JPS6278892A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6278892A JPS6278892A JP21790785A JP21790785A JPS6278892A JP S6278892 A JPS6278892 A JP S6278892A JP 21790785 A JP21790785 A JP 21790785A JP 21790785 A JP21790785 A JP 21790785A JP S6278892 A JPS6278892 A JP S6278892A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- laser tube
- tube
- buffer chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザガスを供給するレーザ管の一部を改良し
たガスレーザ発振器に関する。
たガスレーザ発振器に関する。
一般に小型の軸流型ガスレーザ発生器は、レーザ管内に
グロー放電電極を配置すると共、レーザ管は一部にガス
導入管を設けている。レーザガスたとえばＣｏｘ、Ｎｘ
、Ｈｅ等は、ガス導入管を介してグロー放電電極の一方
側に吹き付けて、レーザ管内に供給している。レーザガ
スをグロー放電電極に吹き付けるのは、レーザ管内のグ
ローの拡散を良くしてグロー放電のエネルギーがレーザ
光に変換する効率を良くして、レーザ光出力を向上させ
るためである。
グロー放電電極を配置すると共、レーザ管は一部にガス
導入管を設けている。レーザガスたとえばＣｏｘ、Ｎｘ
、Ｈｅ等は、ガス導入管を介してグロー放電電極の一方
側に吹き付けて、レーザ管内に供給している。レーザガ
スをグロー放電電極に吹き付けるのは、レーザ管内のグ
ローの拡散を良くしてグロー放電のエネルギーがレーザ
光に変換する効率を良くして、レーザ光出力を向上させ
るためである。
しかしながら、レーザガスを吹き付ける際に、レーザガ
スは、レーザ管内壁で衝突すると、その反撥力でレーザ
ガスは、レーザ管内を蛇行するので、レーザ管内で圧力
変動を生じ、グロー放電電極間のグロー放電が変動をし
、レーザ光出力の焦点も一点に定まらず、変動して、不
安定になる。
スは、レーザ管内壁で衝突すると、その反撥力でレーザ
ガスは、レーザ管内を蛇行するので、レーザ管内で圧力
変動を生じ、グロー放電電極間のグロー放電が変動をし
、レーザ光出力の焦点も一点に定まらず、変動して、不
安定になる。
また、レーザ管内でレーザ光が変動すれば、損失が多く
なり、レーザ光出力が低下する。尚、この種のガスレー
ザ発振器としては特開昭５８−１７８５７９号を挙げる
ことができる。
なり、レーザ光出力が低下する。尚、この種のガスレー
ザ発振器としては特開昭５８−１７８５７９号を挙げる
ことができる。
本発明の目的は、レーザ光を安定し、かつレーザ光出力
の損失を防止したガスレーザ発振器を提供することにあ
る。
の損失を防止したガスレーザ発振器を提供することにあ
る。
本発明のガスレーザ発振器は、内部にグロー放電電極を
配置したレーザ管にレーザガスを供給するガス導入路を
設け、ガス導入路側のレーザ管外側にレーザ管を包囲す
る包囲部を設け、包囲部とレーザ管との間にガス緩衝室
を形成し、ガス緩衝室とレーザ管との間に連通穴および
ガス流通穴を形成すれば、ガス緩衝室内でレーザガスの
衝突による反撥力を緩和して、レーザガスおよびグロー
放電が変動しにくくなり、レーザ光の出力は安定する。
配置したレーザ管にレーザガスを供給するガス導入路を
設け、ガス導入路側のレーザ管外側にレーザ管を包囲す
る包囲部を設け、包囲部とレーザ管との間にガス緩衝室
を形成し、ガス緩衝室とレーザ管との間に連通穴および
ガス流通穴を形成すれば、ガス緩衝室内でレーザガスの
衝突による反撥力を緩和して、レーザガスおよびグロー
放電が変動しにくくなり、レーザ光の出力は安定する。
以下、本発明の実施例を第１図（Ａ）ないし第２図によ
り説明する。
り説明する。
レーザ管１は両端に反射鏡２および出力鏡３を、レーザ
管１の中央部および両端にガス排気管４およびガス導入
管５を、それぞれ取付けている。ガス排気管４とガス導
入管５とは図示していないが互いに連絡し、内部に熱交
換器、ルーツブロア等を配置している。ルーツブロアを
