JPS63127129A - 光ビ−ム径測定装置 - Google Patents
光ビ−ム径測定装置Info
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- JPS63127129A JPS63127129A JP27328386A JP27328386A JPS63127129A JP S63127129 A JPS63127129 A JP S63127129A JP 27328386 A JP27328386 A JP 27328386A JP 27328386 A JP27328386 A JP 27328386A JP S63127129 A JPS63127129 A JP S63127129A
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- Japan
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- circuit
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Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光学式記録再生装置等に用いられる光学ヘッド
のレーザー光のような光ビームの径を測定し、光ビーム
の形状を検査する装置に関するものである。
のレーザー光のような光ビームの径を測定し、光ビーム
の形状を検査する装置に関するものである。
従来の技術
従来、ＩＴＶカメラ等で撮像して光学式記録再生装置の
光学ヘッドの光ビーム径を測定する場合、第３図に示す
ように映像信号の大きさにより検出された光ビーム６の
強度分布１の最大強度２とノイズレベル３を求めその値
を使ってたとえば半値巾として、 （最大強度２＋ノイズレベル３）／２ を半値レベル４としビーム径ＭＷを測定している。
光学ヘッドの光ビーム径を測定する場合、第３図に示す
ように映像信号の大きさにより検出された光ビーム６の
強度分布１の最大強度２とノイズレベル３を求めその値
を使ってたとえば半値巾として、 （最大強度２＋ノイズレベル３）／２ を半値レベル４としビーム径ＭＷを測定している。
第３図すはＩＴＶカメラからの映像信号の１フイ一ルド
分の信号をみたもの、または１フイールドメモリに記憶
して、最大強度２のある走査線である。第３図゛ａはモ
ニターＴＶに光ビームを写し出したものである。
分の信号をみたもの、または１フイールドメモリに記憶
して、最大強度２のある走査線である。第３図゛ａはモ
ニターＴＶに光ビームを写し出したものである。
発明が解決しようとした問題点
前記光ビームの測定方法では、ノイズレベル３を光ビー
ムのパワーが零のときの光強度としているが、ＩＴＶカ
メラの性能、光ビームのパワーが小さい場合には半値レ
ベルを求める精度が悪くなり半値中の光ビーム径の測定
精度が悪くなる。
ムのパワーが零のときの光強度としているが、ＩＴＶカ
メラの性能、光ビームのパワーが小さい場合には半値レ
ベルを求める精度が悪くなり半値中の光ビーム径の測定
精度が悪くなる。
問題点を解決するための手段
本発明は光ビームのパワーを変化させ、変化する前後で
のパワーを測定しておき、光ビームの最大強度の変化量
から光ビームパワーが零のときの光強度レベルを精度よ
く求め、光ビーム径を得るようにしたものである。
のパワーを測定しておき、光ビームの最大強度の変化量
から光ビームパワーが零のときの光強度レベルを精度よ
く求め、光ビーム径を得るようにしたものである。
作用
光ビームのパワーレベルが人のときの光ビーム強度分布
を５とし、その最大強度７がＰＫ□、光ビームのパワー
レベルがＢのときの光ビーム強度分布を６とし、その最
大強度８がＰＩｎとしたと、光ビームの最大強度Ｐえ
は、光ビームのパワーＰｗに比例しており Ｐえ。ｃＰＷ の関係にあるので光ビームのパワー零の場合の光ビーム
強度レベル９Ｐ工０は Ｐ工。”ＰＫＢ□（ＰＫ□−ＰＫＢ）・Ａ−Ｂで求めら
れる。
を５とし、その最大強度７がＰＫ□、光ビームのパワー
レベルがＢのときの光ビーム強度分布を６とし、その最
大強度８がＰＩｎとしたと、光ビームの最大強度Ｐえ
は、光ビームのパワーＰｗに比例しており Ｐえ。ｃＰＷ の関係にあるので光ビームのパワー零の場合の光ビーム
強度レベル９Ｐ工０は Ｐ工。”ＰＫＢ□（ＰＫ□−ＰＫＢ）・Ａ−Ｂで求めら
れる。
光ビーム強度レベル９Ｐえ。とパワーレベル人の最大強
度ＰＫＡ又はパワーレベルＢの最大強度ＰＫＢを用いて
たとえば半値巾レベルＰＫＨ，１０，Ｐえ□１１は ＰＫＨム＝（Ｐｘム＋ＰＫＯ）／２ ＰＫｌ（Ｂ −（ＰＫＢ十Ｐｇｏ ） ／２より得られ
半値巾光ビーム径ＨＷｏ１２が求まる。
度ＰＫＡ又はパワーレベルＢの最大強度ＰＫＢを用いて
たとえば半値巾レベルＰＫＨ，１０，Ｐえ□１１は ＰＫＨム＝（Ｐｘム＋ＰＫＯ）／２ ＰＫｌ（Ｂ −（ＰＫＢ十Ｐｇｏ ） ／２より得られ
半値巾光ビーム径ＨＷｏ１２が求まる。
また、光ビームのパワーは光源からの出射ビームのパワ
ーに比例しておシ、光源の出射ビームの一部を光検出器
で検出することにより得ることができる。
ーに比例しておシ、光源の出射ビームの一部を光検出器
で検出することにより得ることができる。
実施例
本発明の実施例を第１図に示す。
光学ヘッド１４の光源は半導体レーザでできており、半
導体レーザのパワーモニターとしてレーザのパッケージ
