JPS63140073A - 真空蒸着における前処理法 - Google Patents
真空蒸着における前処理法Info
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- JPS63140073A JPS63140073A JP28589786A JP28589786A JPS63140073A JP S63140073 A JPS63140073 A JP S63140073A JP 28589786 A JP28589786 A JP 28589786A JP 28589786 A JP28589786 A JP 28589786A JP S63140073 A JPS63140073 A JP S63140073A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ストリップ（帯状鋼板）の真空蒸着における
前処理法に関する。
前処理法に関する。
周知のように、ストリップの表面に薄膜を形成する方法
には電気メッキ法があるが、最近電気メッキ法に代って
真空蒸着や陰極スパッタリングなどの技術が用いられる
ようになった。この真空蒸着法は、高真空雰囲気内で金
属（例えば亜鉛）絶縁物などを加熱蒸発させ、その蒸発
分子を基板であるストリップ表面に凝固させる方法であ
ることから、その前処理として当該ストリップの表面を
洗浄する洗浄処理は最も重要な処理とされている。した
がって、この前処理如何によっては、形成された薄膜の
強度、ピンホールグレード、薄膜の物理的特性などに大
きな影響を及ぼすことになる。
には電気メッキ法があるが、最近電気メッキ法に代って
真空蒸着や陰極スパッタリングなどの技術が用いられる
ようになった。この真空蒸着法は、高真空雰囲気内で金
属（例えば亜鉛）絶縁物などを加熱蒸発させ、その蒸発
分子を基板であるストリップ表面に凝固させる方法であ
ることから、その前処理として当該ストリップの表面を
洗浄する洗浄処理は最も重要な処理とされている。した
がって、この前処理如何によっては、形成された薄膜の
強度、ピンホールグレード、薄膜の物理的特性などに大
きな影響を及ぼすことになる。
そのため、真空蒸着におけるストリップの前処理として
は脱脂や、強固に残っている汚れをとる酸洗、更には酸
化膜の除去が必要である。
は脱脂や、強固に残っている汚れをとる酸洗、更には酸
化膜の除去が必要である。
ところで、従来においては、酸洗の後では、十分な水洗
が行われており、しかも、この水洗後人気中で乾燥させ
るため、ストリップに再酸化を生じ、蒸着金属の密着性
が低下する、という問題があった。
が行われており、しかも、この水洗後人気中で乾燥させ
るため、ストリップに再酸化を生じ、蒸着金属の密着性
が低下する、という問題があった。
そこで本発明は、従来のかかる問題点を解消するため創
作されたもので、殊に、薄膜の凝固における密着性を向
上させることを目的とし、ストリップを脱脂し、酸洗を
行った後、蒸着金属となじみの良好な金属をストリップ
上に薄く電気メッキを施す真空蒸着における前処理法で
あって、前記メッキ浴中に前記酸洗用酸水溶液を混入し
、酸洗工程と電気メッキ工程とを、同一浴中で、かつ、
酸洗用電極およびメッキ用電極を並設して行うことを特
徴とする真空蒸着における前処理法を提供することにあ
る。
作されたもので、殊に、薄膜の凝固における密着性を向
上させることを目的とし、ストリップを脱脂し、酸洗を
行った後、蒸着金属となじみの良好な金属をストリップ
上に薄く電気メッキを施す真空蒸着における前処理法で
あって、前記メッキ浴中に前記酸洗用酸水溶液を混入し
、酸洗工程と電気メッキ工程とを、同一浴中で、かつ、
酸洗用電極およびメッキ用電極を並設して行うことを特
徴とする真空蒸着における前処理法を提供することにあ
る。
、 本発明の構成を作用とともに実施例にもとづき詳細
に説明する。添付図面において、脱脂したストリップ１
を、真空蒸着に必要な通常の酸洗と同様な効果が上げら
れる塩酸または硫酸系の浴を充満した、同一槽の電解メ
ッキ２に浸漬し、上下で、かつ、複数の電極３．３間を
走行させる。かかる走行中にストリップ１はプラスとマ
イナスにチャージされるようにし、プラスにチャージさ
れた部分で熔解し、マイナスにチャージされた部分でメ
ッキを行う。すなわち、電極３ａ、３ａ・・・をマイナ
スにチャージすれば、これに対面するストリップｌの一
部はプラスにチャージされ、ストリップｌの表面に熔解
が生じる。溶解され、金属イオンとなってメッキ液中に
混入した成分は、・次の電極３ｂ、３ｂ・・・部分で、
メッキ層中に同時に析出される０次に、プラスにチャー
ジされた電極３ｂ。
に説明する。添付図面において、脱脂したストリップ１
を、真空蒸着に必要な通常の酸洗と同様な効果が上げら
れる塩酸または硫酸系の浴を充満した、同一槽の電解メ
ッキ２に浸漬し、上下で、かつ、複数の電極３．３間を
走行させる。かかる走行中にストリップ１はプラスとマ
イナスにチャージされるようにし、プラスにチャージさ
れた部分で熔解し、マイナスにチャージされた部分でメ
ッキを行う。すなわち、電極３ａ、３ａ・・・をマイナ
スにチャージすれば、これに対面するストリップｌの一
部はプラスにチャージされ、ストリップｌの表面に熔解
が生じる。溶解され、金属イオンとなってメッキ液中に
混入した成分は、・次の電極３ｂ、３ｂ・・・部分で、
メッキ層中に同時に析出される０次に、プラスにチャー
ジされた電極３ｂ。
３ｂに対面するストリップ１の一部分はマイナスにチャ
ージされ、メッキが施される。
ージされ、メッキが施される。
次に、以上の熔解やメッキ作用はガスの発生を伴うため
、ポンプ４によりメッキ浴を循環させ、ノズル８から噴
出させることで前記ガスを除去し、電解電圧を下げ、メ
