JPS628934A - ウエハ搬送方法 - Google Patents
ウエハ搬送方法Info
- Publication number
- JPS628934A JPS628934A JP14661485A JP14661485A JPS628934A JP S628934 A JPS628934 A JP S628934A JP 14661485 A JP14661485 A JP 14661485A JP 14661485 A JP14661485 A JP 14661485A JP S628934 A JPS628934 A JP S628934A
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- hand
- cassette
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の属する分野]
本発明はIC,LSI等の製造工程で用いられるウェハ
の搬送装置において、ウェハ収納箱(ウェハカセットと
略称)からのウェハの挿脱を直進型のハンドを用いて行
なうウェハ搬送方法に関する。
の搬送装置において、ウェハ収納箱(ウェハカセットと
略称)からのウェハの挿脱を直進型のハンドを用いて行
なうウェハ搬送方法に関する。
[従来の技術]
従来、この種のウェハ搬送装置を用いた半導体露光装置
等は、ウェハカセットからベルト搬送によってウェハを
取り出し、位置決めビンにウェハを突き当ててチャック
上に落下させ載置させた後、チャック上で先ずウェハの
オリエンテーションフラットの位置を合せるアリアライ
メントを行ない、さらにウェハ上の専用マークを光電的
手法で位置合せする精アライメントを行なっていた。
等は、ウェハカセットからベルト搬送によってウェハを
取り出し、位置決めビンにウェハを突き当ててチャック
上に落下させ載置させた後、チャック上で先ずウェハの
オリエンテーションフラットの位置を合せるアリアライ
メントを行ない、さらにウェハ上の専用マークを光電的
手法で位置合せする精アライメントを行なっていた。
このようにチャック上にウェハを落下させて載置させる
方式は、ウェハの取扱いがソフトでない為に大口径ウェ
ハ、例えば8″サイズではウェハを破損する危険性があ
った。
方式は、ウェハの取扱いがソフトでない為に大口径ウェ
ハ、例えば8″サイズではウェハを破損する危険性があ
った。
この改善の為にウェハ挿脱口側がら直進型のハンドを挿
入する方式が提案された。
入する方式が提案された。
この方式の利点は、先ず第1にウェハカセットの任意の
部分から取出しが可能な事、第2にウェハを取出した後
また同じ位置にウェハを戻せる事である。従って供給カ
セットと回収カセットを別々に分けて設ける必要がなく
、全てのカセットを供給および回収兼用のカセットとす
る事ができる為、装置が小型化できるメリットがある。
部分から取出しが可能な事、第2にウェハを取出した後
また同じ位置にウェハを戻せる事である。従って供給カ
セットと回収カセットを別々に分けて設ける必要がなく
、全てのカセットを供給および回収兼用のカセットとす
る事ができる為、装置が小型化できるメリットがある。
しかしながら、ウェハカセット内の所定位置に整列させ
ておいたウェハが装置の振動などで−B飛び出すと様々
な不具合を生じさせる。すなわち、ウェハをウェハカセ
ット内の所定位置からずれたままの状態でハンドに載置
すると、例えば次工程でチャックにウェハを搭載しよう
としてもチャックの所定位置に受は渡すことができず、
バキューム吸着溝からウェハが離れてしまいうまく挿着
できなかったり、静電容量型のセンサでプリアライメン
トしようとする時はその検知範囲からウェハ端面がはみ
出してうまく検知できない等という問題があった。
ておいたウェハが装置の振動などで−B飛び出すと様々
な不具合を生じさせる。すなわち、ウェハをウェハカセ
ット内の所定位置からずれたままの状態でハンドに載置
すると、例えば次工程でチャックにウェハを搭載しよう
としてもチャックの所定位置に受は渡すことができず、
バキューム吸着溝からウェハが離れてしまいうまく挿着
できなかったり、静電容量型のセンサでプリアライメン
トしようとする時はその検知範囲からウェハ端面がはみ
出してうまく検知できない等という問題があった。
[発明の目的]
本発明は、上述の従)]ζ例における欠点を除去し、ウ
ェハがウエハカセッ1−から飛び出しているにうなとき
でも、正確にハンドの所定位置に載置させることのでき
るウェハ搬送方法を提供することを目的とする。
ェハがウエハカセッ1−から飛び出しているにうなとき
でも、正確にハンドの所定位置に載置させることのでき
