JPS63110538A - 撮像装置 - Google Patents
撮像装置Info
- Publication number
- JPS63110538A JPS63110538A JP25575686A JP25575686A JPS63110538A JP S63110538 A JPS63110538 A JP S63110538A JP 25575686 A JP25575686 A JP 25575686A JP 25575686 A JP25575686 A JP 25575686A JP S63110538 A JPS63110538 A JP S63110538A
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- Japan
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- electron
- film
- electrons
- electron beams
- photoelectric effect
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- Pending
Links
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 16
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 20
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 2
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- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は撮像装置に関し、特に固体電子ビーム発生装置
を有する撮像装置に関するものである。
を有する撮像装置に関するものである。
［従来の技術］
光電効果を持つ部材に対して電子線を順次照射すること
により、その照射された位置における充電効果の量を撮
像出力信号として取り出す撮像装置は知られている。
により、その照射された位置における充電効果の量を撮
像出力信号として取り出す撮像装置は知られている。
光電効果の量をその発生した位置の関数の形の撮像信号
として取り出す電子管には、大きく分けて２つの種類が
ある。
として取り出す電子管には、大きく分けて２つの種類が
ある。
その１つは、光電子の放出を利用したものであり、イメ
ージオルシコンなどがある。
ージオルシコンなどがある。
他方は光導電効果を利用したものであり、ビジコンやブ
ランビフンなとがあり、撮像管としてテレビカメラなど
において広く利用されている。
ランビフンなとがあり、撮像管としてテレビカメラなど
において広く利用されている。
イメージオルシコン、ビジコン、プランビコン等の撮像
管にあっては、カソードより放出された電子を電子レン
ズにより受光ターゲット上の一点に結像し、電場あるい
は磁場によりそのターゲット上を走査することにより、
光電効果の量を検知する位置を順次変えながら、２次電
子の放出量あるいは光起電力の量を検知している。
管にあっては、カソードより放出された電子を電子レン
ズにより受光ターゲット上の一点に結像し、電場あるい
は磁場によりそのターゲット上を走査することにより、
光電効果の量を検知する位置を順次変えながら、２次電
子の放出量あるいは光起電力の量を検知している。
この際、電子を空間的に偏向して走査を行っているので
、必ず奥行き方向に所定の長さを必要となる。
、必ず奥行き方向に所定の長さを必要となる。
また、高い解像力を得るためには、スポットを小さくし
なくてはならない。そのためには高い電圧を必要とし、
電力消費も大きくなる。
なくてはならない。そのためには高い電圧を必要とし、
電力消費も大きくなる。
このように、かかる電子管においては、奥行きが大きく
、あるいは消費電力が大きくなるという欠点がある。
、あるいは消費電力が大きくなるという欠点がある。
［発明が解決しようとする問題点］
そこで、本発明の目的は、撮像管の奥行きを小さくし、
しかもまた、消費電力を低くすると同時に、小型化およ
び高解像度化をも図った撮像装置を提供することにある
。
しかもまた、消費電力を低くすると同時に、小型化およ
び高解像度化をも図った撮像装置を提供することにある
。
［問題点を解決するための手段］
このような目的を達成するために、本発明は、面状に配
列され、互いに独立に制御可能な複数の電子源を有し、
電子源のなす面に対向して光電効果を持つ部材を配置し
、電子源より点順次に電子を放出させ、その電子を光電
効果を持つ部材に照射させて、光電効果をもつ部材から
、当該電子の照射される位置に対応して、撮像信号を取
り出すようにしたことを特徴とする。
列され、互いに独立に制御可能な複数の電子源を有し、
電子源のなす面に対向して光電効果を持つ部材を配置し
、電子源より点順次に電子を放出させ、その電子を光電
効果を持つ部材に照射させて、光電効果をもつ部材から
、当該電子の照射される位置に対応して、撮像信号を取
り出すようにしたことを特徴とする。
［作 用］
本発明によれば、面状に配置した複数の電子源と光電効
果面とを組み合せることにより、小さい電子ビームのス
ポットを、電子ビームを偏向することなしに、走査する
ことができるので、小型かつ薄型であり、しかも低消費
電力の撮像装置を実現でき、以て、高解像度で小型かつ
軽量、および低消費電力のテレビカメラを実現すること
ができる。
果面とを組み合せることにより、小さい電子ビームのス
ポットを、電子ビームを偏向することなしに、走査する
ことができるので、小型かつ薄型であり、しかも低消費
