JPS6292642U - - Google Patents

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JPS6292642U
JPS6292642U JP1985184156U JP18415685U JPS6292642U JP S6292642 U JPS6292642 U JP S6292642U JP 1985184156 U JP1985184156 U JP 1985184156U JP 18415685 U JP18415685 U JP 18415685U JP S6292642 U JPS6292642 U JP S6292642U
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JP
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substrate
nozzle
purge gas
angle
purge
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例の正面図、第２図ａとｂ
は第１図の―線に沿う断面図をそれぞれ第１
図のＡ方向、Ｂ方向に見た断面図、第３図ａとｂ
は従来例の正面図と平面図、第４図ａとｂはそれ
ぞれ従来例と本考案の原理を示す図である。 第１図ないし第４図において、１１は搬送ベル
ト、１２は基板、１３と２０はパージ装置、１４
は孔、１５はゴミ、２１はノズル、２２は排気口
、２３はフイルタ、２４はしぼりバルブである。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ベルト１１によつて搬送される基板１２の搬送
    方向と逆方向に基板１２からある角度（１８０°
    −α）傾いたノズル２１からパージガスを基板１
    ２に吹き付け、 ノズル２１の反対側に基板１２からある角度α
    傾いた排気口２２からパージガスを吸い込む構成
    としたことを特徴とする基板のゴミを除去するパ
    ージ装置。
JP1985184156U 1985-11-29 1985-11-29 Pending JPS6292642U (ja)

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