に内蔵されたＰＩＮダイオードが通常使われる。このＰ
ＩＮダイオードの出力１５をパワー検出回路１６により
パワー検出し、ＣＰＵ１７にデータを送る。
導体レーザのパワーモニターとしてレーザのパッケージ
に内蔵されたＰＩＮダイオードが通常使われる。このＰ
ＩＮダイオードの出力１５をパワー検出回路１６により
パワー検出し、ＣＰＵ１７にデータを送る。
光ビーム１３のパワーと光源である半導体レーザのパワ
ーは比例関係にあるので、レーザパワーを検出している
。
ーは比例関係にあるので、レーザパワーを検出している
。
光ビーム１３は顕微鏡１８で拡大されＩＴ”／カメラ１
９で撮像される。撮像された光ビーム１３の映像信号２
ｏは人／Ｄコンバータ回路２１でディジタル信号に変換
され、フレームメモリ回路２２に１フレ一ム分、ＣＰＵ
１７の指令により記憶される。
９で撮像される。撮像された光ビーム１３の映像信号２
ｏは人／Ｄコンバータ回路２１でディジタル信号に変換
され、フレームメモリ回路２２に１フレ一ム分、ＣＰＵ
１７の指令により記憶される。
また、ピーク値検出回路２３では、ＣＰＵ１７の指令に
よりフレームメモリ回路２２のデータから光ビームの最
大強度値を検出する。
よりフレームメモリ回路２２のデータから光ビームの最
大強度値を検出する。
次に、光学ヘッドの光源である半導体レーザのパワーを
レーザパワー制御回路２３で変化させる。
レーザパワー制御回路２３で変化させる。
レーザパワー制御回路２３では、パワー検出回路１６の
出力を用いてパワーコントロールを行なう。
出力を用いてパワーコントロールを行なう。
光ビームのパワーを変化した後、前記同様、フレームメ
モリ回路２２に光ビームの映像信号を記憶し、ピーク値
検出回路２３で光ビームの最大強度を検出する。次に変
化前の最大強度値と変化後の最大強度値の変化量をＣＰ
Ｕ１７で演算し求めて、予め検出している光ビームのパ
ワーの変化量から、フレームメモリ回路２２に記憶され
ている光ビーム強度分布のＱレベルつまり光ビームパワ
ーが０のときの光強度を得る。
モリ回路２２に光ビームの映像信号を記憶し、ピーク値
検出回路２３で光ビームの最大強度を検出する。次に変
化前の最大強度値と変化後の最大強度値の変化量をＣＰ
Ｕ１７で演算し求めて、予め検出している光ビームのパ
ワーの変化量から、フレームメモリ回路２２に記憶され
ている光ビーム強度分布のＱレベルつまり光ビームパワ
ーが０のときの光強度を得る。
変化させる前のレーザパワーをＰＷ□、光ビームの最大
強度値、人／Ｄコンバータ回路２１で変換された後のデ
ータをＰえ、とじ、変化後をＰＷＢ ” ＫＢとしたと
、光ビームパワーが０のときの光強度値、Ａ／Ｄ変換さ
れた後のデータＰＫｏは で求まる。
強度値、人／Ｄコンバータ回路２１で変換された後のデ
ータをＰえ、とじ、変化後をＰＷＢ ” ＫＢとしたと
、光ビームパワーが０のときの光強度値、Ａ／Ｄ変換さ
れた後のデータＰＫｏは で求まる。
このようにしてえた光ビームパワー０のときの光強度値
Ｐ１゜とＰＫＡ又はＰｏを使って、光ビーム径を求めた
い光強度値、たとえば半値又は１／。２の光強度値つま
り、％・（ｐ、、 ｐＫ、 ）＋Ｐ Ｋ Ｏ又は、１
／６２ （Ｐ ＫＡ Ｐ、： ０ ）＋ＰＫＯを求め
る。
Ｐ１゜とＰＫＡ又はＰｏを使って、光ビーム径を求めた
い光強度値、たとえば半値又は１／。２の光強度値つま
り、％・（ｐ、、 ｐＫ、 ）＋Ｐ Ｋ Ｏ又は、１
／６２ （Ｐ ＫＡ Ｐ、： ０ ）＋ＰＫＯを求め
る。
こうして得た光強度値のレベルで、フレームメモリ回路
に記憶されたデータをＣＰＵ１７により比較演算し、レ
ベル以上の範囲を求め、映像信号の走査方向又は垂直方
向、又は任意の方向の図２に示す光ビーム径１２を得る
。
に記憶されたデータをＣＰＵ１７により比較演算し、レ
ベル以上の範囲を求め、映像信号の走査方向又は垂直方
向、又は任意の方向の図２に示す光ビーム径１２を得る
。
得たデータは、フレームメモリ回路２２、Ｄ／Ａコンバ
ータ回路２４を介してＴＶモニター２６に写し出す。
ータ回路２４を介してＴＶモニター２６に写し出す。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ＩＴｖカメラの性能又は
光ビームのパワーが小さいときなどにより、ノイズレベ
ルが高い場合、又は輝度むらがある場合でも光ビームの
パワー検出手段及び光ビームの強度分布記憶手段、最大
強度検出手段を備えて、光ビームのパワーを変化させて
、光ビームのパワーが零のときの光ビームの強度分布を
求めているため、精度よく光ビームの径が測定できる。
光ビームのパワーが小さいときなどにより、ノイズレベ
ルが高い場合、又は輝度むらがある場合でも光ビームの
パワー検出手段及び光ビームの強度分布記憶手段、最大
強度検出手段を備えて、光ビームのパワーを変化させて
、光ビームのパワーが零のときの光ビームの強度分布を
求めているため、精度よく光ビームの径が測定できる。
また、光ビームのパワー検出手段を光学ヘッドの光源で
ある半導体レーザのＰＩＮ出力を用いるため、容易に行
なうことができる。
ある半導体レーザのＰＩＮ出力を用いるため、容易に行
なうことができる。
第１図は本発明の一実施例における光ビーム径測定装置
のブロック図、第２図、第３図は同装置説明のだめの光
ビームの断面的にあられした光強度分布を示す図である
。 １・・・・・・光ビーム強度分布、２・・・・・・光ビ
