JPS63133044A - 検査用照明器具 - Google Patents
検査用照明器具Info
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- JPS63133044A JPS63133044A JP28037986A JP28037986A JPS63133044A JP S63133044 A JPS63133044 A JP S63133044A JP 28037986 A JP28037986 A JP 28037986A JP 28037986 A JP28037986 A JP 28037986A JP S63133044 A JPS63133044 A JP S63133044A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Landscapes
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、製品の欠陥検査を目視や受光センサを用い
て行うための検査用照明器具に関するものである。
て行うための検査用照明器具に関するものである。
−Ｓに、欠陥検査における検査項目は、表面傷、汚れ、
しみなどのように多種多様であり、各々の欠陥に対して
発見しやすい照明方式が存在する。
しみなどのように多種多様であり、各々の欠陥に対して
発見しやすい照明方式が存在する。
たとえば、第５図に示すように被検査物３０の表面傷３
１に対しては、光線（矢印で示す）を斜め方向から照射
し、この光線が表面傷３１の部分で乱反射するのを利用
して、受光センサ３２で見れば、表面傷３１の部分だけ
が光って見えるようにする。また、第６図に示すように
被検査物３０の汚れ３３ （またはしみ）に対しては、
拡散照明器具３４を用いて、被検査物３０の表面を均一
に照明することにより、汚れ３３やしみの判別が容易に
なる。
１に対しては、光線（矢印で示す）を斜め方向から照射
し、この光線が表面傷３１の部分で乱反射するのを利用
して、受光センサ３２で見れば、表面傷３１の部分だけ
が光って見えるようにする。また、第６図に示すように
被検査物３０の汚れ３３ （またはしみ）に対しては、
拡散照明器具３４を用いて、被検査物３０の表面を均一
に照明することにより、汚れ３３やしみの判別が容易に
なる。
したがって、製品の表面傷を検査する場合と、汚れやし
やを検査する場合とでは、それぞれ異なる照明方式を採
用する必要があった。
やを検査する場合とでは、それぞれ異なる照明方式を採
用する必要があった。
しかしながら、人による目視検査の場合、製造ラインの
構成と検査位置との関係上、２種類以上の照明器具を同
一検査場所に設置できないことが多かった。このため、
１台の照明器具で検査員が自分の視線を変えたり、被検
査物の向きを変えたりして、複数の照明器具を設置した
と同じ効果を得ていたが、非常に非能率であった。また
、検査ステーションを別々にして検査する場合は、製造
コストが高くなるという問題があった。
構成と検査位置との関係上、２種類以上の照明器具を同
一検査場所に設置できないことが多かった。このため、
１台の照明器具で検査員が自分の視線を変えたり、被検
査物の向きを変えたりして、複数の照明器具を設置した
と同じ効果を得ていたが、非常に非能率であった。また
、検査ステーションを別々にして検査する場合は、製造
コストが高くなるという問題があった。
一方、受光センサによる自動検査の場合も同様な問題が
あり、複数の照明器具と、場合によっては複数の受光セ
ンサとが必要となり、設備が大型化してコストが高くな
り、また複数の照明器具を必要とするためにその調整や
メンテナンスに人手と時間がかかり、製造コストが高く
なるという問題があった。
あり、複数の照明器具と、場合によっては複数の受光セ
ンサとが必要となり、設備が大型化してコストが高くな
り、また複数の照明器具を必要とするためにその調整や
メンテナンスに人手と時間がかかり、製造コストが高く
なるという問題があった。
この発明の目的は、被検査物の各種欠陥を同時に検査で
きる検査用照明器具を提供することである。
きる検査用照明器具を提供することである。
この発明の検査用照明器具は、照射光線が拡がりを有す
る光源部と、この光源部から照射された光線を所定の向
きに変更させる第１の光学素子と、この第１の光学素子
で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変えて
被検査物を照射する第２の光学素子と、前記第１の光学
素子または第２の光学素子から照射された光線のうち一
部または全部の光線の性質を変えて前記被検査物を照射
する第３の光学素子とを備えたものである。
る光源部と、この光源部から照射された光線を所定の向
きに変更させる第１の光学素子と、この第１の光学素子
で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変えて
