JPS63107790A - カプラ用洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はカプラ用洗浄装置に係り、特に半導体用高ｗ＠
度薬液の製品貯蔵タンクから輸送用トラック上のコンテ
ナへまたはトラック上のコンテナから薬液受入タンクへ
それぞれ薬液を供給するときに使用されるクリーンクイ
ックカプラ用の洗浄駅前に関する。

（従来の技術） 一般に半導体製品の製造にはエツチング液等の各種の高
Ｋ１度の薬液（以下薬液という）が使用され、これらの
薬液は化学会社の工場で製造され、輸送用トラックを使
って半導体メーカへ輸送される。この場合に薬液製造側
の貯蔵タンク内の薬液はパイプを使って輸送用トラック
上のコンテナに移送され、一方、コンテナ内の薬液はパ
イプを使って薬液受入側の受入タンク内へ供給される。

タンク側のパイプとコンテナ側のパイプとを接合するた
めに、従来は両省のパイプの端に形成されたフランジど
うしを接合してボルトナツトで結合したり、あるいはユ
ニオン等の接手を使って接続していた。

（発明が解決しようとする問題点） 上述した半導体用高純度薬液は、薬液の品質管理が厳格
であって、移送または供給の途中で薬液が汚染されるこ
とを防がなければならない。しかしながら、従来のボル
トナツトによる結合やユニオン接手によるものでは取扱
い作業中に蕗埃が薬液中に混入して汚染されやすく、ま
たパイプの接合作業に長時間を要するという問題があっ
た。

そこで、本発明の目的は上述した従来技術が有する問題
点を解消し、カプラの表面に付着している塵埃等をオス
形カプラとメス形カプラとの結合の直前に洗い流して清
浄な状態で結合できるようにしたカプラ用洗浄装置を提
供することにある。

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明によるカプラ用洗浄
装置は、洗浄室を内部に形成した洗浄ボックスと、この
洗浄ボックスの端壁に装着されたメス形カプラと、上記
洗浄室内に位置してメス形カプラの前方に突出して一体
形成され周壁に一群の洗浄液の噴射孔を穿孔させたスプ
レー環と、洗浄ボックスの端壁と対向する側に取付けら
れ、カプラ軸に沿って進退可能な取付スライダと、この
取付スライダに対して固定保持できるカプラ固定手段と
、上記取付スライダをカプラ軸に沿って移動させる押込
＠欝と、取付スライダをカプラの結合を解放する方向に
戻す復元装置・とを備えてなることを特徴とするもので
ある。

（作　用） メス形カプラのスプレー環の内側にオス形カプラを差し
入れ、加圧洗浄水を液溜室を介して噴射孔よりオス形カ
プラの表面に向けて噴射し表面を洗浄し汚水を排液パイ
プを通して排出する。洗浄後オス形カプラはベローズの
伸長により取付スライダを前進させてカプラの結合を図
るようになっている。

（実施例） 以下、本発明によるカプラ用洗浄装置の一実施例を図面
を参照して説明する。

第１図において、符号ＩＡ、１Ｂは架台を示し、この架
台１は２本の支柱によって構成されている。

上記架台１の上には洗浄ボックス２が設置され、この洗
浄ボックス２はほぼ円筒状の周壁３と端壁４とから構成
され、内部には洗浄室５が形成されている。この洗浄室
５内にはメス形カプラ６が収容され、このメス形カプラ
６はカプラヘッド７とステム８とからなり、ステム８が
上記端壁４によって支持されている。また、上記カプラ
ヘッド７の外周にはスプレー環１０が一体的に突出形成
され、その周壁には多数の噴射孔１１．１１．・・・１
１が穿設されている。またステム８の内側には送液通路
１２が形成されており、その入口部には円すい面状の弁
座１３が形成されている。また、スプレー環１０の外側
には環状の液溜室１４が形成されており、この液溜室１
４には洗浄液供給管１５および通路１６を介して洗浄液
が供給できるようになっている。

一方、前記洗浄ボックスの周壁３には一端を開口した環
状溝１７が所定の深さにわたって形成されており、この
環状溝１７の外側の周壁が案内壁１８となっている。こ
の案内壁１８を挟み込むように取付スライダ１９が嵌着
されており、この取付スライダ１９は、オス形カプラ２
０の差込孔２１と、案内溝２２と外側フランジ２３とを
備えている。上記取付スライダ１つは支持フレーム２４
の内側にカプラ軸２５に沿って移動可能に案内支持され
ている。支持フレーム２４は取付フランジ２４ａを備え
、この取付フランジ２４ａが前記架台１Ｂに対して取付
けられている。

上記取付スライダ１９の案内溝２２は洗浄ボックス側の
案内溝１８に被嵌されるが、この案内溝２２の内側のス
カート壁２６の内側には、洗浄後の洗浄液を排出する通
路２７が形成され、この通路２７は洗浄ボックス側の通
路２８と連結し、排出口２９より排液パイプ３０を通し
て外部へ排出されるようになっている。

一方、前記取付スライダ１９の図の左端面にはオス形カ
プラ２０の固定手段３１が設けられている。このカプラ
固定手段３１は、第１図および第２図に示されたように
内側リング３２と外側リング３３とから構成されている
。内側リング３２は段部を介して扱は出ないように外側
リング３３に対して嵌合しており、内側リング３２はハ
ンドル３４を使って回動操作することができる。上記内
側リング３２の内孔の周縁には４個の係止爪３５が一体
形成されており、この内孔を通してオス形カプラ２０の
接続フランジが嵌入される。そして内側リング３２をほ
ぼ４５°回動させることによって係止爪３５を使ってオ
ス形カプラ２０を洗浄ボックス２に対して固定保持する
ことが可能となる。