ームの最大強度、４・・・・・・光ビームの半値レベル
、６・・・・・・光ビーム、９・・・・・・光ビーム強
度の零レベル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２１７Ｉ 第３図
のブロック図、第２図、第３図は同装置説明のだめの光
ビームの断面的にあられした光強度分布を示す図である
。 １・・・・・・光ビーム強度分布、２・・・・・・光ビ
ームの最大強度、４・・・・・・光ビームの半値レベル
、６・・・・・・光ビーム、９・・・・・・光ビーム強
度の零レベル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２１７Ｉ 第３図
Claims (1)
- （１）光ビームのパワー検出手段と、光ビーム強度分布
記憶手段と光ビーム強度分布より最大強度を求める手段
とを備え、光ビームのパワーを変化させて、光ビームパ
ワーの変化量と、光ビーム最大強度の変化量より光ビー
ムパワーが零のときの光ビーム強度レベルを抽出し、前
記光ビーム最大強度と、前記光ビーム強度レベルとより
、光ビーム径を求めることを特徴とした光ビーム径測定
装置。 （１）光学ヘッドの光ビーム径測定において光ビームの
パワー検出手段として、光源から出射されるビームの一
部を光検出器で検出することを特徴とした特許請求の範
囲第１項記載の光ビーム径測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27328386A JPS63127129A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 光ビ−ム径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27328386A JPS63127129A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 光ビ−ム径測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63127129A true JPS63127129A (ja) | 1988-05-31 |
Family
ID=17525687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27328386A Pending JPS63127129A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | 光ビ−ム径測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63127129A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5123735A (en) * | 1988-10-25 | 1992-06-23 | Bausch & Lomb Incorporated | Method of measuring the power of a lens |
| JP2008172115A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
| JP2021092563A (ja) * | 2019-12-05 | 2021-06-17 | 致茂電子股▲分▼有限公司Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ． | 光電子ユニット用測定装置 |
| CN113573489A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-10-29 | 德中（天津）技术发展股份有限公司 | 激光和化学结合选择性活化绝缘材料制造导电图案的方法 |
-
1986
- 1986-11-17 JP JP27328386A patent/JPS63127129A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5123735A (en) * | 1988-10-25 | 1992-06-23 | Bausch & Lomb Incorporated | Method of measuring the power of a lens |
| JP2008172115A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Rohm Co Ltd | 半導体装置 |
| JP2021092563A (ja) * | 2019-12-05 | 2021-06-17 | 致茂電子股▲分▼有限公司Ｃｈｒｏｍａ Ａｔｅ Ｉｎｃ． | 光電子ユニット用測定装置 |
| CN113573489A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-10-29 | 德中（天津）技术发展股份有限公司 | 激光和化学结合选择性活化绝缘材料制造导电图案的方法 |
| CN113573489B (zh) * | 2021-07-01 | 2024-04-05 | 德中（天津）技术发展股份有限公司 | 激光和化学结合选择性活化绝缘材料制造导电图案的方法 |
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