JPS6341235B2 - - Google Patents
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- JPS6341235B2 JPS6341235B2 JP56183778A JP18377881A JPS6341235B2 JP S6341235 B2 JPS6341235 B2 JP S6341235B2 JP 56183778 A JP56183778 A JP 56183778A JP 18377881 A JP18377881 A JP 18377881A JP S6341235 B2 JPS6341235 B2 JP S6341235B2
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- Japan
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- reflecting mirror
- holding plate
- groove
- mirror
- sealing portion
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Links
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 4
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は反射鏡を改良したレーザ発生装置に関
する。
する。
一般にレーザ発生装置は、放電室本体の両端に
出力鏡と反射鏡とを取付けて、出力鏡と反射鏡と
の間にレーザ光を共振させて、出力鏡の中心部よ
り外部にレーザ光を取出す。このため、出力鏡、
反射鏡はレーザ光によつて、温度上昇をするの
で、これらの鏡外周部に冷却路を設けて、温度上
昇を抑制している。冷却路の構成について反射鏡
を例にとり説明すると、反射鏡は一般に無酸化銅
などの部材を使用し、反射鏡外周部は２枚の保持
板たとえば第１保持板と第２保持板との間に保持
されている。これらの保持板は反射鏡外周部に沿
つて形成され溝の冷却路より成る。冷却路は一方
の供給口から他方の流出口に向つて、冷却水を流
し、反射鏡を冷却している。そして、冷却水が反
射鏡に流出するのを防止するために、第１保持板
と第２支持板との間に封止部たとえばＯリングを
介して反射鏡を押圧支持している。したがつて、
押圧力は反射鏡両面から反射鏡内部に向つて押圧
しているので、反射鏡面は外周部と中心部との間
に凸凹形状の歪を生ずる。歪はレーザ光を乱反射
して、レーザ光出力を低下させる。
出力鏡と反射鏡とを取付けて、出力鏡と反射鏡と
の間にレーザ光を共振させて、出力鏡の中心部よ
り外部にレーザ光を取出す。このため、出力鏡、
反射鏡はレーザ光によつて、温度上昇をするの
で、これらの鏡外周部に冷却路を設けて、温度上
昇を抑制している。冷却路の構成について反射鏡
を例にとり説明すると、反射鏡は一般に無酸化銅
などの部材を使用し、反射鏡外周部は２枚の保持
板たとえば第１保持板と第２保持板との間に保持
されている。これらの保持板は反射鏡外周部に沿
つて形成され溝の冷却路より成る。冷却路は一方
の供給口から他方の流出口に向つて、冷却水を流
し、反射鏡を冷却している。そして、冷却水が反
射鏡に流出するのを防止するために、第１保持板
と第２支持板との間に封止部たとえばＯリングを
介して反射鏡を押圧支持している。したがつて、
押圧力は反射鏡両面から反射鏡内部に向つて押圧
しているので、反射鏡面は外周部と中心部との間
に凸凹形状の歪を生ずる。歪はレーザ光を乱反射
して、レーザ光出力を低下させる。
本発明の目的は、レーザ光出力を向上したレー
ザ発生装置を提供することにある。
ザ発生装置を提供することにある。
この目的を達成するために、本発明の反射鏡は
外周部に沿つて吸収溝を形成して、反射鏡を押圧
すれば、押圧個所の反射鏡面は中心点方向に延び
るが、この延びは吸収溝により吸収されるので、
吸収溝と中心部との間の反射鏡面には凸凹形状の
歪を生じない。したがつて、レーザ光出力は低下
することがない。
外周部に沿つて吸収溝を形成して、反射鏡を押圧
すれば、押圧個所の反射鏡面は中心点方向に延び
るが、この延びは吸収溝により吸収されるので、
吸収溝と中心部との間の反射鏡面には凸凹形状の
歪を生じない。したがつて、レーザ光出力は低下
することがない。
以下、本発明の実施例を第１図ないし第２Ｂ図
のガスレーザ装置１により説明する。
のガスレーザ装置１により説明する。
放電管本体２は内部に放電室３を形成し、放電
室３は放電管本体２に設けた供給口４から矢印方
向にガス媒質５を供給する。ガス媒質５は炭酸ガ
ス（CO2）、窒素（N2）、ヘリウム（He）等の混
合ガスから成り、放電管本体２の他端に設けた流
出口６より流出する。放電室３に配設された陰極
