場合と変わらないため、
焦点合わせをやシ直す必要はない。
と、直接光は遮光部２に遮られて開口部１１に達しない
。また反射部１によシ反射された後、観察対象１０の表
面でさらに反射された光線は、直接反射光線は観察対象
１０の表面への入射角が小さ過ぎて対物レンズには達せ
ず、散乱光・乱反射光のみを観察できる。すなわち落射
暗視野照明として動作する。この場合でも対物レンズと
観察対象１０との間隔は図１の場合と変わらないため、
焦点合わせをやシ直す必要はない。
また、焦点合わせは、いずれの照明方式においても、単
に前面カバーを（観察する物体に影響を与えない程度に
）物体の表面に軽く押し当てるだけですむため、観察対
象を試料台等に固定する必要はない。したがって、生物
をそのまま観察でき、また観察装置を可搬型に構成して
任意の場所で観察可能にできる。
に前面カバーを（観察する物体に影響を与えない程度に
）物体の表面に軽く押し当てるだけですむため、観察対
象を試料台等に固定する必要はない。したがって、生物
をそのまま観察でき、また観察装置を可搬型に構成して
任意の場所で観察可能にできる。
以上により、反射部・遮光部を前後させるだけで、落射
照明と落射暗視野照明とが切シ換えられる。
照明と落射暗視野照明とが切シ換えられる。
この発明は、上記の構成によう、通常の落射照明と落射
暗視野照明を任意に選択でき、加えて、いずれの方式の
照明でも焦点の再設定が不用で、容易に物体表面を直接
に観察しうる観察装置を実現できる。
暗視野照明を任意に選択でき、加えて、いずれの方式の
照明でも焦点の再設定が不用で、容易に物体表面を直接
に観察しうる観察装置を実現できる。
第１図・第２図は本発明の一実施例を示す図。
１は反射部・２は遮光部・３は移動機構・４は光源用反
射鏡・５は光源のストロボランプ・６は観察用対物レン
ズ・７は鏡筒・８は支持部材・９はケース・１０は観察
対象・１１は開口部・１２はカバー・１３は光学系の光
軸である。
射鏡・５は光源のストロボランプ・６は観察用対物レン
ズ・７は鏡筒・８は支持部材・９はケース・１０は観察
対象・１１は開口部・１２はカバー・１３は光学系の光
軸である。
Claims (1)
- 拡大像を得るための対物レンズ、上記対物レンズ周辺に
装着されて対物レンズの光軸前方向に照明光を照射する
照明装置、光源の前方にあって光軸と同軸に配設され一
体で移動可能な反射部と遮光部からなり、上記反射部と
遮光部は後方に移動した場合には光源から観察対象物体
に直接光が当り、前方に移動したときには遮光部により
光源から観察対象物体への直接光を遮るとともに、反射
部において光線を反射させて暗視野照明を行うことを特
徴とした物体表面形状の観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29089486A JPH0792437B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 表面形状の観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29089486A JPH0792437B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 表面形状の観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63142239A true JPS63142239A (ja) | 1988-06-14 |
| JPH0792437B2 JPH0792437B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=17761883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29089486A Expired - Lifetime JPH0792437B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 表面形状の観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792437B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0344655U (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-25 | ||
| US5090804A (en) * | 1987-07-30 | 1992-02-25 | Virtek Vision Intelligence Robotics Technologies Corporation | Apparatus and method for inspection of surface quality of smooth surfaces |
| US5450291A (en) * | 1990-01-29 | 1995-09-12 | Ezel Inc. | Lighting system for camera |
| WO2003010525A1 (fr) * | 2001-07-27 | 2003-02-06 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Procede d'evaluation de la contamination superficielle d'un objet et dispositif imageur utilise a cet effet |
| JP2006058642A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Nikon Corp | 自動焦点検出装置およびこれを備える顕微鏡システム |
| JP2008519257A (ja) * | 2004-10-28 | 2008-06-05 | コーニング インコーポレイテッド | 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法 |
| JP2016045039A (ja) * | 2014-08-21 | 2016-04-04 | バンドー化学株式会社 | 異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法 |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP29089486A patent/JPH0792437B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5090804A (en) * | 1987-07-30 | 1992-02-25 | Virtek Vision Intelligence Robotics Technologies Corporation | Apparatus and method for inspection of surface quality of smooth surfaces |
| JPH0344655U (ja) * | 1989-09-06 | 1991-04-25 | ||
| US5450291A (en) * | 1990-01-29 | 1995-09-12 | Ezel Inc. | Lighting system for camera |
| WO2003010525A1 (fr) * | 2001-07-27 | 2003-02-06 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Procede d'evaluation de la contamination superficielle d'un objet et dispositif imageur utilise a cet effet |
| US7343038B2 (en) | 2001-07-27 | 2008-03-11 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Method for evaluating contamination on surface of object and imaging box used for the method |
| JP2006058642A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Nikon Corp | 自動焦点検出装置およびこれを備える顕微鏡システム |
| US7843634B2 (en) | 2004-08-20 | 2010-11-30 | Nikon Corporation | Automatic focus detection device and microscope system having the same |
| JP4599941B2 (ja) * | 2004-08-20 | 2010-12-15 | 株式会社ニコン | 自動焦点検出装置およびこれを備える顕微鏡システム |
| JP2008519257A (ja) * | 2004-10-28 | 2008-06-05 | コーニング インコーポレイテッド | 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法 |
| JP2016045039A (ja) * | 2014-08-21 | 2016-04-04 | バンドー化学株式会社 | 異物検査装置、異物検査システム及び異物検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0792437B2 (ja) | 1995-10-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5032720A (en) | Confocal imaging system | |
| US4776687A (en) | Apparatus for detecting ophthalmic disease | |
| US9696686B2 (en) | Method and device for focussing a microscope automatically | |
| US6572229B2 (en) | Back projection visual field tester | |
| US20050213206A1 (en) | Confocal microscope | |
| JPH0420615B2 (ja) | ||
| US5144477A (en) | Method of operating a scanning confocal imaging system | |
| EP0511227A1 (en) | Single aperture confocal scanning biomicroscope | |
| GB2336498A (en) | Flash photolysis method and apparatus | |
| EP0877225A3 (en) | Optical surface measurement apparatus and methods | |
| JPS63142239A (ja) | 表面形状の観察装置 | |
| JPH1033482A (ja) | 前眼部断面解析装置 | |
| JPH04304411A (ja) | 高感度顕微鏡 | |
| US20210369109A1 (en) | Low cost fundus imager with integrated pupil camera for alignment aid | |
| JP2001166219A (ja) | 皮膚観察装置 | |
| JPH02232614A (ja) | 暗視野顕微鏡の照明方法とその装置 | |
| JP2812421B2 (ja) | 角膜細胞撮影装置 | |
| JPH0435731B2 (ja) | ||
| JP2006047780A (ja) | 赤外顕微鏡 | |
| EP3074807B1 (en) | Optical arrangement for imaging a sample | |
| EP3663812A1 (en) | Variable incidence angle dark-field microscopy | |
| JP2006510932A (ja) | コヒーレンス顕微鏡 | |
| JP2974393B2 (ja) | 顕微鏡の画像入力装置 | |
| JP4487359B2 (ja) | 実体顕微鏡および暗視野照明装置 | |
| JP2001124688A (ja) | 走査形プローブ顕微鏡および走査形プローブ顕微鏡における光学像観察方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |