JPS63135831A - 薄膜ロ−ドセルの製造方法 - Google Patents
薄膜ロ−ドセルの製造方法Info
- Publication number
- JPS63135831A JPS63135831A JP28345886A JP28345886A JPS63135831A JP S63135831 A JPS63135831 A JP S63135831A JP 28345886 A JP28345886 A JP 28345886A JP 28345886 A JP28345886 A JP 28345886A JP S63135831 A JPS63135831 A JP S63135831A
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- Japan
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- strain
- substrate
- load cell
- thin
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、重力センサや圧力センサとして利用される薄
膜ロードセルの製造方法に関するものである。
膜ロードセルの製造方法に関するものである。
従来の技術
従来、この種のロードセルにおいて、ストレンゲージに
よるブリッジ回路を起歪体の一面または両面に薄膜技術
を利用して形成しているものがある。その場合に、予め
単体の起歪体を形成しておき、その起歪体の表面に絶縁
被膜を形成し、その絶縁被膜の表面に抵抗被膜を積層し
てパターニングしているものである。したがって、個々
の起歪体毎にブリッジ回路を形成してロードセルを製作
している。
よるブリッジ回路を起歪体の一面または両面に薄膜技術
を利用して形成しているものがある。その場合に、予め
単体の起歪体を形成しておき、その起歪体の表面に絶縁
被膜を形成し、その絶縁被膜の表面に抵抗被膜を積層し
てパターニングしているものである。したがって、個々
の起歪体毎にブリッジ回路を形成してロードセルを製作
している。
発明が解決しようとする問題点
抵抗被膜の形成は、スパッタリングや蒸着等により薄膜
形成されるものであるが、抵抗体を形成するための同−
又は複合金属の温度係数（ＴＣＲ）が、スパッタリング
や蒸着の個々の作業時にバラツキが発生し、そのために
、温度特性補正を個々のロードセル毎に行わなければな
らないものである。
形成されるものであるが、抵抗体を形成するための同−
又は複合金属の温度係数（ＴＣＲ）が、スパッタリング
や蒸着の個々の作業時にバラツキが発生し、そのために
、温度特性補正を個々のロードセル毎に行わなければな
らないものである。
また、ブリッジ回路を形成するために各々のパターニン
グのためのエツチング条件が変わるためにパターン幅が
微妙に異なり、抵抗値のバラツキが発生するものである
。
グのためのエツチング条件が変わるためにパターン幅が
微妙に異なり、抵抗値のバラツキが発生するものである
。
問題点を解決するための手段
薄肉変形部を備えた起歪体の幅寸法の複数個分の幅を有
する起歪体基板を形成し、この起歪体基板の一面に絶縁
被膜を形成し、この絶縁被膜の上に抵抗薄膜をパターニ
ングして形成したストレンゲージのブリッジ回路を複数
個分並列に積層形成し、前記起歪体基板を前記起歪体毎
に分離する。
する起歪体基板を形成し、この起歪体基板の一面に絶縁
被膜を形成し、この絶縁被膜の上に抵抗薄膜をパターニ
ングして形成したストレンゲージのブリッジ回路を複数
個分並列に積層形成し、前記起歪体基板を前記起歪体毎
に分離する。
作用
ストレンゲージのための抵抗被膜が同一条件で製造され
るため、温度変化における特性が良好になり、単体の起
歪体に分離した時に、温度補正が不要であるかまたは微
小で良く、また、ブリッジ回路の抵抗値のバラツキが良
くなるものである。
るため、温度変化における特性が良好になり、単体の起
歪体に分離した時に、温度補正が不要であるかまたは微
小で良く、また、ブリッジ回路の抵抗値のバラツキが良
くなるものである。
さらに、起歪体自体の寸法精度についても、薄肉変形部
の厚さが複数個で同一になり、その寸法的な安定性が良
好なものである。
の厚さが複数個で同一になり、その寸法的な安定性が良
好なものである。
実施例
本発明の第一の実施例を第１図乃至第３図に基づいて説
明する。まず、アルミニュウムやステンレススチール等
により起歪体基板１が形成されている。この起歪体基板
１はロードセル２を形成するための起歪体３の幅寸法に
対して複数個分の幅を有する板状のものであり、その幅
方向に沿わせて互いに連結された２個の孔４が貫通して
形成され、これらの孔４により起歪体３となった時には