７と陽極８との間でグロー放電を起せば、ガス媒
質は反転分布状態になつて、レーザ光９を発生す
る。レーザ光９は出力鏡１０と反射鏡１１との間
で共振させて、出力鏡１０を透過して外部に取出
す。出力鏡１０と反射鏡１１とは第１保持板１２
と第２保持板１３との間に押圧支持されている
が、構造が同じなので、出力鏡側を省略し、反射
鏡側の構成について説明する。
室３は放電管本体２に設けた供給口４から矢印方
向にガス媒質５を供給する。ガス媒質５は炭酸ガ
ス（CO2）、窒素（N2）、ヘリウム（He）等の混
合ガスから成り、放電管本体２の他端に設けた流
出口６より流出する。放電室３に配設された陰極
７と陽極８との間でグロー放電を起せば、ガス媒
質は反転分布状態になつて、レーザ光９を発生す
る。レーザ光９は出力鏡１０と反射鏡１１との間
で共振させて、出力鏡１０を透過して外部に取出
す。出力鏡１０と反射鏡１１とは第１保持板１２
と第２保持板１３との間に押圧支持されている
が、構造が同じなので、出力鏡側を省略し、反射
鏡側の構成について説明する。
第１保持板には第２Ａ，２Ｂ図に示す如く外側
に円周状の第１溝１５を形成する。第１溝１５よ
り内側の第１保持板１２と第２保持板１３とに
は、互いに対応する個所に第１溝１５と同形状の
第２溝１６を形成する。第１溝１５と第２溝１６
との間の反射鏡１１の外周部１１Ａに沿つて、冷
却路１７を形成する。冷却路１７は１方の供給口
１８から矢印方向に冷却水１９を流して、他方の
出口２０より外部に排出する。冷却水１９が反射
鏡１１および第１および第２保持板１３の外部に
流出するのを防止するために、第１溝１５と第２
溝１６とに封止部２１たとえばＯリングを収納し
て、第２保持板１３を第１保持板１２に当接した
状態で、締付ボルト２２で締付ければ、封止部２
１を介して反射鏡１１の外周部１１Ａは第１保持
板１２と第２保持板１３との間に押圧支持され
る。外周部１１Ａは第２Ｂ図ないし第３Ｂ図に詳
細に示すように、反射鏡面２２より内部に吸収溝
２３を形成している。吸収溝内に複数の連通穴２
４を形成して、放電室３と背面室２５とを連通す
る。背面室２５は第２保持板１３に形成した窪み
部２６と反射鏡１１の一方面との間に形成してい
る。
に円周状の第１溝１５を形成する。第１溝１５よ
り内側の第１保持板１２と第２保持板１３とに
は、互いに対応する個所に第１溝１５と同形状の
第２溝１６を形成する。第１溝１５と第２溝１６
との間の反射鏡１１の外周部１１Ａに沿つて、冷
却路１７を形成する。冷却路１７は１方の供給口
１８から矢印方向に冷却水１９を流して、他方の
出口２０より外部に排出する。冷却水１９が反射
鏡１１および第１および第２保持板１３の外部に
流出するのを防止するために、第１溝１５と第２
溝１６とに封止部２１たとえばＯリングを収納し
て、第２保持板１３を第１保持板１２に当接した
状態で、締付ボルト２２で締付ければ、封止部２
１を介して反射鏡１１の外周部１１Ａは第１保持
板１２と第２保持板１３との間に押圧支持され
る。外周部１１Ａは第２Ｂ図ないし第３Ｂ図に詳
細に示すように、反射鏡面２２より内部に吸収溝
２３を形成している。吸収溝内に複数の連通穴２
４を形成して、放電室３と背面室２５とを連通す
る。背面室２５は第２保持板１３に形成した窪み
部２６と反射鏡１１の一方面との間に形成してい
る。
次に、吸収溝２３の働きを第３Ａ図、第３Ｂ図
によつて説明する。第１保持板１２に第２保持板
１３を当接した状態で、締付ボルト２５を回転す
れば、封止部２１は圧縮されて、第３Ａ図に示す
矢印方向に押圧力Ｆを生ずる。押圧力Ｆは外周部
１１Ａの表面２７から内部に向つて押圧するの
で、外周部１１Ａは第３Ｂ図に示すx1およびx2方
向に延びる。x1方向の延びは冷却路１７により阻
止又は吸収される。x2方向の延びは吸収溝２３で
吸収できる。したがつて、x2方向の延びは吸収溝
２３で阻止されて、吸収溝２３から反射鏡１１の
中心部２８の方向に影響を与えにくくなるので、
これらの部で凸凹形状の歪または変形を生じにく
くなつた。このため、反射鏡１１から反射される
レーザ光は、乱反射しにくくなり、その結果、レ
ーザ光出力を低下させることがなくなつた。つま
り、レーザ光出力を向上させることができる。
によつて説明する。第１保持板１２に第２保持板
１３を当接した状態で、締付ボルト２５を回転す
れば、封止部２１は圧縮されて、第３Ａ図に示す
矢印方向に押圧力Ｆを生ずる。押圧力Ｆは外周部
１１Ａの表面２７から内部に向つて押圧するの
で、外周部１１Ａは第３Ｂ図に示すx1およびx2方
向に延びる。x1方向の延びは冷却路１７により阻
止又は吸収される。x2方向の延びは吸収溝２３で
吸収できる。したがつて、x2方向の延びは吸収溝
２３で阻止されて、吸収溝２３から反射鏡１１の
中心部２８の方向に影響を与えにくくなるので、
これらの部で凸凹形状の歪または変形を生じにく
くなつた。このため、反射鏡１１から反射される
