JPS6274852A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置の製造工程におけるウニノーの搬送
に好適な搬送装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

一般に半導体装置の製造に招いては、クエ／−の状態で
種々な処理工程間を搬送される場合が多いが、微細加工
や検査などのため、移載、搬送にあたり、繭工糧の位置
決め状態をそのまま高精度に維持することが要求されて
いる。例えば第５図に示すような複数本の回転アームに
より搬送するものや、第６図のように歯車とリンクとに
よる伸縮自在な機構を用いたものや、第７図に示すよう
に移動距離が長い場合は、リニアガイド（１）ｉ２）で
２個の支持アーム（３）　、　（４）を移動自在に支持
し、これモ にウェハ（５）、（６）を吸着保持させ、＼−夕で支持
アーム（３）、（４）を別個に駆動して搬送する。そし
てすれ違いに際してはカムレール（７）により一方を上
昇させて支障がないように構成されている。しかし第５
図の回転アームによるものは処理位置が数個所あって、
順次処理を行なう場合などにはよいが。

アーム長さを半径とする円の分だけ面積を必要とし、レ
イアウト上無駄が多く、制約を受ける。また第６図の伸
縮型式のものは一個ずつしか搬送できず、移載が多く１
位置決め精度が維持しにくい。

さらにまた第７図１こ示すリニアガイドを使用したもの
は高精度で、場所をとらないなど多くの長所をもつが、
すれ違うためにその構造が上下動などのため複雑になり
精度が悪く、また別々に駆動しているため、その制御が
複雑になるなど、それぞされている。

〔発明の目的〕

本発明は上述の不都合を解決するためになされたもので
、高精度に、かつ高能率に板状の被搬送体を搬送する搬
送装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は板状の被搬送体の搬送装置であって。

搬送路の両側からそれぞれ突出して突出端部を突出させ
た巨＃＝第１の内側支持部と第１の外側支持部とで支持
部を形成してこの上面を吸着釈放自在な第１の支持面と
した第１の支持体と。

同様な構成の第２の支持体とを搬送路に沿って移動自在
に設け、かつ両支特体を１尋こ反対方向に対称に往復動
させて高能率に搬送させるとともに両支特体の交差に際
しては上下動することなく交差自在として搬送の精度を
向上させたものである。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の詳細を第１図ないし第３図に示す実施例
により説明する。

第１図を有し上記第２図は第１の実施例を示すものであ
る。第１の実施例は支持移動機構（１１）と、案内機構
部と、駆動機構（２）とから構成されている。支持移動
機構（１９は被搬送体住１としてのウェハ（Ｉ（９を保
持して搬送路住ηに沿って移１紡するもので、第１の支
持体Ｑυと、第２の支持体（２７Ｊとからなっている。

第１の支持体ＣＩ）は搬送路αηの一側方（財）から搬
送路αηに突出した板状に形成された第１の内側支持部
（ハ）と、一端部が第１の内側支持部（至）に固定され
て搬送路側を越えて他側方（２７）に延びた第１のアー
ム部（ハ）と、これの他端部から連設されて搬送路αη
に突出して突出端が間隙（至）を介して第１の内側支持
部（ハ）の突出端に対向した第１の外側支持部０υとか
らなっている。また第１の内側支持部（２）と第１の外
側支持部０１）の上面は吸着部位（至）をもった第１の
支持面（至）になっていて、ここにウエノＳ傾が吸着保
持される。そして吸着が解除されればウニ／−ｒｌＧは
搬送方向（２）に沿って移動自在に載置される。なお（
７）は吸着用の導管で、第１の支持体Ｏ１υの側面を通
って導出されている。また第１の内側支持部（ハ）の案
内機構（２）との接続は後述する。第２の支持体（２壜
は前述の第１の支持体四と同様な構成をしていて。

対応した部分には同一名称で説明すると、第２の内側支
持部Ｕυと、第２のアーム部Ｑ榎と５これに連設されて
間隙（４３を介して第２の内側支持部（４１）に対向し
上記第２の外側支持部（４荀とからなっていて、吸着部
位（１ｅ、第２の支持面けη、導管（ハ）などを有する
ことは同様である。しかし第２の支持体（２）において
第１の支持体Ｑυと異なりている点は第２の内側支持部
０υと第２のアーム部（４′Ｊとは別個に後述する案内
機構Ｑのに固定されており、ま上記第２のアーム部（４
２と第２の支持面（４７）との間隙は大に形成されてい
て、第２の支持面（４？）上にウェハ（１０を載置した
ままで、第１の支持体Ｃυが搬送方向に挿通自在になっ
ている。