被検査物を照射する第２の光学素子と、前記第１の光学
素子または第２の光学素子から照射された光線のうち一
部または全部の光線の性質を変えて前記被検査物を照射
する第３の光学素子とを備えたものである。
このように、この発明によれば、複数の光学素子を用い
て光源部の光線の性質および方向を変えて被検査物に同
時に照射するので、各種の欠陥を１つの光源部だけで容
易に検出することが可能となる。また、被検査物が変わ
っても、光学素子の一部または全部を交換することによ
り、コストを上げずに簡単に対応することができる。
て光源部の光線の性質および方向を変えて被検査物に同
時に照射するので、各種の欠陥を１つの光源部だけで容
易に検出することが可能となる。また、被検査物が変わ
っても、光学素子の一部または全部を交換することによ
り、コストを上げずに簡単に対応することができる。
また、使用する光源部が１つだけでよいため、自動検査
装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対して
受光センサの感度調整だけでよ（、光源部が２つ以上の
あった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラン
スを調整する手間がいらず、操作が簡単になる。また、
検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光学系
全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。また、
光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくなり低コ
スト化が可能となる。
装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対して
受光センサの感度調整だけでよ（、光源部が２つ以上の
あった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラン
スを調整する手間がいらず、操作が簡単になる。また、
検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光学系
全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。また、
光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくなり低コ
スト化が可能となる。
この発明の作用を第１図に基づいて詳細に説明する。第
１図において、１は光源部であり、この光源部ｌの近傍
には第１の光学素子２（反射ミラー等）が配置され、光
源部から照射された光線を利用しやすい拡がり（配光）
に調整する。この配光は被検査物６とその欠陥性状によ
り適宜決定される。第１図においては、被検査物６の表
面に傷７ （または欠け）がある場合、被検査物を斜め
上方から指向性の強い光線で照射して傷７の部分で乱反
射を起こさせる必要があるため、第１の光学素子２で配
光した光のうち、光強度の強い光線を利用して斜め上方
より被検査物６の表面を照射できるように第２の光学素
子４（反射ミラー等）を設置する。
１図において、１は光源部であり、この光源部ｌの近傍
には第１の光学素子２（反射ミラー等）が配置され、光
源部から照射された光線を利用しやすい拡がり（配光）
に調整する。この配光は被検査物６とその欠陥性状によ
り適宜決定される。第１図においては、被検査物６の表
面に傷７ （または欠け）がある場合、被検査物を斜め
上方から指向性の強い光線で照射して傷７の部分で乱反
射を起こさせる必要があるため、第１の光学素子２で配
光した光のうち、光強度の強い光線を利用して斜め上方
より被検査物６の表面を照射できるように第２の光学素
子４（反射ミラー等）を設置する。
一方、被検査物６の表面上の汚れやじみを判別しやすく
するためには、被検査物６の真上から均一拡散光線を照
射すればよく、このため第１の光学素子２により得られ
た配光のうちほぼ下向きで光強度が同程度の光線を利用
し、この光線を被検査物６のほぼ真上に配置した第３の
光学素子５（拡散パネル等）を通過させて均一拡散照明
を得る。この場合、第１の光学素子２で向きを変更した
全ての光線の性質を変えて、一部の光線を第２の光学素
子４に向かわせるようにしてもよい。
するためには、被検査物６の真上から均一拡散光線を照
射すればよく、このため第１の光学素子２により得られ
た配光のうちほぼ下向きで光強度が同程度の光線を利用
し、この光線を被検査物６のほぼ真上に配置した第３の
光学素子５（拡散パネル等）を通過させて均一拡散照明
を得る。この場合、第１の光学素子２で向きを変更した
全ての光線の性質を変えて、一部の光線を第２の光学素
子４に向かわせるようにしてもよい。
前記光源部ｌとしては、照射光線がある程度の拡がり（
配光）を有しているものであればいずれも使用可能であ