レーザ光は、乱反射しにくくなり、その結果、レ
ーザ光出力を低下させることがなくなつた。つま
り、レーザ光出力を向上させることができる。
この実施例では連通穴２４を設けて、放電室２
と背面室２５との間を連通し、簡単な構造で圧力
を均一にしている。そして、連通穴２４を吸収溝
２３に形成すれば、次の効果を生ずる。、吸収
溝２３により位置決が出来るので、連通穴２４を
形成しやすい。、吸収溝２３により外周部表面
２６より厚寸法が薄くなつているので、連通穴２
４の形成時間が早く、作業能率がよい。、吸収
溝内に連通穴２４を形成すれば、連通穴２４を形
成する時にバリが出にくく、大切な反射鏡１１を
バリで破損することが防止できるようにとなつ
た。
と背面室２５との間を連通し、簡単な構造で圧力
を均一にしている。そして、連通穴２４を吸収溝
２３に形成すれば、次の効果を生ずる。、吸収
溝２３により位置決が出来るので、連通穴２４を
形成しやすい。、吸収溝２３により外周部表面
２６より厚寸法が薄くなつているので、連通穴２
４の形成時間が早く、作業能率がよい。、吸収
溝内に連通穴２４を形成すれば、連通穴２４を形
成する時にバリが出にくく、大切な反射鏡１１を
バリで破損することが防止できるようにとなつ
た。
尚、上述の連通穴は背面室を必要としないガス
レーザ発生装置では必要がない。また、上述では
軸流型のガスレーザ発生装置について説明した
が、他のガスレーザ発生装置たとえばガス流、放
電方向、レーザ光方向の異なる２軸、３軸直交型
或いは交流型等にも使用できることは勿論であ
る。
レーザ発生装置では必要がない。また、上述では
軸流型のガスレーザ発生装置について説明した
が、他のガスレーザ発生装置たとえばガス流、放
電方向、レーザ光方向の異なる２軸、３軸直交型
或いは交流型等にも使用できることは勿論であ
る。
以上のように本発明のレーザ発生装置では、反
射鏡外周部に吸収溝を設けたので、反射鏡に歪を
生ずることなく、レーザ光出力を向上させること
ができる。
射鏡外周部に吸収溝を設けたので、反射鏡に歪を
生ずることなく、レーザ光出力を向上させること
ができる。
第１図は本発明の実施例として示したガスレー
ザ発生装置の側断面図、第２Ａ図は第１図のＡ
−Ａ線断面図、第２Ｂ図は第２Ａ図のＢ−
Ｂ線断面図、第３Ａ図は反射鏡の側断面図、第３
Ｂ図は反射鏡の要部側断面図である。 ２……放電管本体、３……放電室、１１……反
射鏡、１１Ａ……外周部、１２および１３……第
１および第２保持板、１６……封止部、２３……
吸収溝、２４……連通穴。
ザ発生装置の側断面図、第２Ａ図は第１図のＡ
−Ａ線断面図、第２Ｂ図は第２Ａ図のＢ−
Ｂ線断面図、第３Ａ図は反射鏡の側断面図、第３
Ｂ図は反射鏡の要部側断面図である。 ２……放電管本体、３……放電室、１１……反
射鏡、１１Ａ……外周部、１２および１３……第
１および第２保持板、１６……封止部、２３……
吸収溝、２４……連通穴。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 放電室を有する放電管本体の他端に第１保持
板および第２保持板を取付け、上記両保持板間に
設けた封止部を介して反射鏡を押圧支持するもの
において、上記封止部より内側反射鏡外周部両面
に吸収溝を形成することを特徴とするレーザ発生
装置。 ２ 放電室を有する放電管本体の他端に第１保持
板および第２保持板を取付け、上記両保持板間に
設けた封止部を介して反射鏡を押圧支持するもの
において、反射板と第２保持板との間に形成した
背面室と放電室との間を連通する貫通穴を、上記
封止部より内側反射鏡外周部両面に設けた吸収溝
に形成することを特徴とするレーザ発生装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18377881A JPS5885581A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | レ−ザ発生装置 |
| EP19820110587 EP0079613B1 (en) | 1981-11-18 | 1982-11-16 | Gas laser apparatus |
| DE8282110587T DE3269887D1 (en) | 1981-11-18 | 1982-11-16 | Gas laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18377881A JPS5885581A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | レ−ザ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5885581A JPS5885581A (ja) | 1983-05-21 |
| JPS6341235B2 true JPS6341235B2 (ja) | 1988-08-16 |