次に案内機構Ｕにつき説明する。と、これは枠体６υと
３個の直線案内体６４．　Ｈ，６４Ｊとから構成され−
ている。枠体Ｇυは板状の基台部６ｅと、これの三方に
立設された板状の壁＠５？）、　Ｎ、　５９と、これら
の上面を覆う蓋部（６１とからなっていて、基台部（至
）の上面６υと蓋部−の下面Ｉ３とは種々な部材が取付
けられるようになっている。直線案内体６りは移動範囲
にわたって延在する固定側部材（５２ａ）と、これに。

例えば球体を介して移動自在に嵌って、固定側部材（５
２ａ）に案内される移動側部材（５２ｂ）とからなって
いて、固定側部材（５２ａ）は取付は面一上に搬送路ａ
Ｄと平行に取付けられている。そして移動側部材（５２
ｂ）　ｉとは第１の支持体ＣＩ）の端部が固定されてい
る。また直線案内体□□□は直線案内体＠と同様な構成
で、固定側部材（５３ａ）は取付は面ｆｉＩ）上に取付
けられていて、移動側部材（５３ｂ）には第２の支持体
翰の第２の内側支持部（６）の端部が取付けられている
。直線案内体（ロ）は固定側部材（５４ａ）が蓋部−の
下面６３１こ、直線案内体−の固定側部材（５３ａ）に
対向して取付けられている。そして移動側部材（５４ｂ
）　には第２の支持体１２２の第２のアーム部（４′ｌ
Ｊが取付けられている。

次に駆動機構−につき説明する。本機構（１旧ま上下に
平行に張られた可撓性部材１例えば＠製の上ワイヤ（６
５ａ）と下ワイヤ（６５ｂ）とで駆動するようになって
いる。すなわち、第１の支持体Ｑ１）が取付けられてい
る移動側部材（５２ｂ）には上ワイヤ（６５ａ）をその
張力の調節自在に保持する調節固定子（７１ａ）と、単
に上ワイヤ（６５ａ）を固定するだけの固定子（７２り
と、下ワイヤ（６５ｂ）のための調節固定子（７１ｂ）
と、固定子（７２ｂ）とが取付けられている。

また、移動側部材（５３ｂ）には下ワイヤ（６５ｂ）用
の固定子（７２ｂ）、　（７２ｂ）が取付けられていて
、移動側部材（５４ｂ）には上ワイヤ（６５り用の固定
子（７２ａ）。

（７２ａ）が取付けられている。さらにまた第１図右端
には取付板（７５を介して案内プーリａｂｉ、ａηとモ
ータσ樽が取付けられている。−万左端には町動板囮を
介して案内グーＩＪＯ９）１１が取付けられていて。

ワイヤ（６５ａ）、　（６５ｂ）の張力の調節ができる
。これら上ワイヤ（６５ａ）、下ワイヤ（６５ｂ）と各
移動側部材（５２ｂ）、　（ｓａｂ）、　（ｓ４ｂ）と
の関係は、まず移動側部材（５３ｂ）と同（５４ｂ）と
は全く重なった位置にあり、すなわち移動側部材（５２
ｂ）に対し全く同じ位置関係にある。また両移動側部材
（５３ｂ）、　（５４ｂ）と移動側部材（５２ｂ）との
間のワイヤ（６５ａ）、　（６５１１）　（７）長さは
１時計回りでも反時計回りでも全く等しく取付けられて
いる。なお１図示してないが移動側部材（５２ｂ）の左
右移動端にはセンサが取付けられていて、これにより停
止、駆動が行なわれる。