るウェハ搬送方法を提供することを目的とする。
1]実施例]
第1〜6図は、本発明の一実施例に係るウェハ搬送装置
を示す。第1図において、1はウェハを載置するフィン
ガ、2はウエハカレッ1〜.3(3a〜3d)はウェハ
である。ウェハ3はウェハカレット2の内面に設()ら
れた溝からなる棚(不図示)上に支持されている。5は
回転軸4に固定した第2のハンドアーム(以下第2アー
11と略称する)、7は連結軸6により第2アーム5と
回動自在に連結した第1のハンドアーム(以下第1アー
ムと略称する)、8は第1アーム7とフィンガ1を連結
する連結軸、11はレーザ源、12はレーザ源11から
照射されたレーザ光15をミラー13に向けて反射する
ハーフミラ−114はミラー13からの反射光を受ける
ホトダイオードである。16はフィンガ1をウェハカセ
ット2に出し入れするために軸4を回転させハンドアー
ム5および7を伸縮させるハンドアーム伸縮用駆動部、
17はフィンガ1面上に載置されたウェハ3の向きを変
える為にハンドラを回転させる時に使用されるハンドラ
回転用モータである。18はハンドラ昇降機構であり、
ウェハカセット2内に収容された任意の位置のウェハ3
を取り出す為にフィンガ1の高さを所望のレベルに変え
るものである。19は本発明の特徴とするウェハ整列用
のブロック部材である。
を示す。第1図において、1はウェハを載置するフィン
ガ、2はウエハカレッ1〜.3(3a〜3d)はウェハ
である。ウェハ3はウェハカレット2の内面に設()ら
れた溝からなる棚(不図示)上に支持されている。5は
回転軸4に固定した第2のハンドアーム(以下第2アー
11と略称する)、7は連結軸6により第2アーム5と
回動自在に連結した第1のハンドアーム(以下第1アー
ムと略称する)、8は第1アーム7とフィンガ1を連結
する連結軸、11はレーザ源、12はレーザ源11から
照射されたレーザ光15をミラー13に向けて反射する
ハーフミラ−114はミラー13からの反射光を受ける
ホトダイオードである。16はフィンガ1をウェハカセ
ット2に出し入れするために軸4を回転させハンドアー
ム5および7を伸縮させるハンドアーム伸縮用駆動部、
17はフィンガ1面上に載置されたウェハ3の向きを変
える為にハンドラを回転させる時に使用されるハンドラ
回転用モータである。18はハンドラ昇降機構であり、
ウェハカセット2内に収容された任意の位置のウェハ3
を取り出す為にフィンガ1の高さを所望のレベルに変え
るものである。19は本発明の特徴とするウェハ整列用
のブロック部材である。
第4図は第1図における第1アーム7、第2アーム5お
よびフィンガ1の部分の詳細図である。
よびフィンガ1の部分の詳細図である。
同図において、6a、6bは軸6,6を中心とするタイ
ミングベルト用ギヤーで、軸6と共に第1アーム7に固
定されている。8a 、8bは軸8゜8を中心として相
互にかみ合っている歯車で、それぞれ第1アーム7に固
定されている。9a。
ミングベルト用ギヤーで、軸6と共に第1アーム7に固
定されている。8a 、8bは軸8゜8を中心として相
互にかみ合っている歯車で、それぞれ第1アーム7に固
定されている。9a。
9bは軸4.4を中心とするタイミングベルト用ギヤー
で、ハンドアーム伸縮用駆動部16の外IIu20に対
して固定され、かつ軸4および第2アーム5に対して回
転自在になっている。なお、ギヤー5a、5bおよびギ
ヤー9a、9bの直径は1:2の比率である。10はタ
イミングベルトである。
で、ハンドアーム伸縮用駆動部16の外IIu20に対
して固定され、かつ軸4および第2アーム5に対して回
転自在になっている。なお、ギヤー5a、5bおよびギ
ヤー9a、9bの直径は1:2の比率である。10はタ
イミングベルトである。
以上の構成からなるハンドラの動作を第1図において説
明する。ウェハカセット2からウェハ3を取り出すに先
立ち、昇降装置18でパンタハンドの全体コニットを上
下させ、フィンガ1を差し込む為の適正位置にセットす
る。これは、ミラー13で反射されたレーザ光15をハ
ーフミラ−12を介しボ1〜ダイオード14で検知して
行なう。この時、ハンドアーム5,7は、第3図に示す
ようにウェハカセット2と反対の方向に伸びた状態にあ
る。この状態はフィンガを引っこめた状態であり、従来
のハンドアーム5,7が90°しか回転しないハンドに
対応して以下ハンドの「縮んだ」状態という。
明する。ウェハカセット2からウェハ3を取り出すに先
立ち、昇降装置18でパンタハンドの全体コニットを上
下させ、フィンガ1を差し込む為の適正位置にセットす
る。これは、ミラー13で反射されたレーザ光15をハ