なお、オス形カプラ２０は滑り枕台３６の上で支持する
のが好ましく、この滑り枕台３６は前記架台１の上のレ
ール３７の上を滑動できるようになっている。

他方、前記支持フレーム２４．フランジ２４ａと取付ス
ライダ１９との間には取イ」スライダをカプラ軸２５に
沿って所定のストロークの範囲内で移動させる押圧装置
３８が組込まれている。この押圧装＠３８は、円周上を
等角度に配分された４凶所に設けられ、第３図から明ら
かなように、両側の端板３９，４０とこれらの間に挟持
されて伸縮可能なベローズ４１とから構成されており、
端板３９の入口ボート４２から作動流体を入れることで
伸張できる。

また、洗浄ボックス２の端壁４と支持ブラケット２４の
７ランジ２４ａとの聞には第４図に示されたように数本
の連結軸４３が架設されており、これらの連結軸４３は
、取付スライダ１９の外側フランジ２３を貫通し、この
貫通部にはスリーブ４４が固着されている。このスリー
ブ４４の端面ど洗浄ボックスの端壁４との間には戻しス
プリング４５が組込まれ、この戻しスプリング４５のば
ね力は取付スライダ１９を図の左方へばね付勢し、オス
形カプラをメス形カプラから解放する。

次に上述したカプラ用洗浄装置の作動について説明する
。

前述したようにメス形カプラ６は第１図に示したように
洗浄ボックス２に対してあらかじめ固着されており、噴
射孔１１を開口させたスプレー環７を備えている。オス
形カプラ２０は滑り枕台３６の上に載せられ、差込孔２
１よりスプレー環７の内側に挿入される。挿入の際には
オス形カプラ２０の接続フランジが内側リング３２の内
孔に挿入され、ハンドル３４を回動させることにより係
止爪３５が接続７ランジを挟持する。この状態ではオス
形カプラ２１のチップの先端はメス形カプラ６の弁座１
３の直前で停止される。

次いで図示を省略した洗浄液の供給源からの加圧洗浄水
が洗浄液供給管１５および通路１６を介して液溜室１４
内へ供給される。液溜至１４内の加圧洗浄水はスプレー
環７の噴射孔ｉｉ、１ｉ。

・・・１１よりオス形カプラ２５に向けて噴出され、噴
出された洗浄液でオス形カプラ２０とメス形カプラ６の
結合部が十分に洗浄され、洗浄された汚水は通路２７お
よび２８を通して排出口２９に導かれ、排液パイプ３０
を通して外部へ排出される。

しかるのち、入口ボート４２から作１ＦｊＩ流体を供給
してベローズ４１を伸張させ、取付スライダ１つを前進
させ、オス形カプラ２０とメス形カプラ６との結合を図
る。なお、オス形カプラ２０をメス形カプラ６から脱着
するには、ベローズ４１内の作動流体を抜いて、戻しス
プリング４５のばね力を利用してベローズ４１を収縮さ
せればよい。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、メス
形カプラにスプレー環を設け、この周へ；Ｓに洗浄水の
噴射孔を設けここから噴出する洗浄液でカプラ結合部を
洗浄するようにしたから、カプラの表面に付着した塵埃
等がパイプ内に混入することがなく純粋な薬液を貯蔵タ
ンクからコンテナへあるいはコンテナから受入タンクへ
供給することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるカプラ用洗浄装置の一実施例を示
した縦断面図、第２図は同装置の左側面図、第３図は取
付スライダの押込装置を示した側断面図、第４図は取付
スライダの戻し装置を示した側断面図である。 ２・・・洗浄ボックス、５・・・洗浄室、６・・・メス
形カプラ、１０・・・スプレー環、１１・・・噴射孔、
１つ・・・取付スライダ、２０・・・オス形カプラ、３
１・・・カプラ回定手段、３８・・・押込装置、４１・
・・ベローズ、４５・・・戻しスプリング。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 第１菖

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、洗浄室を内部に形成した洗浄ボックスと、この洗浄
   ボックスの端壁に装着されたメス形カプラと、上記洗浄
   室内に位置してメス形カプラの前方に突出して一体形成
   され周壁に一群の洗浄液の噴射孔を穿孔させたスプレー
   環と、洗浄ボックスの端壁と対向する側に取付けられ、
   カプラ軸に沿って進退可能な取付スライダと、この取付
   スライダに対して固定保持できるカプラ固定手段と、上
   記取付スライダをカプラ軸に沿つて移動させる押込装置
   と、取付スライダをカプラの結合を解放する方向に戻す
   復元装置とを備えてなるカプラ用洗浄装置。 ２、上記スプレー環の外周には環状の液溜室が形成され
   、この液溜室に洗浄水供給通路が連通していることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項に記載のカプラ用洗浄装
   置。 ３、上記スプレー環の噴射孔は、その孔軸がオス形カプ
   ラの被洗浄面に向かうように形成されていることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項に記載のカプラ用洗浄装置
   。 ４、上記取付スライダには排液通路が形成され、排液管
   を通して洗浄後の汚水を外部へ排出できるようにしたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のカプラ用
   洗浄装置。