ッキ速度を上げる。それによって、メッキ浴中の金属イ
オン（溶解されたイオンおよびメンキするために他から
供給したイオン）の均一化が行われる。
、ポンプ４によりメッキ浴を循環させ、ノズル８から噴
出させることで前記ガスを除去し、電解電圧を下げ、メ
ッキ速度を上げる。それによって、メッキ浴中の金属イ
オン（溶解されたイオンおよびメンキするために他から
供給したイオン）の均一化が行われる。
なお、９はリンス槽、１０は乾燥装置を示し、これらを
通した後、ストリップ１は図示しない真空蒸着装置へ導
入する。
通した後、ストリップ１は図示しない真空蒸着装置へ導
入する。
次に、本実施例のＺｎメッキを行った１実施例を以下に
示す。
示す。
メッキ浴
Ｚｎ５Ｏ＋２４０ｇ／ｊ！、Ｎａ２ＳＯ４３０ｇ／ｌＣ
Ｈ３ＣＯＯＮａ１５ｇ ／Ｉｔ ＰＨ４に１０％Ｈ２Ｓ０４にて調整 電流密度 ストリッププラスのとき ５ Ａ／ｄ ｎ（ストリッ
プマイナスのとき ５Ａ／ｄｒＩ？以上処理時間 ストリッププラスのとき ３０ｓｅｃ （片面）ス
トリップマイナスのとき ２０ｓｅｃ （片面）スト
リップ材質 冷間圧延鋼板（ｓｐｃｃ） ０．６ｔＸ４００縁
ライン速度 ５ｍ／ｓｉｎ装置寸
法 電極材質 ５ｕＳ３０４電極形状 陰極） １２５０Ｌ ｘ４５０Ｗｘ ２ケ（片面）
陽極） １００ＯＬ ｘ４５０Ｗｘｌｏケ（片面）
電極ストリップ距Ｍ ５０−１０鶴ポンプ能力
５００ｊ！／ｓｉｎ電 源
１．２ＫＡ−６０Ｖ使用以上の方法で行うことによ
り、ストリップのＦｅ成分を含んだ薄い亜鉛メッキをス
トリップ上に行うことが確認できた。
Ｈ３ＣＯＯＮａ１５ｇ ／Ｉｔ ＰＨ４に１０％Ｈ２Ｓ０４にて調整 電流密度 ストリッププラスのとき ５ Ａ／ｄ ｎ（ストリッ
プマイナスのとき ５Ａ／ｄｒＩ？以上処理時間 ストリッププラスのとき ３０ｓｅｃ （片面）ス
トリップマイナスのとき ２０ｓｅｃ （片面）スト
リップ材質 冷間圧延鋼板（ｓｐｃｃ） ０．６ｔＸ４００縁
ライン速度 ５ｍ／ｓｉｎ装置寸
法 電極材質 ５ｕＳ３０４電極形状 陰極） １２５０Ｌ ｘ４５０Ｗｘ ２ケ（片面）
陽極） １００ＯＬ ｘ４５０Ｗｘｌｏケ（片面）
電極ストリップ距Ｍ ５０−１０鶴ポンプ能力
５００ｊ！／ｓｉｎ電 源
１．２ＫＡ−６０Ｖ使用以上の方法で行うことによ
り、ストリップのＦｅ成分を含んだ薄い亜鉛メッキをス
トリップ上に行うことが確認できた。
以上要するに本発明は、特許請求の範囲に記載された構
成を採択したので、以下の効果を奏する。
成を採択したので、以下の効果を奏する。
酸洗後電気メッキを施したので、再度酸化して蒸着金属
の密着性を低下させることがなく、しかも、電気メッキ
に用いる金属は蒸着金属となじみの良好な金属を用いる
ので、その密着性は更に向上し、加えて、同一浴中で溶
解（酸洗）および電気メッキを行うので、簡素化したメ
ンキラインを通用できる。
の密着性を低下させることがなく、しかも、電気メッキ
に用いる金属は蒸着金属となじみの良好な金属を用いる
ので、その密着性は更に向上し、加えて、同一浴中で溶
解（酸洗）および電気メッキを行うので、簡素化したメ
ンキラインを通用できる。
添付図面は、本発明の実施例の概略図を示す。
ｌ・・・ストリップ、３ａ、３ｂ・・・電極。
Claims (1)
- ストリップを脱脂し、酸洗を行った後、蒸着金属となじ
みの良好な金属をストリップ上に薄く電気メッキを施す
真空蒸着の前処理法であって、前記メッキ浴中に前記酸
洗用酸水溶液を混入し、酸洗工程と電気メッキ工程とを
、同一浴中で、かつ、酸洗用電極およびメッキ用電極を
並設して行うことを特徴とする真空蒸着における前処理
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28589786A JPS63140073A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 真空蒸着における前処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28589786A JPS63140073A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 真空蒸着における前処理法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140073A true JPS63140073A (ja) | 1988-06-11 |
Family
ID=17697434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28589786A Pending JPS63140073A (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 真空蒸着における前処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63140073A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0448645A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 集積回路パッケージの製造法 |
-
1986
- 1986-12-02 JP JP28589786A patent/JPS63140073A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0448645A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 集積回路パッケージの製造法 |
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