JPS6284511A - 反応容器 - Google Patents

反応容器

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Publication number
JPS6284511A
JPS6284511A JP22280585A JP22280585A JPS6284511A JP S6284511 A JPS6284511 A JP S6284511A JP 22280585 A JP22280585 A JP 22280585A JP 22280585 A JP22280585 A JP 22280585A JP S6284511 A JPS6284511 A JP S6284511A
Authority
JP
Japan
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reaction
window
chamber
prevent
purge
Prior art date
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Pending
Application number
JP22280585A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhiro Nozue
野末 康博
Koichi Kajiyama
康一 梶山
Norio Moro
茂呂 則夫
Yasuo Itakura
板倉 康夫
Noriaki Itou
伊藤 仙聡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
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Publication of JPS6284511A publication Critical patent/JPS6284511A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光CVDなどに利用される反応容器に関するも
のである。
従来の技術 従来、圧力容器1の窓2の表面の生成物を除去する場合
、第6図に示すように、圧力容器1に設けたパージ管3
の開口端部を窓2下面に近づけた状態でパージガス(不
活性ガス)を窓2に吹き付けるか、第7図に示すように
圧力容器1に形成したパージ通路3にパージガスを流し
窓2に吹きつけていた。
発明が解決しようとする問題点 しかし、第6図、第7図に示すパージガスの吹き付は手
段は双方ともパージガスを大量に流さなければ確実な反
応生成物除去が行えない。
また、第6図のパージガス吹き付は手段の場合、パージ
ガスが反応ガスを巻き込む場合があった。
また第7図のパージガス吹き付は手段の場合、完全な層
流を作るには複雑な構造が必要であつ九。
また、光化学反応の場合、入射光をレンズ等で絞って試
料に照射する場合、焦点付近で不必要な位置での反応ガ
スによる生成物が入射光を減衰させたり、試料上に降下
していた。
更に試料を加熱する場合、対流によって反応ガスが副室
4に拡散していた。
本発明は上記の事情に鑑みなされたものであつて、その
目的とするところは反応容器中の気圧を部分的に変える
ことによって反応生成物の窓への付着を防止し且つ不必
要な位置での反応の防止及び対流などによる反応物の拡
散を防止することにある。
問題点を解決するための手段及び作用 上記の目的を達成するために、本発明は、容器本体10
内を少くとも副室11と反応室12とに区分して副室1
1と反応室12との間に絞り16を設け副室11側に窓
15を設け、容器本体10に窓15の表面にパージガス
を吹き付けるためのパージライン24と絞り16部分に
パージガスを吹き付ける分離パージライン25とを設け
て構成してあり、そして、パージライン24からのパー
ジガスの窓15の表面への吹き付けによりこの表面の反
応生成物の発生を抑えるとき副室11と反応室12との
間に圧力差を生じさせて対流、巻き込みによる反応ガス
の窓151111Iへの拡散を防止すると共に、分離パ
ージライン25からのパージガスを絞り16部分に吹き
付けることKより、光化学反応の場合における焦点付近
で不必要な位置での反応ガスによる生成物の発生を抑え
るようにしたものである。
実施例 以下、本発明の実施例を第1図乃至第5図を参照して説
明する。
10は容器本体であり、容器本体10の内部は上側が副
室11に下側が反応室12になされている。副室11の
上端は開口してあり、この開口部をガラスのような透明
体14で塞がれていて窓15を形成している。副室11
と反応室12との境に絞り16が形成してあり、この絞
り16の中心はレンズ17により光(レーザ光)が焦点
13を結ぶところで°ある。容器10の側壁部には反応
ガス(SiN4等)の入口1δが設けてあり、容器本体
10の底部には試料載置部19及び排気口20が設けで
ある。
副室11の上端面と窓15との間に隙間状の開口部21
が形成してあり、容器本体10にはパージガス(不活性
ガス)導入口22が設けてあり、パージガス導入口22
は通路23を介して開口部21に連通していて、これら
でパージガス導入口24を構成している。
また容器本体10には反応室12と副室11との分離用
のパージライン25が形成してあり、パージライン25
の端部は絞り16に開口している。
次に作動を説明する。
パージライン24にパージガスを流してこのパージガス
を窓15の表面に吹き付け、この表面に反応生成物が付
着するのを防止する。このパージガスの吹き付けにより
副室11内を反応室12より過剰圧にする。このために
副室11と反応室12の間に十分な圧力差が生じ対流な
どによる反応物の拡散が防止される。
光化学反応の場合、入射光イをレンズ17等で絞って試
料に照射する場合、分離パージライン25によってパー
ジガスを焦点13に流す。
このために、焦点付近で不必要な位置での反応ガスによ
る生成物の発生がなくなる。
第4図、第5図に示すものはそれぞれ本発明の他の実施
例であり、第4図に示すも9は分離パージライン25を
副室11から絞り16部分に臨゛ませたものである。
また、第5図に示すものは副室11と反応室12との間
に中間室26を設け、この中間室26に分離パージライ
ン24を開口させたものである。
発明の効果 以上詳述したように、本発明に係る反応容器は、容器本
体10内を少くとも副室11と反応室12とに区分して
副室11と反応室12との間に絞り16を設け副室11
側に窓15を設け、容器本体10に窓15の表面にパー
ジガスを吹き付けるためのパージライン24と絞り16
部分にパージガスを吹き付ける分離パージライン25と
を設けたことを特徴とするものである。
したがって、パージライン24からのパージガスの窓1
5の表面への吹き付けによりこの衣面の反応生成物の発
生を抑えるとき副室11と反応室12との間に圧力差が
生じ対流、巻き込みによる反応物の窓+5#1への拡散
を防止することができ、また分離パージライン25から
のパージガスを絞り16部分に吹き付けることにより、
光化学反応の場合における焦点付近で不必要な位置での
反応ガスによる生成物の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明一実施例の構成説明図、第2図は同要部
の縦断面図、第3図は第2図のIfi−■線方向からの
矢視図、第4図、第5図は本発明の他の実施例の一部省
略した縦断面図、第6図、第7図は従来の反応容器の一
部省略した縦断面図である。 10は容器本体°、11は副室、12は反応室、15は
窓、16は絞り、24はパージライン、25は分離パー
ジライン。 第2図 第4図 第5図 第6図 第7図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 容器本体10内を少くとも副室11と反応室12とに区
    分して副室11と反応室12との間に絞り16を設け副
    室11側に窓15を設け、容器本体10に窓15の表面
    にパージガスを吹き付けるためのパージライン24と絞
    り16部分にパージガスを吹き付ける分離パージライン
    25とを設けたことを特徴とする反応容器。
JP22280585A 1985-10-08 1985-10-08 反応容器 Pending JPS6284511A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22280585A JPS6284511A (ja) 1985-10-08 1985-10-08 反応容器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22280585A JPS6284511A (ja) 1985-10-08 1985-10-08 反応容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6284511A true JPS6284511A (ja) 1987-04-18

Family

ID=16788170

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22280585A Pending JPS6284511A (ja) 1985-10-08 1985-10-08 反応容器

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JP (1) JPS6284511A (ja)

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