電力の撮像装置を実現でき、以て、高解像度で小型かつ
軽量、および低消費電力のテレビカメラを実現すること
ができる。
さらにまた、本発明では、ＣＣＤ等の固体撮像装置とは
異なり、ターゲットに印加する電圧を高くすることがで
き、しかもまた、光電効果面の開口率を高く取れること
から、高い感度を得ることもできる。
異なり、ターゲットに印加する電圧を高くすることがで
き、しかもまた、光電効果面の開口率を高く取れること
から、高い感度を得ることもできる。
［実施例コ
以下に、図面を参照して、本発明の詳細な説明する。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、ここで
、１は面状に２次元配置された独立な複数の電子源から
成る固体電子ビーム発生装置であり、例えば特公昭５４
−３０２７４号、特開昭５４−１１１２７２号（ＵＳＰ
４２５９６７８） 、特開昭５６−１５５２９号（ＵＳ
Ｐ４３０３９３０） 、特開昭５７−３８５２８号等に
開示されている固体電子ビーム発生装置を用いて構成で
きる。
、１は面状に２次元配置された独立な複数の電子源から
成る固体電子ビーム発生装置であり、例えば特公昭５４
−３０２７４号、特開昭５４−１１１２７２号（ＵＳＰ
４２５９６７８） 、特開昭５６−１５５２９号（ＵＳ
Ｐ４３０３９３０） 、特開昭５７−３８５２８号等に
開示されている固体電子ビーム発生装置を用いて構成で
きる。
２は真空容器であり、この容器２内には、電子源１と光
電効果を持った膜３とが真空層４を介して対向するよう
に配設されている。
電効果を持った膜３とが真空層４を介して対向するよう
に配設されている。
光電効果をもつ膜３は、５ｂ２ｓ、膜５とＳｅ、Ａｓ、
Ｔｅの非晶質膜６と透明型８ｉ膜としてのＳｎＯ□膜８
とを、この順序に積層して構成されている。
Ｔｅの非晶質膜６と透明型８ｉ膜としてのＳｎＯ□膜８
とを、この順序に積層して構成されている。
７は非晶質膜６のうちで特にＴｅに冨んだ層である。
９は５ｎｏ２０ｉ８を覆って配置された透明なフェイス
プレートである。
プレートである。
Ｌはフェイスプレート９への入射光、Ｅは電子源１から
５ｂ２ｓ３膜５に衝突する電子ビームである。
５ｂ２ｓ３膜５に衝突する電子ビームである。
第３図は、第１図および第２図に示した撮像装置の駆動
および制御を行う電気回路の構成の一例を示す。
および制御を行う電気回路の構成の一例を示す。
ここで、１１は制御回路、１２はＸ軸アドレス回路、１
３はＹｌＩｉ［ｈアドレス回路である。制御回路１１に
よりＸおよびＹ方向の走査信号を発生させ、それらＸお
よびＹ方向走査信号によりｘＩＩ！ｌＩＩおよびＹ軸ア
ドレス回路１２および１３をそれぞれ制御して、電子ビ
ーム発生装置１の個別の電子源をＸおよびＹ方向に順次
に駆動し、その駆動に応じて各電子源から順次に電子ビ
ームを放出させる。
３はＹｌＩｉ［ｈアドレス回路である。制御回路１１に
よりＸおよびＹ方向の走査信号を発生させ、それらＸお
よびＹ方向走査信号によりｘＩＩ！ｌＩＩおよびＹ軸ア
ドレス回路１２および１３をそれぞれ制御して、電子ビ
ーム発生装置１の個別の電子源をＸおよびＹ方向に順次
に駆動し、その駆動に応じて各電子源から順次に電子ビ
ームを放出させる。
電子ビーム発生装置１における電子源は、たとえば１０
μｍのピッチで２次元に配列されており、ＸおよびＹ＠
アドレス回路１２および１３からのＸ−Ｙマトリクスに
より点順次で電子を発生させる。
μｍのピッチで２次元に配列されており、ＸおよびＹ＠
アドレス回路１２および１３からのＸ−Ｙマトリクスに
より点順次で電子を発生させる。
このようにして得られた電子ビームは、Ｓｂ２Ｓ３膜５
により注入を阻止され、Ｓｅ、 Ｔｅ、 Ａｓの非晶質
膜６で生じたホールと結合する。
により注入を阻止され、Ｓｅ、 Ｔｅ、 Ａｓの非晶質
膜６で生じたホールと結合する。
一方、非晶質膜６で生じた電子は、５ｎ０２膜８を通じ
て制御回路１１に供給され、点順次に撮像出力信号とし
て検出される。
て制御回路１１に供給され、点順次に撮像出力信号とし
て検出される。
Ｘ＠およびＹ軸アドレス回路１２および１３からのアド
レスに応じて、受光面全面にわたって走査を行うことに
より、電子線を偏向することなく、撮像出力を取り出す
ことができる。
レスに応じて、受光面全面にわたって走査を行うことに
より、電子線を偏向することなく、撮像出力を取り出す
ことができる。
なお、本実施例ではサチコンの商品名で呼ばれている撮
像管の光電効果膜を用いたが、その他、カルニコンと呼
ばれるＣｄＳｅを主とした複合層や、Ｚｎ５ｅとＣｄＴ
ｅを組み合せたニュービコンと呼ばれる撮像管の光電効
果膜をも用いることができる。
像管の光電効果膜を用いたが、その他、カルニコンと呼
ばれるＣｄＳｅを主とした複合層や、Ｚｎ５ｅとＣｄＴ
ｅを組み合せたニュービコンと呼ばれる撮像管の光電効
果膜をも用いることができる。
さらにまた、ビジコンに用いられている５ｂ２Ｓ。
層を用いてもよく、あるいはまた、位置合せに間開様に
、イメージオルシコンやＳＩＴ管などのイメージ形超高
感度撮像管の光電面とターゲットを本発明に適用するこ
ともできる。
、イメージオルシコンやＳＩＴ管などのイメージ形超高
感度撮像管の光電面とターゲットを本発明に適用するこ
ともできる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、面状に配置した
複数の電子源と光電効果面とを組み合せることにより、
小さい電子ビームのスポットを、電子ビームを偏向する
ことなしに、走査することができるので、小型かつ薄型
であり、しかも低消費電力の撮像装置を実現でき、以て
、高解像度で小型かつ＠量、および低消費電力のテレビ
カメラを実現することができる。