次に上述の構成の本実施例の作用につき説明する。最初
に可動板σ〜の移１ｂと、調節固定子（７１ａ）。

（７１ｂ）とにより上ワイヤ（６５ａ）　、下ワイヤ（
６５ｂ）の張力の調節をする。いま第１の支持体Ｃυと
第２の支持体（四とが最大離間位置にあり、ここを両端
の停止位置とすると、モータσ樟を駆動すると、ブーυ
σηにより上ワイヤ（６５ａ）　、下ワイヤ（６５ｂ）
が同時に１反時計回りに駆動されると、第１の支持体（
２１）は第１図左方に移動し、第２の支持体＠は右方に
移動する。これは例えば搬送路αηの長手方向中心位置
（７ａ）に関して全く対称に連動して移動することにな
る。そして中心位１ｉｔ（７ａ）においてすれ違うが、
第１の支持体Ｑυは、第２の支持体四の第２の内側支持
部（４Ｉ）と第２のアーム部（ハ）とが上下に十分離間
して取付けられているので、その間を通過し１両支持体
（２１）、■は何ら接触することなく。

交差する（すれ違う）ことができ、そのまま移動を続け
、それぞれ反対側の端部に至って同時に停止する。

次に上述の第１の実施例を組合わせて工程間搬送に実施
した場合を第２の実施例として示す。第３　図ＩＣオＩ
、１”’Ｃ，！１１１送装Ｒ（Ｘ）、　（Ｙ）、　（Ｚ
）　カ正方形ノ三辺を形成するように配置されていて、
第１ボジシＷ　ン（１０１）はウェハαＱのローディン
グおよびアンローディングを行なう受渡し部で、第２ポ
ジシ冒ン（１０２）は第１の処理部であり、第３ボジシ
■ン（１０３）は第２の処理部であり、第４ボジシ冒ン
（１０４）は最終処理部である。なお各ボジシ田ン（１
０１）〜（１０４）には第４図に示すような保持体（１
０６）が設けられている。これは上下動する管体（１０
７）の上部に吸着、釈放自在な真空チャック（１０８）
を設けて構成されている。例えばウニノ・傾を保持した
第１の支持体Ｉ２υが第２ボジシ璽ン（１０２）に来る
と、保持体（１０６）は上昇してウニノーＵＳを吸着保
持すると同時に、第１の支持体ＱυはウニノＳ傾を釈放
し、受渡しが行なわれる。この際吸着、保持の適切な切
替えの下に受渡しが行なわれるので１位置決め精度は維
持される。また処理は上述の保持体（１０６）にウェハ
傾を保持した状態で行なわれるが。

四−デイング、アンローディングは図示しない搬送機構
により行なわれる。

さて、今各第１の支持体（２２Ｘ）、　（２２ｙ）、　
（２２Ｋ）は各ボジシ曹ン（１０１）〜（１０４）の間
の中途部においてほぼ重なって待機していて、ボジシ璽
ン（１０１）にはローディングすべきウェハ（１１が載
置されており、各ボジシ１ン（１０２）〜（１０４）に
は処理ずみのウェハαｅ、・・・が保持体（１０６）に
それぞれ保持されているとする。そこでまず搬送装置（
Ｚ）を駆動し。

第１の支持体（２Ｃ）を第３ポジシ１ン（１０３）へ。

第２の支持体（２２Ｋ　）を第４ボジシ璽ン（１０４）
へ移動させる。ここでウェハαＱをそれぞれ第１．第２
の支持体（２Ｃ）、　（２２Ｋ）に移載し直ちに再び第
１゜第２の支持体（２１ｇ）、　（２２Ｋ）を反対側へ
移動させてウェハ〇を各保持体（１０６）に移載保持さ
せる。これにより最終処理を終ったウェハｔｔｅは第３
ボジシ箇ン（１０３）に移され、第３ボジシ嘗ン（１０
３）のウェハ翰は次の最終処理の第４ボジシ嘗ン（１０
４）に移されたこと番こなる。次に搬送装置（Ｙ）を駆
動して第３ポジシ嘗ン（１０３）のウェハ（ｌＬＩＥ２
ボジシ嘗ン（１０２）のウェハｔｔｏとを入れ換える。