ーフミラ−12を介しボ1〜ダイオード14で検知して
行なう。この時、ハンドアーム5,7は、第3図に示す
ようにウェハカセット2と反対の方向に伸びた状態にあ
る。この状態はフィンガを引っこめた状態であり、従来
のハンドアーム5,7が90°しか回転しないハンドに
対応して以下ハンドの「縮んだ」状態という。
次に、ハンドアーム伸縮用駆動部16によって2個の軸
4を駆動させると、タイミングベルト1oの作用によっ
て(第4図参照)、軸6は軸4と反対方向に軸4の回転
角の2倍回転し、第1アーム7と第2アーム5とは互に
逆方向に同一角度ずつ回転する。これにより、軸6およ
び第1アーム7は軸4に対し180°回転動作可能にな
り、ハンドは第3図の「縮んだ」状態から第2図に示す
ような「伸びた」状態になって、ウェハカセット2内に
フィンガ1が挿入される。
4を駆動させると、タイミングベルト1oの作用によっ
て(第4図参照)、軸6は軸4と反対方向に軸4の回転
角の2倍回転し、第1アーム7と第2アーム5とは互に
逆方向に同一角度ずつ回転する。これにより、軸6およ
び第1アーム7は軸4に対し180°回転動作可能にな
り、ハンドは第3図の「縮んだ」状態から第2図に示す
ような「伸びた」状態になって、ウェハカセット2内に
フィンガ1が挿入される。
この時、もし取り出そうとするウェハがウェハカセット
内から少しでも飛び出していると、フィンガ1上に設け
られたブロック部材19がそのウェハの端部に当接し、
該ウェハはウェハカセット内の所定位置に押し込まれる
。従って、取り出そうどするウェハは、所定位置からず
れていれば全てブロック部材により位置決めされる為、
フィンガ1に対しある程度の位置精度が保証される。こ
のときウェハは、まだフィンガの上に載置されておらず
ウェハカセットの棚上に載っているので、該棚上を滑る
ことになる。
内から少しでも飛び出していると、フィンガ1上に設け
られたブロック部材19がそのウェハの端部に当接し、
該ウェハはウェハカセット内の所定位置に押し込まれる
。従って、取り出そうどするウェハは、所定位置からず
れていれば全てブロック部材により位置決めされる為、
フィンガ1に対しある程度の位置精度が保証される。こ
のときウェハは、まだフィンガの上に載置されておらず
ウェハカセットの棚上に載っているので、該棚上を滑る
ことになる。
第2図は第1図において六方向から見た図で整列部材1
9がウェハ3に略接触している。
9がウェハ3に略接触している。
次に、この高さのままフィンガ1が進入方向とは逆方向
にある硲だけ戻り、昇降装置18で全体ユニットを少し
上に持−りげてフィンガ1上にウェハ3を載置して取り
出し準備が完了する。この状態を示すのが第5図である
。尚、フィンガ1には不図示の真空吸着用の溝が構成さ
れており、ウェハ3を吸着するものどJoる。
にある硲だけ戻り、昇降装置18で全体ユニットを少し
上に持−りげてフィンガ1上にウェハ3を載置して取り
出し準備が完了する。この状態を示すのが第5図である
。尚、フィンガ1には不図示の真空吸着用の溝が構成さ
れており、ウェハ3を吸着するものどJoる。
第6図は、第5図においてB方向より見た図であり、前
述したようにフィンガ1はウェハ3を所定位置まで押し
込んだのち逆方向にある量だけ戻るため、ウェハ整列用
のブロック部材19はウェハ3の外縁より一定距離だけ
離れた位置にある。
述したようにフィンガ1はウェハ3を所定位置まで押し
込んだのち逆方向にある量だけ戻るため、ウェハ整列用
のブロック部材19はウェハ3の外縁より一定距離だけ
離れた位置にある。
この後、ハンドアーム伸縮用駆動部16によって2個の
軸4を進入時と逆方向に回転駆動させると、再び第4図
に示すタイミングベルト10の作用によって軸6が軸4
に対し回転動作に入り、進入方向と反対側にハンドアー
ム5および7が折れ曲る。
軸4を進入時と逆方向に回転駆動させると、再び第4図
に示すタイミングベルト10の作用によって軸6が軸4
に対し回転動作に入り、進入方向と反対側にハンドアー
ム5および7が折れ曲る。
次に昇降装置18によってウェハは最上部に持上げらる
。次にウェハはハンドラ回転用モータ17によって回転
され、この位置において不図示のセンサによりオリフラ
位置が検出されプリアライメントされる。
。次にウェハはハンドラ回転用モータ17によって回転
され、この位置において不図示のセンサによりオリフラ
位置が検出されプリアライメントされる。
この時、つ■ハとフィンガとの位置関係がある程度合っ
ていないとセンサでオリフラ位置の検知かできないこと
になる。しかしながら、ここでは、簡単な整列用ブロッ
ク部材19をフィンガ1上に設置プることにより、この
ような問題を解決することができる。