駆動すれば、レーザガス６たとえばＣＯｚ、Ｎｚ、Ｈｅ
等がガス導入管５からレーザ管１およびガス排気管４を
介してガス導入管１へと矢印方向に循環して、冷却され
たレーザガス６をレーザ管内に供給している。
管１の中央部および両端にガス排気管４およびガス導入
管５を、それぞれ取付けている。ガス排気管４とガス導
入管５とは図示していないが互いに連絡し、内部に熱交
換器、ルーツブロア等を配置している。ルーツブロアを
駆動すれば、レーザガス６たとえばＣＯｚ、Ｎｚ、Ｈｅ
等がガス導入管５からレーザ管１およびガス排気管４を
介してガス導入管１へと矢印方向に循環して、冷却され
たレーザガス６をレーザ管内に供給している。
ガス導入管５と対応するレーザ管外側は、外管７Ａで包
囲し、レーザ管外側と外管との間にガス緩衝室７を形成
している。ガス導入管内は円筒状のノズル８を配置し、
ノズル内は電極たとえば陰極９を配置している。陰極９
とガス排気管近傍の外部に照射する。ノズル８と陰極９
との間には、ガス流通路１３を形成している。
囲し、レーザ管外側と外管との間にガス緩衝室７を形成
している。ガス導入管内は円筒状のノズル８を配置し、
ノズル内は電極たとえば陰極９を配置している。陰極９
とガス排気管近傍の外部に照射する。ノズル８と陰極９
との間には、ガス流通路１３を形成している。
ガス流通路１３と対応するレーザ管１は、第１連通穴１
４を形成している。ガス緩衝室７は第１連通穴１４と対
応する第２連通穴１５を形成している。第２連通穴１５
と対応するガス緩衝室内に取付けた三角形状の突起部１
６は、レーザガス６を第１および第２ガス流通穴１７．
１８に分流する。突起部１６は同図（Ｅ）の如く複数個
取付けてもよい。第１および第２ガス流通穴１７．１８
は陽極側および出力鏡側のガス緩衝室内のレーザ管外周
に沿って複数個形成している。
４を形成している。ガス緩衝室７は第１連通穴１４と対
応する第２連通穴１５を形成している。第２連通穴１５
と対応するガス緩衝室内に取付けた三角形状の突起部１
６は、レーザガス６を第１および第２ガス流通穴１７．
１８に分流する。突起部１６は同図（Ｅ）の如く複数個
取付けてもよい。第１および第２ガス流通穴１７．１８
は陽極側および出力鏡側のガス緩衝室内のレーザ管外周
に沿って複数個形成している。
次に、本発明のガス緩衝室７の作用について説明する。
矢印方向に流通すレーザガス６は、ガス流通路１３と第
１および第２連通穴１４，１５を通って、突起部１６に
高速度で衝突し、その時生ずる反撥力でレーザガス６は
二方向６Ａ、６Ｂに分流する。
１および第２連通穴１４，１５を通って、突起部１６に
高速度で衝突し、その時生ずる反撥力でレーザガス６は
二方向６Ａ、６Ｂに分流する。
分流したレーザガス６Ａ、６Ｂは、反撥力でガス緩衝室
内で往復運動をして、反撥力を緩和した後。
内で往復運動をして、反撥力を緩和した後。
第１および第２ガス流通穴１７．１８よりレーザ管内に
流通する。したがって、レーザガス６はレーザ管内で蛇
行することがなくなり、レーザ管内で圧力変動を生じな
くなって、グロー放電領域１１は変動しにくく、レーザ
光出力には被加工物上で移動することなく安定するばか
りでなく、またレーザ管内でのレーザ光損失が少なくな
り、し＝ザ光出力を向上させることができる。
流通する。したがって、レーザガス６はレーザ管内で蛇
行することがなくなり、レーザ管内で圧力変動を生じな
くなって、グロー放電領域１１は変動しにくく、レーザ
光出力には被加工物上で移動することなく安定するばか
りでなく、またレーザ管内でのレーザ光損失が少なくな
り、し＝ザ光出力を向上させることができる。
この実施例でレーザガス６の風上側に第２ガス流通穴１
８を設ければ、ガス流通路１３より外れたレーザ管１の
個所Ｘにも充分レーザガス６を供給できるので、部分ア
ーク放電を生ずることなく。
８を設ければ、ガス流通路１３より外れたレーザ管１の
個所Ｘにも充分レーザガス６を供給できるので、部分ア
ーク放電を生ずることなく。
レーザ光出力を向上させることができる。
更に第２ガス流通六１８の直径寸法を第１ガス流通穴１
７の直径寸法より大きくすれば、第２ガス流通穴１８か
らレーザ管内に供給するレーザガスは、第１ガス流通穴
１７のそれより多くなる。
７の直径寸法より大きくすれば、第２ガス流通穴１８か
らレーザ管内に供給するレーザガスは、第１ガス流通穴
１７のそれより多くなる。
