JPS6266544A

JPS6266544A - 回転陽極形ｘ線管装置

Info

Publication number: JPS6266544A
Application number: JP20513285A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Oosugi; 大杉　泰; Yukihiro Hayashi; 林　幸博
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1985-09-17
Filing date: 1985-09-17
Publication date: 1987-03-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、回転陽挿形Ｘ線管の分野で利用される。

本発明は、回転陽極部を構成するターゲット円盤の直径
が大きいものについてのＸ線管装置に関する。

（ロ）従来技術併来例を第３図により示している。　　１は真空外囲器
、２は陰極、３は回転陽極を構成するターゲット、４は
回転子、５は軸受固定部、６は誘導モータである。

図示のように、真空外囲器１内に陰極２とターゲット３
とが対向して配置され、ターゲット３は回転子４に接続
されて、図示しない軸受を介して軸受固定部５と電気的
かつｕ的に接続されている。　軸受固定部５の端部は、
真空外囲器１と気密に封着され、その内部の真空を保持
する。

また、陽極のターゲット３を回転させるため、真空外囲
器１の端部外側面に、回転子４の側面と対向させて誘導
モータ６を隔設して誘導磁界により、回転子４を、そし
てターゲット３を回転させる。

（ハ）発明が解決しようとする問題点ところで、加熱されるターゲットの放熱ないし冷ジ化の
ため、ターゲットの大形化が提案されているが、前記し
た従来例の構造のｉｔでターゲットを大形化する場合、
真空外囲器も半径方向に大きくする必要かあり、その際
真空外囲器にガラスを用いると、陰極側と陽極側の略同
錐面部分もほぼ同じ傾斜で強腐化成形する必要があり、
真空外囲器全体が大形化してしまう問題がある。

そこで、本発明の目的は、ターゲットを大形ｆヒする際
に、真空外囲器をそのまま大形化しなくて、とくにター
ゲットの回転軸方向の長さを大幅に涯小させるようにし
た回転陽極形Ｘ線管装置を提供することである。

（ニ）間Ｍ克を解決するだめの手段前記しまた目的は、陽極部を構成するターゲット円盤が
軸受けを介して軸受固定部上で回転自在に支持されてお
り、少なくとも１つの直線誘導モータか真空外囲器を介
してターゲット円盤を直接回転動作させ、その際真空外
囲器は回転軸方向にその長さを縮限させることにより、
達成できる。

（ホ）作用従来例では、回転軸方向に長い形状の回転子を介してタ
ーゲットが回転していた点に９着目して、この回転子を
除去して、ターゲットか直接軸受けを介して軸受固定部
の乗り、回転自在の状態で直線誘導モータにより回転駆
動されるようにしている。　従って、真空外囲器の回転
軸方向の長さは、軸受は固定部の長さ程に縮限できる。

（へ）実施例本発明の好適な実施例は、第１図と第２図とに基づいて
説明される。

第１図はその実施例を示している植Ｉ８１？断面図であ
り、第２図は他の実施例を示している一部切欠きの第１
図同様図である。

ここで、１ａは真空外囲器であり、上下に大きく横幅が
小さくなっている。　２ａは陰極、３ａは直径を大きく
した大形のターゲットである。

第３図との対比により解るように、本発明ではターゲッ
ト駆動回転用の回転子は存在しない。

ターゲットないしターゲット円”Ｊ３ａは、軸受け７を
介し軸受固定部５ａに接続され、回転自在の状態にある
。

これらの実施例では、軸受はマへの熱伝導を減少させΦ
力作温度を下げるため、懸絶線材８をターゲット３と軸
受け７との間に円筒状でろう接或いは、富接により挿着
している。

なお、熱絶糸ぷ部材８に、好ましくはセラミックが用い
られ、導電性を持たせるため、陰極２ａと対向している
ターゲラ）３ａの反対側面における絶縁材円筒露出面に
近傍も含めて導電被膜９が付着されている。

導電被膜９は、蒸着・スパッタ・イオンブレーティング
により、チタン、バナジウム、ジルコニウム、タングヌ
テン、モリブデン金鳳或いはこれらの酸化物、窒化物か
単体或いは復台部で構成されている。

ターゲラ）３ａは、真空外囲器１ａを介して外側かＩ−
）直線誘導モータにより回転される。　図示例では、モ
ータ１台を示しているが、必要により複数台を設ける。

第２図の実施例では、軸受は固定部５ｂは軸受け７を両
持ちで固定し・、真空外囲器１ａの両側で気田接続され
ている。　その地の横絞は、第１図の実施例と変らない
。

（ト）効　果本発明によれば、ターゲット円盤を重心で支えるため揺
れが少なく回転が安定しており、モータも薄型のものが
使用でき、なによりも大小任意のターゲット寸法に対し
真空外囲器が全体として必要最小限の容積で設計される
という効果が奏される。

１．１ａは真空外囲器、２．２ａは陰極、３．３ａはタ
ーゲット、４は回転子、５．５ａは軸受固定部、６ａは
直線誘導モータ、■は軸受けである。

特許出願人　株式会社　島津製作所第１　図手続補正書（６尺９１、事件の表示　　　特僚酬６０−２０５１３２２、発
明の名称　　　回転陽極形Ｘ線管装置３、補正をする者事件との関係　　特許出願人住　所　京都市中京区河原町通二条下ルーツ船入町３７
８番地名　称　　　　（１９９）株式会社　島渾製作所
代表者　　　横　地　開　男４、代理人　〒５３２電０６−３０５−４０３３明細書
６頁１２行目に、

【図面の簡単な説明】

Claims

【特許請求の範囲】

（１）陽極部を構成するターゲット円盤が軸受けを介し
て軸受固定部上で回転自在に支持されており、少なくと
も１つの直線誘導モータが真空外囲器を介してターゲッ
ト円盤を直接回転動作させるようにしていることを特徴
とする、回転陽極形Ｘ線管装置。
（２）熱絶縁材が軸受け装着付近のターゲット円盤に挿
着されていることを特徴とする、特許請求の範囲第１項
に記載の回転陽極形Ｘ線管装置。
（３）陰極と対向しない側のターゲット円盤側面におけ
る熱絶縁材露出面が導電被膜されていることを特徴とす
る、特許請求の範囲第２項に記載の回転陽極形Ｘ線管装
置。