ていないとセンサでオリフラ位置の検知かできないこと
になる。しかしながら、ここでは、簡単な整列用ブロッ
ク部材19をフィンガ1上に設置プることにより、この
ような問題を解決することができる。
次に、露光または検査等の処理の済んだウェハ3がウェ
ハカセット2に戻される過程について説明する。ウェハ
処理装置は不図示であるが第1図において紙面に垂直方
向、即ちウェハカセット2に対し90°回転した方向に
あるものとする。この位置でウェハをチャックからパン
クハンドのフィンガ上に回収し、次にパンクハンドユニ
ット全体をハンドラ回転用モータ17によって90°回
転して、フィンガ1がウェハカセット2に対し対向する
位置で停止する。
ハカセット2に戻される過程について説明する。ウェハ
処理装置は不図示であるが第1図において紙面に垂直方
向、即ちウェハカセット2に対し90°回転した方向に
あるものとする。この位置でウェハをチャックからパン
クハンドのフィンガ上に回収し、次にパンクハンドユニ
ット全体をハンドラ回転用モータ17によって90°回
転して、フィンガ1がウェハカセット2に対し対向する
位置で停止する。
次にハンドアーム昇降装置18によってウェハを取り出
した元の位置までパンクハンドユニットを下降させる。
した元の位置までパンクハンドユニットを下降させる。
この位置は本装置の不図示の記憶回路により記憶されて
いるものとする。この状態が第3図である。この位置で
フィンガ1およびウェハ3をウェハカセット2内の所定
位置まで挿入する(第6図)。この状態で真空吸着を解
除しウェハ3を解放する。さらにハンドアーム昇降装置
18でパンクハンドユニットを、ウェハ3とフィンガ1
とが完全に分離する位置まで降下させウェハ3をウェハ
カセット2の棚に載置する。この後、ハンドアーム5,
7は収縮動作に入りフィンガ1はウェハカセット2より
脱出する。
いるものとする。この状態が第3図である。この位置で
フィンガ1およびウェハ3をウェハカセット2内の所定
位置まで挿入する(第6図)。この状態で真空吸着を解
除しウェハ3を解放する。さらにハンドアーム昇降装置
18でパンクハンドユニットを、ウェハ3とフィンガ1
とが完全に分離する位置まで降下させウェハ3をウェハ
カセット2の棚に載置する。この後、ハンドアーム5,
7は収縮動作に入りフィンガ1はウェハカセット2より
脱出する。
さらに、次のウェハ取り出し位置までハンドは上下し、
以下ウェハ挿脱動作が繰り返される。
以下ウェハ挿脱動作が繰り返される。
[実施例の変形例]
前記ウェハ整列部材はウェハサイズに合せてそのポジシ
ョンを容易に可変できるものとすることも可能で、その
場合一台のハンドラで数種類のサイズのウェハに対応す
ることができる。
ョンを容易に可変できるものとすることも可能で、その
場合一台のハンドラで数種類のサイズのウェハに対応す
ることができる。
また、本発明では直進型ハンドとしてパンタグラフ方式
のハンドを例にあげたが、パンタグラフ方式でなくとも
例えばガイド棒にハンドを設はハンドにタイミングベル
トを連結した直進型ハンドを使用することも可能である
。
のハンドを例にあげたが、パンタグラフ方式でなくとも
例えばガイド棒にハンドを設はハンドにタイミングベル
トを連結した直進型ハンドを使用することも可能である
。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によればハンドにブロック部
材を設け、その部材で所定位置までウェハを押し込み、
しかる後、ブロック部材を一定量もどすという簡単な構
造と動作によって直進型ハンドに固有のウェハ整列問題
を解決することができる。
材を設け、その部材で所定位置までウェハを押し込み、
しかる後、ブロック部材を一定量もどすという簡単な構
造と動作によって直進型ハンドに固有のウェハ整列問題
を解決することができる。
さらに本発明は、ウェハ収納棚内のウェハ間の間隔の小
さい場合特に有効になる。それは整列部材で所定位置ま
でウェハを押し込み、一定ωハンドを引き出さないでそ
のまま上に持上げようとすると、もしその抜き出そうと
する当該ウェハの上の棚にあるウェハが飛び出している
場合に、そのウェハを該整列部材で引掛けて一緒に引き
出す恐れがあり、本発明はこのような事故を未然に防止
することができるからである。
さい場合特に有効になる。それは整列部材で所定位置ま
でウェハを押し込み、一定ωハンドを引き出さないでそ
のまま上に持上げようとすると、もしその抜き出そうと
する当該ウェハの上の棚にあるウェハが飛び出している
場合に、そのウェハを該整列部材で引掛けて一緒に引き
出す恐れがあり、本発明はこのような事故を未然に防止