この結果、第１ガス流通穴１７から供給されたレーザガ
ス６Ａにより、電極９の近傍のグロー放電を拡散後、第
２ガス流通穴１８からのレーザガス６Ｂにより、更に拡
散を促進される。このため、レーザガスの直径が実質的
に拡大され、レーザガスがアーク放電に移行することな
く、グロー放電を行うので、実質的にレーザガスはレー
ザ光への変換効率がよく、レーザ光出力を向上させるこ
とができる。
ス６Ａにより、電極９の近傍のグロー放電を拡散後、第
２ガス流通穴１８からのレーザガス６Ｂにより、更に拡
散を促進される。このため、レーザガスの直径が実質的
に拡大され、レーザガスがアーク放電に移行することな
く、グロー放電を行うので、実質的にレーザガスはレー
ザ光への変換効率がよく、レーザ光出力を向上させるこ
とができる。
以上のように、本発明のガスレーザ発振器によれば、レ
ーザ光を安定し、かつレーザ光出力を向上させることが
できる。
ーザ光を安定し、かつレーザ光出力を向上させることが
できる。
第１−図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の実施例として示した
第１図の要部側断面図、同図（Ｃ）および同図（Ｄ）は
第１図（Ａ）のｍ−ｍ線および■−■線断面図、同図（
Ｅ）は本発明の他の実施例として示した要部側断面図、
第２図は本発明の実施例であるガスレーザ発振器の概略
側断面図である。 １・・・レーザガス管、４・・・ガス排気管、５・・・
ガス導入管、６・・・レーザガス、７・・・ガス緩衝室
、９゜］Ｏ・・・電極、１３・・・ガス流通路、１４．
１５・・・連通穴、１７．１８・・・ガス流通穴。
第１図の要部側断面図、同図（Ｃ）および同図（Ｄ）は
第１図（Ａ）のｍ−ｍ線および■−■線断面図、同図（
Ｅ）は本発明の他の実施例として示した要部側断面図、
第２図は本発明の実施例であるガスレーザ発振器の概略
側断面図である。 １・・・レーザガス管、４・・・ガス排気管、５・・・
ガス導入管、６・・・レーザガス、７・・・ガス緩衝室
、９゜］Ｏ・・・電極、１３・・・ガス流通路、１４．
１５・・・連通穴、１７．１８・・・ガス流通穴。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、内部にグロー放電電極を配置したレーザ管にレーザ
ガスを供給するガス導入路を設けたものにおいて、ガス
導入路側のレーザ管外側にレーザ管を包囲する包囲部を
設け、包囲部とレーザ管との間にガス緩衝室を形成し、
ガス緩衝室とレーザ管との間に連通穴およびガス流通穴
を形成することを特徴とするガスレーザ発振器。 ２、上記ガス流通穴は連通穴を介してレーザガスの風上
側に形成することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のガスレーザ発振器。 ３、上記ガス流通穴は連通穴を介してレーザガスの風上
側と風下側とに形成し、風上側のガス流通穴のレーザガ
ス流量は、風下側のガス流通穴のレーザガス流量より多
く流すことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガ
スレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21790785A JPS6278892A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21790785A JPS6278892A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6278892A true JPS6278892A (ja) | 1987-04-11 |
Family
ID=16711617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21790785A Pending JPS6278892A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6278892A (ja) |
-
1985
- 1985-10-02 JP JP21790785A patent/JPS6278892A/ja active Pending
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