り、たとえば光ファイバ、ハロゲンランプ、キセノンラ
ンプ、螢光ランプなどがあげられる。
配光）を有しているものであればいずれも使用可能であ
り、たとえば光ファイバ、ハロゲンランプ、キセノンラ
ンプ、螢光ランプなどがあげられる。
また、前記第１および第２の光学素子としては、たとえ
ばプリズム、レンズ、ミラー等が使用可能である。また
、第３の光学素子としては、たとえば拡散パネル、偏光
パネル、カラーフィルタ等が使用可能である。
ばプリズム、レンズ、ミラー等が使用可能である。また
、第３の光学素子としては、たとえば拡散パネル、偏光
パネル、カラーフィルタ等が使用可能である。
なお、この発明における光学素子は第１〜第３の光学素
子のみに限定されるものではなく、必要に応じてさらに
多くの光学素子を使用して多種類の欠陥検査を行いうる
ようにしてもよい。
子のみに限定されるものではなく、必要に応じてさらに
多くの光学素子を使用して多種類の欠陥検査を行いうる
ようにしてもよい。
また、被検査物がリング状であれば、光源部や第１およ
び第２の光学素子を同じリング状にして被検査物の全周
方向から光線を照射するようにしてもよい。
び第２の光学素子を同じリング状にして被検査物の全周
方向から光線を照射するようにしてもよい。
実施例
この発明の第１の実施例を第２図に基づいて説明する。
すなわち、この検査用照明器具は、とくに表面に光沢の
ある円筒形の被検査物の表面の欠け、傷、汚れなどの検
査に適用されるものであって、第２図に示すように、照
射光線が拡がりを有する光源部７と、この光源部７から
照射された光線を所定の向きに変更させる第１の光学素
子８（リング状のプリズム）と、この第１の光学素子８
で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変えて
被検査物１１を照射する第２の光学素子９（リング状の
反射パネル）と、前記第１の光学素子８から照射された
光線のうち一部の光線の性質を変えて前記被検査物１１
に照射する第３の光学素子１０（リング状の拡散パネル
）とを備えたものである。
ある円筒形の被検査物の表面の欠け、傷、汚れなどの検
査に適用されるものであって、第２図に示すように、照
射光線が拡がりを有する光源部７と、この光源部７から
照射された光線を所定の向きに変更させる第１の光学素
子８（リング状のプリズム）と、この第１の光学素子８
で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変えて
被検査物１１を照射する第２の光学素子９（リング状の
反射パネル）と、前記第１の光学素子８から照射された
光線のうち一部の光線の性質を変えて前記被検査物１１
に照射する第３の光学素子１０（リング状の拡散パネル
）とを備えたものである。
前記光源部７は、光ファイバ束１２をリング状の保持台
１３の全周にわたって垂直に取付けたものであり、下方
に光線を一定の拡がりをもって照射する。
１３の全周にわたって垂直に取付けたものであり、下方
に光線を一定の拡がりをもって照射する。
第１の光学素子８は光源部７の光照射面側に同心円状に
配置され、光線を屈折透過させて光強度の強い光線を半
径方向外向きに向かわせる。そして、この外向きの光線
を第２の光学素子９で半径方向内向きに反射し、被検査
物１１に対してその斜め上方から指向性の強い光線を照
射する。これにより、被検査物１１の表面に傷や欠けが
ある場合は、その部分で乱反射して鮮明化するため上方
の受光センサ１４で容易に検出されるのである。
配置され、光線を屈折透過させて光強度の強い光線を半
径方向外向きに向かわせる。そして、この外向きの光線
を第２の光学素子９で半径方向内向きに反射し、被検査
物１１に対してその斜め上方から指向性の強い光線を照
射する。これにより、被検査物１１の表面に傷や欠けが
ある場合は、その部分で乱反射して鮮明化するため上方
の受光センサ１４で容易に検出されるのである。
一方、第３の光学素子１０は第１の光学素子８の下方に
配置され、第１の光学素子８を通過した光強度の比較的
均一な光線をさらに均一に拡散させて被検査物１１の表
面を照射するため、受光センサＩ４によるよごれ、しみ
等の検出が容易に行われるようになる。
配置され、第１の光学素子８を通過した光強度の比較的
均一な光線をさらに均一に拡散させて被検査物１１の表
面を照射するため、受光センサＩ４によるよごれ、しみ
等の検出が容易に行われるようになる。
この発明の第２の実施例を第３図に基づいて説明する。
すなわち、この検査用照明器具は、ガラスなどの透光性
材料の表面の傷や欠け、さらに内部歪などの検査に適用
されるものであって、第３図に示すように、光源部１５
の光線照射面側に第１の光学素子１６ （凹レンズ）を
配置し、この第１の光学素子１６を通過した光線のうち
外向きに方向を変えた光強度の強い光線を第２の光学素
子（プリズム）で屈折透過させて内向きの光線に変え、
斜め上方から透光性の被検査物１８を照射して被検査物