次に搬送装置（Ｘ）を駆動して第２ポジシ１ン（１０２
）のウェハ翰ト第１ポジシｌン（１０１）のウェハ（１
１とを入れ換える。かくして未処理のウニノ・（Ｉｅｉ
がローディングされ処理ずみのウニノーｔｔｅがアン四
−ドされたことになる。このような操作を繰返して、矢
印（１１０）に示すようにウェハ（ｔｌ１９は搬送され
て行くことになる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明の搬送装置は第１の支持体
と第２の支持体とを交差自在に構成するとともに、互に
連動して対称に往復動するように構成したので搬送能率
が穫めで良く制御も簡単ですみ、また第１の支持体と第
２の支持体とを高さを違えて交差自在としたので搬送中
上下に回避させる必要がないので両支特体とも一平面に
沿った単純な移動となり直線案内体の精度をそのまま維
持して高精度な移動が可能であり、さらにまた支持面を
吸着、釈放自在とするとともに間隙を介して内側支持部
と外側支持部とを突出させて構成したので、吸着チャッ
クをもった受渡し装置の出入ができるから受渡しに際し
ても極めて位置決め、姿勢などに対する誤差を少なくす
ることができ、結局高精度の下に高能率な搬送ができる
効果がある。

なｔ本実節例においては、可撓性部材として鋼製ワイヤ
を用いたが、これに限定されず必要に応じて他の材質の
ものを用いてもよく、また直線案内体も３個使用したが
、これに限定されない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の要部破断平面図、第２
図は第１図のト１線に沿った断面図。 第３図は本発明の第２の実施例の平面図、第４図は同じ
く要部正面図、第５図〜第７図は従来例の説明図である
。 ａυ・・・支持移動機構、　　　α２・・・案内機構。 霞・・・駆動機構、（ｌ飢α＠・・・被搬送体（ウェハ
）。 α力・・・搬送路、　　　　　　（１７ａ）・・・所定
位置。 しυ・・・第１の支持体、　　　＠・・・第２の支持体
。 ０４）・・・一側方、０５１・・・第１の内側支持部。 （３）・・・他側方、Ｏｌ）・・・＠１の外側支持部。 （至）・・・第１の支持面、　　　！４１）・・・第２
の内側支持部。 （４４・・・第２の外側支持部、（４η・・・第２の支
持面。 ６湯・・・第１の直線案内体、　　（ト）・・・第２の
直線案内体。 ５４）・・・第３の直線案内体。 （６５り、　（６５ｂ）　−・・可撓性部材。 代理人　弁理士　　則　近　憲　佑 同　　　　　竹　花　喜久男 纂　２　口 多　升　ｇ 茅　３　口 算　５　囮 茅　乙　区

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）板状の被搬送体を搬送する搬送路の一側方から上
   記搬送路に突出する第１の内側支持部および上記搬送路
   の他側方から上記搬送路に突出して上記第１の内側支持
   部に離間対向した第１の外側支持部を有し上記両支持部
   の上面を吸着釈放自在な第１の支持面とし移動自在に支
   持された第１の支持体と、上記一側方または他側方から
   上記搬送路に突出する第２の内側支持部およびこれと反
   対の側方から上記搬送路に突出し上記第２の内側支持部
   に離間対向した第２の外側支持部を有し上記第２の内側
   支持部および第２の外側支持部の上面を吸着釈放自在な
   第２の支持面としかつ上記第２の内側支持部および第２
   の外側支持部は上記第１の支持体の対応各部と搬送路上
   で高さを異にして移動自在に支持され互に交差自在に移
   動する第２の支持体と、上記一側方に搬送路に平行に設
   けられて上記第１の支持体を移動自在に支持し一平面に
   平行に案内する一方の直線案内体および上記一側方また
   は上記他側方に上記直線案内体と平行に設けられて上記
   第２の支持体を移動自在に支持し一平面に平行に案内す
   る他方の直線案内体を有する案内機構と、上記第１の支
   持体および上記第２の支持体を連動して互に反対方向に
   対称に移動させる駆動機構とを具備したことを特徴とす
   る搬送装置。
2. （２）案内機構は搬送路に平行に設けられた第１の直線
   案内体と、この直線案内体と上記搬送路との間に設けら
   れた第２の直線案内体と、この直線案内体の上方に対向
   して設けられた第３の直線案内体とを有し、第１の直線
   案内体で第１の支持体を移動自在に支持し第２の直線案
   内体で第２の支持体の第２の内側支持部を移動自在に支
   持し第３の直線案内体で第２の支持体の第２の外側支持
   部を移動自在に支持することを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の搬送装置。
3. （３）駆動機構は可撓性部材を用いて第１の支持体の移
   動を第２の支持体に伝達することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項または第２項記載の搬送装置。