JPS63113303A

JPS63113303A - 浮上量測定装置

Info

Publication number: JPS63113303A
Application number: JP25929486A
Authority: JP
Inventors: Narimitsu Kakiwaki; 成光垣脇; Tomohisa Komoda; 智久薦田; Atsuo Mukai; 向井　厚雄; Hidetaka Yasue; 安江　秀隆; Manabu Sagawa; 学左川; Mitsuhiko Yoshikawa; 吉川　光彦
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1986-10-30
Filing date: 1986-10-30
Publication date: 1988-05-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、光干渉を利用して浮上型磁気ヘッドの記録媒
体からの浮上量を測定する浮上量測定装置に関する。

（従来の技術）近年のハードディスク装置の高記録密度化に伴い、浮上
型磁気ヘッドの低浮上量化（ハードディスクに対する磁
気ヘッドの浮上量を少なくすること）が進んでいる。低
浮上量の実現のためには、低浮上量にしなければならな
い領域における磁気ヘッドの浮上量及び浮上姿勢を正確
に測定することが必要不可欠である。

従来、広く行われている浮上量及び浮上姿勢を測定する
方法として干渉縞の位置を用いる方法がある。これは、
ディスク材料としてガラスディスク等の光透過性材料を
用い、これに光を照射した時に生ずる干渉縞を観測する
ものである。

干渉縞は、磁気ヘッド（ヘッドスライダ）とディスクと
の間の距離すなわち浮上量をｄ、照射光の波長をλとす
ると、暗線はが満足される時に生じ、明線はが満足される時に住する。上記■、■式より暗線あるい
は明線の位置における浮上ｉｄを求め、その暗線と明線
との中間点における浮上量を外挿（補外）、内挿（補間
）によって求めるのである。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、低浮上時には、暗線と明線の位置を決定
する精度が低下し、また複数個の干渉縞が生じない状態
（浮上角が小さい場合）では、内挿、外挿が行えなくな
る等の問題があった。

そこで、干渉光強度を測定し、理論強度と対応させて浮
上量を求める方法が考えられるが、この場合には、その
ために必要となる画像処理システムの導入が高価となり
、コスト的に高くなるという新たな問題を生じる。

本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、上記した干
渉光強度を用いた浮上量測定法において、画像処理シス
テム等の高価な装置を用いることなく、安価で高精度な
浮上量測定が行える装置を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段）本発明の浮上量測定装置は、干渉光強度を測定する測定
用モニタカメラの輝度信号から水平同期信号を分離する
水平同期信号分離回路と、分離された水平同期信号を一
定時間遅延させる遅延回路と、この遅延回路によって一
定時間遅延された水平同期信号により前記輝度信号のサ
ンプルホールドを行うサンプルホールド回路とを備え、
前記サンプルホールド回路によりサンプリングされた輝
度分布電圧により浮上型磁気ヘッドの浮上量を測定する
ようになされたものである。

（作用）水平同期信号分離回路によって干渉光強度を測定する測
定用モニタカメラの輝度信号から水平同期信号を分離し
、遅延回路によってこの分離された水平同期信号を一定
時間遅延させる。サンプルホールド回路では、一定時間
遅延させた水平同期信号の立上り又は立下りのタイミン
グで輝度信号電圧をサンプルホールドすることにより輝
度分布電圧を得、これにより磁気ヘッドの浮上量を測定
する。

（実施例）以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図は、磁気記録再生装置の一部を含む本発明の浮上
量測定装置の概略構成を示している。

同図において、１は光源（キセノンランプ等の白色光光
源、又はレーザ等の単色光光源）、２゜７は光学レンズ
系、３は干渉フィルタ、４はビームスプリフタ、５はガ
ラスディスク、６は磁気ヘッドを備えたヘントスライダ
である。また、１０は浮上量測定装置であって、１１は
測定用のモニタカメラ、１２は水平同期信号分離回路、
１３は遅延回路、１４はサンプルホールド回路、１５は
サンプリングされた干渉光像を表示するシンクロスコー
プ、１６はモニタテレビである。なお、前記した干渉フ
ィルタ３は、光源１が単色光光源である場合には不要で
ある。