１８の表面に傷、欠は等があるか否かを第１の受光セン
サ１９で検出する。
材料の表面の傷や欠け、さらに内部歪などの検査に適用
されるものであって、第３図に示すように、光源部１５
の光線照射面側に第１の光学素子１６ （凹レンズ）を
配置し、この第１の光学素子１６を通過した光線のうち
外向きに方向を変えた光強度の強い光線を第２の光学素
子（プリズム）で屈折透過させて内向きの光線に変え、
斜め上方から透光性の被検査物１８を照射して被検査物
１８の表面に傷、欠は等があるか否かを第１の受光セン
サ１９で検出する。
一方、第１の光学素子１６の下方には被検査物１８を挟
んで一対の偏光パネル２０ａ、２０ｂからなる第３の光
学素子が配置され、第１の光学素子１６を通過した光線
の一部を一方の偏光パネル２０ａから透光性の被検査物
１８を経て他方の偏光パネル２０ｂを通過させ、これを
第２の受光センサ２１で受けて、被検査物１８の内部歪
を検出するのである。
んで一対の偏光パネル２０ａ、２０ｂからなる第３の光
学素子が配置され、第１の光学素子１６を通過した光線
の一部を一方の偏光パネル２０ａから透光性の被検査物
１８を経て他方の偏光パネル２０ｂを通過させ、これを
第２の受光センサ２１で受けて、被検査物１８の内部歪
を検出するのである。
光源部１５としては、ミニハロゲンランプ、キセノンラ
ンプ、螢光ランプ等が使用される。
ンプ、螢光ランプ等が使用される。
この発明の第３の実施例を第４図に基づいて説明する。
すなわち、この検査用照明器具は、塗装などによる色付
の被検査物の表面の傷、欠け、さらに色むらなどの検査
に適用するものであって、第４図に示すように、光源部
２２の上方を覆った第１の光学素子２３ （反射ミラー
）で光線の拡がりを制御し、外向きの光線を第２の光学
素子２４（反射ミラー）で反射して被検査物２６に斜め
上方から光線を照射し、第１の受光センサ２８で被検査
物２６の表面の傷や欠けの有無を検査する。
の被検査物の表面の傷、欠け、さらに色むらなどの検査
に適用するものであって、第４図に示すように、光源部
２２の上方を覆った第１の光学素子２３ （反射ミラー
）で光線の拡がりを制御し、外向きの光線を第２の光学
素子２４（反射ミラー）で反射して被検査物２６に斜め
上方から光線を照射し、第１の受光センサ２８で被検査
物２６の表面の傷や欠けの有無を検査する。
一方、下向きの光線は第３の光学素子２５（カラーフィ
ルタ）およびハーフミラ−２７を順次通す２９で受け、
被検査物２６の表面の色むらや色合わせなどの検査を行
う。
ルタ）およびハーフミラ−２７を順次通す２９で受け、
被検査物２６の表面の色むらや色合わせなどの検査を行
う。
この発明によれば、複数の光学素子を用いて光源部の光
線の光質および方向を変えて被検査物に同時に照射する
ので、各種の欠陥を１つの光源部だけで容易に検出する
ことが可能となる。また、被検査物が変わっても、光学
素子の一部または全部を交換することにより、コストを
上げずに簡単に対応することができるという効果がある
。
線の光質および方向を変えて被検査物に同時に照射する
ので、各種の欠陥を１つの光源部だけで容易に検出する
ことが可能となる。また、被検査物が変わっても、光学
素子の一部または全部を交換することにより、コストを
上げずに簡単に対応することができるという効果がある
。
また、使用する光源部が１つだけでよいため、自動検査
装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対して
受光センサの感度調整だけでよく、光源部が２つ以上の
あった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラン
スを調整する手間がいらず、操作が簡単になる。また、
検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光学系
全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。また、
光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくなり、低
コスト化が可能になるという効果もある。
装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対して
受光センサの感度調整だけでよく、光源部が２つ以上の
あった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラン
スを調整する手間がいらず、操作が簡単になる。また、
検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光学系
全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。また、
光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくなり、低
