JPS6263442A

JPS6263442A - ウエハ移載装置

Info

Publication number: JPS6263442A
Application number: JP20385785A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Anraku; 安楽　一宏; Tomohiro Satou; 佐藤　奉弘; Masao Yoshihashi; 吉橋　正夫
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1985-09-14
Filing date: 1985-09-14
Publication date: 1987-03-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はウェハをカセットからカセットへ移載するウェ
ハ移載装置に関するものである。

（従来の技術）従来、ウェハをカセットからカセットへ移載する場合に
は垂直にセットされたカセットから垂直にセントされた
カセットへ無端ベルトなどの搬送機構を用いてカセット
に対して水平にウェハの移載を行うようにしている。

第７図はこの種のウェハ移′ａ、装置の側断面図、第８
図は第７図の■−■′線断面図である。

図中、ｌａ、ｌｂはカセットであり、ウェハを水平に支
持する複数の棚が設けられている。２はカセットに収納
されるウェハ、３はモータ等の駆動袋Ｗｔ、（図示なし
）によって駆動されるプーリ、４はプーリ間に張設され
る無端ベルトである。ここで、カセット１ａと１ｂは連
動し、同期をとって同一ビノチで互いに逆方向に上昇、
下降を行うように駆動される。また、プーリ３を回転す
ることにより、無端ベルト４が移動する搬送機構となっ
ている。

そこで、カセット１ａの棚に水平に収納されているウェ
ハ２をカセット１ｂへ移載する場合、無端ベルト４を移
動させ、カセソ）ｌａを下降してそのカセット１ａに収
納されているウェハを無端ベルト４へ載置してカセット
１ｂへ向けて移動させる。一方、カセット１ｂにおいて
は、そのカセソ）Ｉｂを上昇させ、運ばれてきたウェハ
２をその棚に収納する。即ち、ウェハ２はカセット１ａ
より取り出され無端ベルト４によって水平に移動させる
ことにより、搬送され、カセット１ｂに収納される。こ
の動作を順次繰り返すことにより、カセットｌａ内に収
納されているウェハ２をカセ、／ト１ｂ内に移載するよ
うにしている。

なお、これらの従来技術としては特開昭５９−５２８４
５号公報、特開昭５７−１５７５３６号公報などが挙げ
られる。

一方、最近、縦型の拡散炉などでウェハの脱落防止やガ
スの流れを良好にするために、ウェハはカセットに斜め
に収納することが望ましく、それを具体化した装置が増
加してきている。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、従来のウェハの搬送機構においては、上
記したようにウェハはカセット内に水平に収納されてい
る場合には移載できるが、ウェハがカセットに斜めに収
納されたカセットがら或いはカセットへのウェハの受は
渡しは困難であるといった問題があった。

本発明は、上記問題点を除去するために、斜めに収納さ
れているカセットがら或いはカセットへのウェハの受は
渡しを円滑、かつ確実に行い得るウェハ移載装置を提供
することを目的としている。

（問題点を解決するための手段）本発明は、上記問題点を解決するために、ウェハをカセ
ットからカセットへ移載するウェハ移載装置において、
ウェハは搬入搬出側が上向きになるように傾斜させて収
納するようにし、該ウェハの傾斜角度に対応するように
搬送機構のウェハ移載部の角度を調整できるようにした
ものである。

（作用）本発明によれば、搬送機構のウェハ移載部はウェハのカ
セットに対する傾斜角度に対応するように角度を調整す
ることができるので、カセットに収納されているウェハ
を無端ベルトなどの搬送機構へ円滑に載置させることが
できる。

（実施例）以下、本発明の実施例について図面に基づいて詳細に説
明する。

第１図は本発明に係るウェハ移載装置の全体概略構成図
、第２図はその平面図、第３図は石英ボートの斜視図、
第４図は第３図のＴＶ−ｆＶ　’線断面図、第５図はウ
ェハ搬送機構の構成図、第６図は第５図のＡ部分平面図
である。