薄肉変形部５となる薄肉部６が形成されている。
明する。まず、アルミニュウムやステンレススチール等
により起歪体基板１が形成されている。この起歪体基板
１はロードセル２を形成するための起歪体３の幅寸法に
対して複数個分の幅を有する板状のものであり、その幅
方向に沿わせて互いに連結された２個の孔４が貫通して
形成され、これらの孔４により起歪体３となった時には
薄肉変形部５となる薄肉部６が形成されている。
このような起歪体基板１の一面には絶縁被膜７が全体に
わたって塗布され、この絶縁被膜７の上には抵抗薄膜と
導電膜とが積層されるとともにパターニングされて複数
個分のストレンゲージ８とこれらのストレンゲージ８を
接続してブリッジ回路９を形成するリード部１０と外部
回路に接続するだめの端子部１１とが並列形成されてい
る。この場合、前記ストレンゲージ８は前記薄肉部６の
上に位置している。
わたって塗布され、この絶縁被膜７の上には抵抗薄膜と
導電膜とが積層されるとともにパターニングされて複数
個分のストレンゲージ８とこれらのストレンゲージ８を
接続してブリッジ回路９を形成するリード部１０と外部
回路に接続するだめの端子部１１とが並列形成されてい
る。この場合、前記ストレンゲージ８は前記薄肉部６の
上に位置している。
しかして、このようにして薄膜技術によりブリッジ回路
９と端子部１１とを形成してからその表面に保護被膜１
２が積層されて形成される。
９と端子部１１とを形成してからその表面に保護被膜１
２が積層されて形成される。
ついで、前記起歪体基板１は切断線１３の部分で切断し
て分離することにより前記ロードセル２が形成される。
て分離することにより前記ロードセル２が形成される。
このようにして分離された後は、起歪体３の一方が図示
しないベースに固定されるための固定部１４とされ、他
方が図示しない受皿が連結される荷重受部１５とされて
いる。
しないベースに固定されるための固定部１４とされ、他
方が図示しない受皿が連結される荷重受部１５とされて
いる。
このような構成において、ブリッジ回路９を形成時に一
度に多数のブリッジ回路９を同時に形成するために抵抗
膜の温度安定性が高く、また、抵抗膜のバラツキが少な
くなるためにブリッジ回路９が安定し、補正抵抗が微小
となる。
度に多数のブリッジ回路９を同時に形成するために抵抗
膜の温度安定性が高く、また、抵抗膜のバラツキが少な
くなるためにブリッジ回路９が安定し、補正抵抗が微小
となる。
また、起歪体基板１は複数個分連設された幅広のもので
あるため、薄肉部６の寸法が安定し、分離後の薄肉変形
部５の寸法的なバラツキがない。
あるため、薄肉部６の寸法が安定し、分離後の薄肉変形
部５の寸法的なバラツキがない。
そのため、起歪体３としての寸法精度も高く１機械的な
均一性が得られる。
均一性が得られる。
このようなことから、一つの起歪体基板１から形成され
るロードセル２を一つのロッドとして各部の調整を行う
ことにより、その製作時の調整作業が簡単になるもので
ある。
るロードセル２を一つのロッドとして各部の調整を行う
ことにより、その製作時の調整作業が簡単になるもので
ある。
次に、第４図及び第５図に基づいて本発明の第二の実施
例を説明する。本実施例は起歪体基板１しか図示しない
が、その裏面からスリット１６を起歪体３の幅寸法毎に
入れておき、前述のようにその表面にブリッジ回路９等
を形成してから、表面側の連設部１７のみを切断して各
起歪体３に分離するようにしたものである。
例を説明する。本実施例は起歪体基板１しか図示しない
が、その裏面からスリット１６を起歪体３の幅寸法毎に
入れておき、前述のようにその表面にブリッジ回路９等
を形成してから、表面側の連設部１７のみを切断して各
起歪体３に分離するようにしたものである。
さらに、特に図示しないが、予め個々の起歪体３に切断
したものを複数個分集合させて板状の起歪体基板１を形
成しても良いものである。この場台には複数個分のブリ
ッジ回路９を並列形成してから各起歪体３に分割するも
のである。
したものを複数個分集合させて板状の起歪体基板１を形
成しても良いものである。この場台には複数個分のブリ
ッジ回路９を並列形成してから各起歪体３に分割するも
のである。
なお、実施に当っては保護被膜１２の形成は、個々の起
歪体３に分離してから行っても良いものである。
歪体３に分離してから行っても良いものである。
発明の効果
本発明は、上述のように起歪体基板の表面に薄膜技術で
複数個分のブリッジ回路を形成してから分離するように
したので、ストレンゲージにより形成されるブリッジ回
路の温度安定性が良好になり、ストレンゲージを形成す
る抵抗薄膜のバラツキが少なく、ブリッジ回路が安定し
、補正抵抗が微小となり、起歪体の薄肉変形部の寸法も
安定して機械的にも均一なものを形成することができ、