コスト化が可能になるという効果もある。
第１図はこの発明の検査用照明器具の作用を説明するた
めの説明図、第２図〜第４図はそれぞれこの発明の実施
例を示す説明図、第５図および第６図は従来の検査用照
明方式を示す説明図である。 、１．７．１５．２２・・・光源部、２．８．１６．２
３・・・第１の光学素子、４．９．１７．２４・・・第
２の光学素子、５．１０．２５・・・第３の光学素子、
６．１１．１８．２６ ・・・被検査物、２０ａ、２０
ｂ・・・偏光パネル（第３の光学素子） ６槓＃Ｉｋ翔 第１図 第２図 第３図 第４図
めの説明図、第２図〜第４図はそれぞれこの発明の実施
例を示す説明図、第５図および第６図は従来の検査用照
明方式を示す説明図である。 、１．７．１５．２２・・・光源部、２．８．１６．２
３・・・第１の光学素子、４．９．１７．２４・・・第
２の光学素子、５．１０．２５・・・第３の光学素子、
６．１１．１８．２６ ・・・被検査物、２０ａ、２０
ｂ・・・偏光パネル（第３の光学素子） ６槓＃Ｉｋ翔 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 照射光線が拡がりを有する光源部と、この光源部から照
射された光線を所定の向きに変更させる第１の光学素子
と、この第１の光学素子で向きを変更した光線のうち一
部の光線の方向を変えて被検査物を照射する第２の光学
素子と、前記第１の光学素子または第２の光学素子から
照射された光線のうち一部または全部の光線の性質を変
えて前記被検査物を照射する第３の光学素子とを備えた
検査用照明器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61280379A JPH083469B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 検査用照明器具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61280379A JPH083469B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 検査用照明器具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63133044A true JPS63133044A (ja) | 1988-06-04 |
| JPH083469B2 JPH083469B2 (ja) | 1996-01-17 |
Family
ID=17624197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61280379A Expired - Lifetime JPH083469B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 検査用照明器具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083469B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337074A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Nok Corp | 外観検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0531560U (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-27 | 毅 近森 | 家畜用自動給餌装置 |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP61280379A patent/JPH083469B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0531560U (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-27 | 毅 近森 | 家畜用自動給餌装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337074A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Nok Corp | 外観検査装置 |
| JP4687248B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-05-25 | Ｎｏｋ株式会社 | 外観検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH083469B2 (ja) | 1996-01-17 |
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