JPS6296838U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6296838U JPS6296838U JP18822385U JP18822385U JPS6296838U JP S6296838 U JPS6296838 U JP S6296838U JP 18822385 U JP18822385 U JP 18822385U JP 18822385 U JP18822385 U JP 18822385U JP S6296838 U JPS6296838 U JP S6296838U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- push
- wafer
- wafer carrier
- base
- wafers
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 8
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
Description
図面は、何れもこの考案の一実施例を示し、第
１図は、この考案の実施例に係るウエハ選別抜取
装置にウエハキヤリアを載置した状態での縦断面
図、第２図は、同装置にウエハキヤリアを載置し
た状態での第１図―線における断面図、第３
図は、同装置とウエハキヤリアの外観斜視図、第
４図は、同装置の押上部材のレバーへの取付け状
態を示す拡大部分断面図、第５図は、同押上部材
の動作を示す拡大部分断面図である。 １：ウエハ選別抜取装置、１１：ウエハキヤリ
ア、２１：基台、３１：スライドボツクス、３４
：レバー、３７：押上部材、５１：表示手段、Ｗ
……Ｗ：ウエハ。
１図は、この考案の実施例に係るウエハ選別抜取
装置にウエハキヤリアを載置した状態での縦断面
図、第２図は、同装置にウエハキヤリアを載置し
た状態での第１図―線における断面図、第３
図は、同装置とウエハキヤリアの外観斜視図、第
４図は、同装置の押上部材のレバーへの取付け状
態を示す拡大部分断面図、第５図は、同押上部材
の動作を示す拡大部分断面図である。 １：ウエハ選別抜取装置、１１：ウエハキヤリ
ア、２１：基台、３１：スライドボツクス、３４
：レバー、３７：押上部材、５１：表示手段、Ｗ
……Ｗ：ウエハ。
Claims (1)
- ウエハを複数収納可能なウエハキヤリアを載置
する基台と、この基台に設けられ前記ウエハキヤ
リア内に収納されたウエハを下方より押上げる押
上部材と、この押上部材を上動させる上動機構と
、前記押上部材を水平に移動させ、前記ウエハキ
ヤリア内の所定のウエハの下方に位置させる水平
移動機構と、前記押上部材が何れのウエハの下方
に位置するかを表示する表示手段からなるウエハ
選別抜取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18822385U JPS6296838U (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18822385U JPS6296838U (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6296838U true JPS6296838U (ja) | 1987-06-20 |
Family
ID=31139384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18822385U Pending JPS6296838U (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6296838U (ja) |
-
1985
- 1985-12-05 JP JP18822385U patent/JPS6296838U/ja active Pending