一つの起歪体基板毎にロッド管理すれば、各部の調整作
業も簡単である等の効果を有するものである。
複数個分のブリッジ回路を形成してから分離するように
したので、ストレンゲージにより形成されるブリッジ回
路の温度安定性が良好になり、ストレンゲージを形成す
る抵抗薄膜のバラツキが少なく、ブリッジ回路が安定し
、補正抵抗が微小となり、起歪体の薄肉変形部の寸法も
安定して機械的にも均一なものを形成することができ、
一つの起歪体基板毎にロッド管理すれば、各部の調整作
業も簡単である等の効果を有するものである。
第１図は本発明の第一の実施例の起歪体基板の一例を示
す斜視図、第２図は分離したロードセルの斜視図、第３
図はその一部の断面図、第４図は本発明の第二の実施例
の起歪体基板の斜視図、第５図は分離した起歪体の斜視
図である。 １・・・起歪体基板、３・・・起歪体、５・・・薄肉変
形部、７・・・絶縁被膜、８・・・ストレンゲージ、９
・・・ブリッジ回路 出 願 人 東京電気株式会社 代 理 人 相 木 明、１；−′・
−；ご靭うご１１ Ｊ、Ｉ 図 ３Ｚ図 」比 ３
す斜視図、第２図は分離したロードセルの斜視図、第３
図はその一部の断面図、第４図は本発明の第二の実施例
の起歪体基板の斜視図、第５図は分離した起歪体の斜視
図である。 １・・・起歪体基板、３・・・起歪体、５・・・薄肉変
形部、７・・・絶縁被膜、８・・・ストレンゲージ、９
・・・ブリッジ回路 出 願 人 東京電気株式会社 代 理 人 相 木 明、１；−′・
−；ご靭うご１１ Ｊ、Ｉ 図 ３Ｚ図 」比 ３
Claims (1)
- 薄肉変形部を備えた起歪体の幅寸法の複数個分の幅を有
する起歪体基板を形成し、この起歪体基板の一面に絶縁
被膜を形成し、この絶縁被膜の上に抵抗薄膜をパターニ
ングして形成したストレンゲージのブリッジ回路を複数
個分並列に積層形成し、前記起歪体基板を前記起歪体毎
に分離するようにしたことを特徴とする薄膜ロードセル
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28345886A JPS63135831A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 薄膜ロ−ドセルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28345886A JPS63135831A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 薄膜ロ−ドセルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63135831A true JPS63135831A (ja) | 1988-06-08 |
Family
ID=17665808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28345886A Pending JPS63135831A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 薄膜ロ−ドセルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63135831A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008128864A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Nitta Ind Corp | センサ及びその製造方法 |
| JP2010230546A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | A & D Co Ltd | ロードセル及びロードセル用起歪体の製造方法 |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP28345886A patent/JPS63135831A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008128864A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Nitta Ind Corp | センサ及びその製造方法 |
| JP2010230546A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | A & D Co Ltd | ロードセル及びロードセル用起歪体の製造方法 |
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