次に、上記構成の浮上量測定法２１０の動作を説明する
。

光源ｌより発せられた光は、干渉フィルタ３により単色
化され、ビームスプリフタ４を介してガラスディスク５
上に若干浮上して配置されたヘッドスライダ６に照射さ
れる。そして、このヘッドスライダ６で反射された光が
ガラスディスク５の下面で反射された反射光と干渉し、
再びビームスプリッタ４を透過してモニタカメラ１１に
入力され、干渉光が検出される。モニタカメラ１１より
出力されるビデオ出力信号Ｓｌはモニタテレビ１６に表
示され、干渉光が明暗となって観察される。

また、このビデオ出力信号Ｓ、は水平同期信号分離回路
１２に入力され、ここで水平同期信号Ｓ２を分離抽出し
、遅延回路１３により一定時間τだけ遅延して、次段の
サンプルホールド回路１４にサンプリングクロックＳ、
として入力する。一方、サンプルホールド回路１４には
、サンプリング入力端子から前記ビデオ出力信号Ｓ、が
入力されている。この結果、サンプルホールド回路１４
の出力は、シンクロスコープ１５に表示されるような光
量分布を示すことになる。すなわち、第２図において、
モニタテレビ１６の画面上で仮想的に引いた破線Ｌ＋に
沿うように水平同期信号Ｓ２を時間τだけ遅延させ、そ
のパルス信号の立上り又は立下りのタイミングでビデオ
出力信号Ｓ、の輝度信号電圧をサンプリングすることに
より、破線り。

に沿った輝度分布（干渉光量分布）電圧Ｓ、を得ること
ができる。

一方、理論的な干渉光強度は、磁気ヘッドを備えた前記
ヘッドスライダ６と前記ガラスディスク５との間の距離
すなわち浮上量をｄとし、入射単色光の波長をλとする
と、例えば第３図に示すような曲線となる。この第３図
に示す特性曲線と本装置により得られた前記干渉光量分
布電圧Ｓ５とを比較対照することにより、破線Ｌ１に沿
ったヘッド浮上［ｄを知ることができる。この場合、単
色光λは数百ｎｍのオーダーであり、測定精度もこの数
十分の−のオーダーとなるので、高精度の浮上量測定を
行うことができる。

（発明の効果）以上説明したように、本発明によれば、測定用のモニタ
カメラによって得られる干渉光強度の情報を、高価な画
像処理システムを用いることなく簡単な回路構成によっ
て得ることができ、これにより安価で高精度な浮上型磁
気ヘッドの浮上量測定装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の浮上量測定装置と磁気記録再生装置の
一部を示す概略構成図、第２図は本発明装置の動作を説
明するための図、第３図は干渉光強度の理論的曲線図で
ある。１・・・光源　　　　　２，７・・・光学レンズ系３・
・・干渉フィルタ　　　４・・・ビームスプリッタ５・
・・ガラスディスク　　６・・・ヘッドスライダ１０・
・・浮上量測定装置　１１・・・モニタカメラ１２・・
・水平同期信号分離回路１３・・・遅延回路１４・・・サンプルホールド回路１５・・・シンクロスコープ１６・・・モニタテレビ第７図第２図第３図００・５　　１　　　１・５　（至） λ

Claims

【特許請求の範囲】１）光干渉を利用して浮上型磁気ヘッドの記録媒体から
の浮上量を測定する浮上量測定装置において、干渉光強度を測定する測定用モニタカメラの輝度信号から水平同期信号を分離する水平同期信号分
離回路と、分離された水平同期信号を一定時間遅延させ
る遅延回路と、この遅延回路によって一定時間遅延され
た水平同期信号により前記輝度信号のサンプルホールド
を行うサンプルホールド回路とを備え、前記サンプルホ
ールド回路によりサンプリングされた輝度分布電圧によ
り前記浮上型磁気ヘッドの浮上量を測定するようになさ
れたことを特徴とする浮上量測定装置。