複数の電子源と光電効果面とを組み合せることにより、
小さい電子ビームのスポットを、電子ビームを偏向する
ことなしに、走査することができるので、小型かつ薄型
であり、しかも低消費電力の撮像装置を実現でき、以て
、高解像度で小型かつ＠量、および低消費電力のテレビ
カメラを実現することができる。
さらにまた、本発明では、ＣＣＤ等の固体撮像装置とは
異なり、ターゲットに印加する電圧を高くすることがで
き、しかもまた、光電効果面の開口率を高く取れること
から、高い感度を得ることもできる。
異なり、ターゲットに印加する電圧を高くすることがで
き、しかもまた、光電効果面の開口率を高く取れること
から、高い感度を得ることもできる。
第１図は本発明の一実施例を示す部分展開斜視図、
第２図はその層構成と電子ビームとの関係を詳しく示す
断面図、 第３図は本発明における電気回路の一例を示すブロック
図である。 １・・・固体電子ビーム発生装置、 ２・・・真空容器、 ３・・・光電効果をもつ膜、 ４・・・真空層、 ５・・・５ｂ２ｓ３膜、 ６・・・非晶質膜、 ７・・・Ｔｅに富んだ膜、 ８・・・透明電極膜、 ９・・・フェイスプレート、 １１・・・制御回路、 １２・・・Ｘ軸アドレス回路、 １３・・・Ｙ軸アドレス回路。 第１図
断面図、 第３図は本発明における電気回路の一例を示すブロック
図である。 １・・・固体電子ビーム発生装置、 ２・・・真空容器、 ３・・・光電効果をもつ膜、 ４・・・真空層、 ５・・・５ｂ２ｓ３膜、 ６・・・非晶質膜、 ７・・・Ｔｅに富んだ膜、 ８・・・透明電極膜、 ９・・・フェイスプレート、 １１・・・制御回路、 １２・・・Ｘ軸アドレス回路、 １３・・・Ｙ軸アドレス回路。 第１図
Claims (1)
- 面状に配列され、互いに独立に制御可能な複数の電子源
を有し、該電子源のなす面に対向して光電効果を持つ部
材を配置し、前記電子源より点順次に電子を放出させ、
その電子を前記光電効果を持つ部材に照射させて、前記
光電効果をもつ部材から、当該電子の照射される位置に
対応して、撮像信号を取り出すようにしたことを特徴と
する撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25575686A JPS63110538A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25575686A JPS63110538A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63110538A true JPS63110538A (ja) | 1988-05-16 |
Family
ID=17283189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25575686A Pending JPS63110538A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63110538A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2637123A1 (fr) * | 1988-09-26 | 1990-03-30 | Commissariat Energie Atomique | Vidicon plat a lecture matricielle par cathodes a micropointes |
| JPH02237865A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-20 | Omron Tateisi Electron Co | モータ駆動装置 |
| EP0600476A2 (en) * | 1992-12-02 | 1994-06-08 | Hitachi, Ltd. | Image pick-up apparatus and operation method of the same |
-
1986
- 1986-10-29 JP JP25575686A patent/JPS63110538A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2637123A1 (fr) * | 1988-09-26 | 1990-03-30 | Commissariat Energie Atomique | Vidicon plat a lecture matricielle par cathodes a micropointes |
| JPH02237865A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-20 | Omron Tateisi Electron Co | モータ駆動装置 |
| EP0600476A2 (en) * | 1992-12-02 | 1994-06-08 | Hitachi, Ltd. | Image pick-up apparatus and operation method of the same |
| EP0600476A3 (en) * | 1992-12-02 | 1995-02-01 | Hitachi Ltd | Camera and method of use. |
| US5488386A (en) * | 1992-12-02 | 1996-01-30 | Hitachi, Ltd. & Nippon Hoso Kyokai | Imaging apparatus and operation method of the same |
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