JPS6313667A - プラズマジエツト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野」 不発明はトーチの一憔棒とそれ金囲む外套との間にプラ
ズマジェットに発生せしめ、該プラズマジェットにより
被加工材ｕｋ加工するプラズマジェット装置に関する。

〔従来の技術〕

オフ１社従来のプラズマジェット装置′に示す図である
。同図において、１は陰懐棒（タングステン偉）、２は
挟挿ノズル６を有する外套、４はプラズマガス通路、５
はプラズマジェット、６は直流電源、７は被加工材料で
ある。不活性のアルゴンガスＡｒ　ｋプラズマガスとし
てプラズマガス通路４に流し、直流電＠６によ＃）電圧
を蛎極棒１と外套２との間に印加してプラズマジェット
５を発生させ、そのプラズマジェットにより被加工材料
７會加工する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、従来の７゛ラズマジエツト装置、特に挟挿ノズ
ル３の径が０．３１１１１以下で、プラズマジェット１
！流ｌ、が数Ａ以下のマイクロプラズマジェット装置に
めっては、プラズマジェットの状態が不安定になり易く
、不良品ができて初め−（プラズマジェットの加工能力
の低下を知ることが多く、４１前にプラズマジェットの
加工能力の低下を確認することができないという欠点が
めった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は以上の問題点全解決するために、トーチの陰極
棒とそれケ囲む外套との間にプラズマジェット全発生せ
しめ、該プラズマジェットにより被加工材料全加工する
プラズマジェット装置において、上記被加工材料の位置
に導電性検出板８間股して、上ｌＩｉ′：！鴎撓棒と導
電性検出板間の電圧或は陰極棒と導電性検出板間を通流
する゛電流を検出することによりプラズマジェットの状
態全確認すること１Ｆ−％徴とするプラズマジェット装
置？提供するものである） 〔作　用〕 本発明は上記のような構成になっているので、プラズマ
ジェットの状態からプラズマジェットの加工能力の低下
ケ確認することができ、不良品の発生全事前に防止する
ことができる。

〔実施例〕

第１図及び第２図をゴ杢発明の一実施例を説明するため
の図でおる。第１図において、８は導電性検出板、９は
電流検出器、１０はフィルタ回路、１１は増幅回路、１
２は比較回路、１３は設定（ロ）路、１４はＡ／Ｄ変換
回路である。オフ図に示すようにして被加工材料７に加
工を施しているプラズマジェット装置において、プラズ
マジェットの状態を確認する必要が生じた場合には、被
加工材料７ｔ−除去すると共に、被加工材料７のあつ′
ｆｃ位置に導電性検出板８を配設して、第１図に示すよ
うな回路とする。すると、直流電源６→プラズマジエツ
ト５→導電性検出板８→′＃Ｌ＠検出器９→直流電源６
の径路で検出電流Ｉが流れる。挟挿ノズル６と導電性検
出板８間の距離Ｈと検出電流工との関係は第２図に示す
ようになる。その検出電流Ｉ’にフィルタ回路１０、増
幅回路１１を介して比較回路１２で予め設定回路１６で
設定されている設定値と比較する。七の比較値が成る値
葡越えた時に比較回路１２＃′ｉ領号’ｋＡ／Ｄ変換回
路１４に送出し、Ａ／Ｄ変換回路は出力信号Ｓ’ｌｋ送
出して、警報？発するか、費累（ガス圧ツバ流菫、アー
ク電流）を司変し、プラズマジェット５を適正な状態に
制御するか、或はプラズマジェット５の発生？停止する
かする。このようにして、プラズマジェットの加工能力
の低下？確認することにより不良品の発生全防止するこ
とができる。

第６図は不発すｊの他の一実施例を説明する九めの図で
ある。この実施例は外套２と導電性検出板８間の電圧？
ｆ−検出することによりプラズマジェットの加工能力の
低下荀確認するものである。その他は第１図の実施例で
説明したのとほぼ同様であり、同様の効果が得られる。

第４図は本発明の他の一実施例を説明するための図であ
る。この実施例は第１図の回路において、＠流電源１５
會電流検出器９に直列接続したものであり、第１図の実
施例と＃１ぼ同様の効果が得られる。尚、第６図の実施
例のように外套２と導電性検出板８間の′電圧を検出し
てもよい。

第５図は本発明の他の一夾施例′ｌｉｒ：説明する九め
の図である。この実施例は第１図の回路において、′に
光検出器９會外套２と導電性検出板８間に接続したもの
であシ、第１図の実施例とほぼ同様の効果が得られる。

尚、第６図の実施例のように外套２と導電性検出板８間
の電圧を検出してもよい。

第６図は不発明の他の一実施例ケ説明するための図であ
る。この実施例は第５図の回路におい工、＠ｍ電源１５
會電流検出器９に直列接続したものであシ、第１図の実
施例とはぼ同様の効果が得られる。尚、第６図の実施例
のように外套２と導電性検出板８間の電圧全検出しても
よい。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ノ以上
の実施例は被加工材料７が非導電性である場合について
述べたが、被加工材料７が導電性である場合には、被加
工材料７が電流検出板８を兼ねることができる。この場
合にはプラズマジェットの状態勿常時確認することがで
きる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明は、トーチの陰極棒とそれ？囲
む外套との間にプラズマ９１２１４発生せしめ、該プラ
ズマジェットニより被加工材料全加工するプラズマジェ
ット装置において、上記被加工材料のｔｓ’Ｌ置に導電
性検出板を配設して、上記隙他柿と導電性検出板間の電
圧或は陽極棒と導電性検出板間を通流する電流を検出す
ることによりプラズマジェットの状態全確認すること全
特徴と１−るプラズマジェット装置である。本発明はこ
のような特徴を有するので、事前にプラズマジェットの
加工能力の低下全確認することにより不良品の発生音防
止することができ、能率的であると共に、経済的である
。特にプラズマジェットの状態が不安定になり易い挟挿
ノズルの径が０．３ａ以下でプラズマジェット電流が数
Ａ以下のマイクロプラズマジェット装置に適用して有用
でおる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図を１本発明の一実施例を説明する丸め
の図、１６図乃至１６図は夫々本発明の仙の一夾ｈｉｌ
ｉ？ｌｌｔ睨明するための図、オフ図は従来のプラズマ
ジェット装置全説明するための図である。 １・・・陽極棒　　　　　　　２・・・外套６・・・挟
挿ノズル　　　　　　４・・・グ２ズマガス通路５・・
・プラズマジェット　　６．１５・・・直流電源７・・
・被加工材料　　　　　８・・・導電性検出板９・・・
′電流検出器　　　　１０・・・フィルタ回路１１・・
・増ｍｈ路　　　　１２・・・比較回路１６・・・設定
回路　　　　１４・・・Ａ／Ｄ変換ｌ１ｇ１路特許出願
人　　オリジン電気株式会社 Ｈ□ ５２　図 ￥　３　図 つ午図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）トーチの陰極棒とそれを囲む外套との間にプラズ
   マジェットを発生せしめ、該プラズマジェットにより被
   加工材料を加工するプラズマジェット装置において、上
   記被加工材料の位置に導電性検出板を配設して、上記陰
   極棒と導電性検出板間の電圧或は陰極棒と導電性検出板
   間を通流する電流に検出することにより、プラズマジェ
   ットの状態を確認することを特徴とするプラズマジェッ
   ト装置。
2. （２）上記被加工材料と導電性検出板とが同一のもので
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプラ
   ズマジェット装置。