することができるからである。
第1図は、本発明に係る一実施例のウェハ搬送用ハンド
ラの横方向から見た全体外観図、第2図は、第1図の装
置を六方向より見た上面図、 第3図は、第1図の装置においてウェハがウェハカセッ
トより搬送された時のハンドラのハンドアームの状態の
上面図、 第4図は、第1図の装置の第1アーム、第2アーム間の
タイミングベルト部を示す詳細図、第5図は、第1図の
装置においてフィンガ上にウェハを載置せしめた状態の
全体外観図、第6図は、第5図においてB方向より見た
上面図である。 1:フィンガ、2:ウェハカセット、3:ウェハ、4:
第2アームの回転軸、5:第2アーム、6:第1アーム
と第2のハンドアームとの共通回転軸、7:第1アーム
、8:第1アームとフィンガの共通回転軸、11:レー
ザ源、16:ハンドアーム伸縮用駆動部、19:ウェハ
整列用ブロック部材。
ラの横方向から見た全体外観図、第2図は、第1図の装
置を六方向より見た上面図、 第3図は、第1図の装置においてウェハがウェハカセッ
トより搬送された時のハンドラのハンドアームの状態の
上面図、 第4図は、第1図の装置の第1アーム、第2アーム間の
タイミングベルト部を示す詳細図、第5図は、第1図の
装置においてフィンガ上にウェハを載置せしめた状態の
全体外観図、第6図は、第5図においてB方向より見た
上面図である。 1:フィンガ、2:ウェハカセット、3:ウェハ、4:
第2アームの回転軸、5:第2アーム、6:第1アーム
と第2のハンドアームとの共通回転軸、7:第1アーム
、8:第1アームとフィンガの共通回転軸、11:レー
ザ源、16:ハンドアーム伸縮用駆動部、19:ウェハ
整列用ブロック部材。
Claims (1)
- 1、ウェハカセットのウェハ挿脱口側からウェハと対向
する位置に直進型ハンドを設け、該ハンドをカセット内
に挿入して該ハンド上にウェハを載置せしめ該ハンドを
カセット外に脱出せしめてウェハを取り出すウェハ搬送
方法において、直進型ハンド進入口側にウェハ脱出動作
に先立ってカセット内に整列されて収納させていないウ
ェハを所定位置に整列ならしめる為の部材を設けるとと
もに、ウェハ取り出しに先立つてハンドを一旦ウェハ載
置位置よりウェハカセットの奥側に押し込んでウェハ整
列部材によってウェハを整列させ、しかる後一定量挿脱
口側にウェハとは平行方向にハンドを戻し、しかる後ウ
ェハと垂直方向にハンドを動かしてハンド上にウェハを
載置せしめ、ウェハカセットよりウェハを取り出すこと
を特徴とするウェハ搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14661485A JPS628934A (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | ウエハ搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14661485A JPS628934A (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | ウエハ搬送方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS628934A true JPS628934A (ja) | 1987-01-16 |
Family
ID=15411717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14661485A Pending JPS628934A (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 | ウエハ搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS628934A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63183025A (ja) * | 1987-01-24 | 1988-07-28 | 四国電力株式会社 | 赤外線吸収調理器具 |
-
1985
- 1985-07-05 JP JP14661485A patent/JPS628934A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63183025A (ja) * | 1987-01-24 | 1988-07-28 | 四国電力株式会社 | 赤外線吸収調理器具 |
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