JPS6313938U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6313938U JPS6313938U JP2018186U JP2018186U JPS6313938U JP S6313938 U JPS6313938 U JP S6313938U JP 2018186 U JP2018186 U JP 2018186U JP 2018186 U JP2018186 U JP 2018186U JP S6313938 U JPS6313938 U JP S6313938U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer device
- wafer transfer
- cassette
- vertical rod
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第1図は本考案の装置の一具体例の斜視図であ
り、第2図はウエハ搬送装置の上下ならびに前後
移動の機構を表した説明図であり、第3図はカセ
ツト移動装置の左右移動の機構を表した説明図で
ある。 1……ウエハ搬送装置、2……垂直杆、3……
トレイ、4,5,11……シリンダ、6……カセ
ツト移動装置、8……ボツクスカセツト、9……
キヤリヤーカセツト、14……半導体ウエハ。
り、第2図はウエハ搬送装置の上下ならびに前後
移動の機構を表した説明図であり、第3図はカセ
ツト移動装置の左右移動の機構を表した説明図で
ある。 1……ウエハ搬送装置、2……垂直杆、3……
トレイ、4,5,11……シリンダ、6……カセ
ツト移動装置、8……ボツクスカセツト、9……
キヤリヤーカセツト、14……半導体ウエハ。
Claims (1)
- 上下および前後に移動自在なウエハ搬送装置と
、このウエハ搬送装置の前方の位置に、前記ウエ
ハ搬送装置の前後移動方向に対して左右方向に移
動自在に配置された、ボツクスカセツトならびに
キヤリヤーカセツトの載置し得るカセツトの移動
装置とを備え、前記ウエハ搬送装置は垂直杆と、
この垂直杆に所望の間隔をあけて平行に固定され
た複数枚のトレイとから構成されてなる半導体ウ
エハの移し替え装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018186U JPS6313938U (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018186U JPS6313938U (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6313938U true JPS6313938U (ja) | 1988-01-29 |
Family
ID=30815452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018186U Pending JPS6313938U (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6313938U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101108073B1 (ko) | 2009-04-20 | 2012-01-31 | 코리아테크노(주) | 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치와 이를 이용한 웨이퍼 분배방법 |
-
1986
- 1986-02-17 JP JP2018186U patent/JPS6313938U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101108073B1 (ko) | 2009-04-20 | 2012-01-31 | 코리아테크노(주) | 더블 스테이지를 갖는 웨이퍼 분배장치와 이를 이용한 웨이퍼 분배방법 |