Family
ID=16141775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18377881A Granted JPS5885581A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | レ−ザ発生装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0079613B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5885581A (ja) |
| DE (1) | DE3269887D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06297992A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Takeo Kawarai | 自動荷役装置を備えた貨物自動車 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60146367U (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-28 | 日本電気株式会社 | ガスレ−ザ管 |
| JP4347560B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2009-10-21 | シャランインスツルメンツ株式会社 | 光学素子固定構造、光学素子固定体、光学素子および光学素子ホルダ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5683088A (en) * | 1979-12-12 | 1981-07-07 | Hitachi Ltd | Laser generator |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1086172A (en) * | 1963-03-21 | 1967-10-04 | C J Whilems Ltd | Improvements relating to optical windows |
| US3555450A (en) * | 1968-01-22 | 1971-01-12 | Laser Associates | Laser window having a metallic frame arranged to permit post optical grinding and polishing |
| US3836236A (en) * | 1972-11-24 | 1974-09-17 | Gte Sylvania Inc | Mirror mount for high power lasers |
| FR2243538B1 (ja) * | 1973-09-06 | 1976-06-18 | Comp Generale Electricite | |
| JPS51136071U (ja) * | 1975-04-24 | 1976-11-02 |
-
1981
- 1981-11-18 JP JP18377881A patent/JPS5885581A/ja active Granted
-
1982
- 1982-11-16 DE DE8282110587T patent/DE3269887D1/de not_active Expired
- 1982-11-16 EP EP19820110587 patent/EP0079613B1/en not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5683088A (en) * | 1979-12-12 | 1981-07-07 | Hitachi Ltd | Laser generator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06297992A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Takeo Kawarai | 自動荷役装置を備えた貨物自動車 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3269887D1 (en) | 1986-04-17 |
| EP0079613A1 (en) | 1983-05-25 |
| JPS5885581A (ja) | 1983-05-21 |
| EP0079613B1 (en) | 1986-03-12 |
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