これらの図において、１０は縦型の炉体部、１１は縦型
炉、１２はカセットとしての石英ボート、１３はこの石
英ボートに収納されるウェハ、１４は石英ボートを縦型
炉に挿入するための引っ掛は棒、１５は石英ボー目２を
移送する移送腕であり、引っ掛は棒１４を介して石英ボ
ート１２を吊り下げ昇降及び回転運動を行い、縦型炉１
１へ搬送又は搬出する。即ち、ウェハ１３に対して酸化
、拡散などの処理を施す場合、ウェハ１３を収納した石
英ボート１２を縦型炉側に回転させ（点線状態）、次に
、下降させることにより、縦型炉内に挿入する。挿入さ
れた石英ボート１２はガスの流れ及び断面の均熱化を良
好にするために、縦型炉１１内で引っ掛は棒１４を自転
させることにより、石英ボート１２を回転させる。

この場合、ウェハ１３が石英ボート１２に水平に収納さ
れているとそのウェハ１３が石英ボート１２から脱落し
易い。これを防止するために、通常石英ボート１２には
ウェハの搬入搬出方向に向かって３度〜１０度上向きの
溝が形成されており、ウェハ１３はこの溝で支持される
。つまり、ウェハ１３は石英ボート１２に対して斜めに
収納されることになる。

炉内で一定時間放置され、処理が終了したウェハＩ３は
引っ掛は棒１４を上昇させることにより炉内より移載部
へ搬送される。

２０は移載部であり、２１は移送腕１５の軸を中心とし
た炉芯Ｂと同心円上に中心Ｃを持つステージを有し、石
英ボー目２を保持し、かつ、上昇、下降が可能なボート
ローダである。

２２はカセットとしてのウェハ洗浄用キャリア（以下、
キャリアという）であり、熱処理されたウェハ１３の洗
浄を行うために用いる。２３はキャリア２２を保持し、
かつ上昇、下降することができるボートローダである。

ここで、ボートローダ２１及び２３は石英ボート１２が
１ピツチ下降した時にキャリア２２を１ピツチ上昇させ
る。上記したボートローダは一般的に用いられているも
のを採用することができ、また、キャリア２２は図示し
ないが一般に用いられるウェハ収納溝が形成された複数
の棚が配設されるものである。なお、この種のキャリア
としては、例えば、特公昭５３−３８５９１号公報。

実公昭５２−４９９７９号公報などが挙げられる。

ここで、石英ボートの構成について第３図及び第４図を
用いて説明する。

１１１は上部板、１２−２は底板、１２−３は上部板１
２−１と底板１２−２間に設けられウェハを収納する溝
が形成される支柱である。１２−４は引っ掛は棒１４の
先端が係合する係止部である。ここで、支柱１２−３は
、例えば、同一円周上であって半円周側に４本植設する
。そして、この支柱に設けられるウェハ収納用溝はウェ
ハが搬入搬出される側を上向きにして傾斜するよう形成
される。従って、この石英ボート１２に収納されるウェ
ハ１３は搬入搬出側が上向きになるように傾斜した状態
に収納される。

次に、このウェハの搬送機構について、第５図及び第６
図を参照しながら説明する。

３１はシリコン又はフッ素ゴムから成るＯリング状のベ
ルト、３２はモータ及び駆動側ブーりの支持・体、３３
はモータ、３４はモータからの動力を駆動側プーリへ伝
達するベルト、３５は駆動側プーリ、３Ｇは従動ブーり
を支持すると共にその位置を調整可能な支持部材、３７
はその支持部材３６に形成される調整用ガイド穴、３８
は第１の従動プーリ、３９は第２の従動プーリ、４０は
これらの従動プーリ３８及び３９を支持する睨、４１は
腕４０に取り付けられる位置調整軸である。

このウェハ搬送機構の駆動部はＡ部として第６図に示さ
れている。

この図に示されるように、前記したＯリング状の無端ベ
ルトが両側に張架され、モータ３３からの動力は駆動側
のプーリ３５に伝達され、更に、このプーリ３５の駆動
によって従動プーリ３８及び３９が駆動される。

このウェハ搬送機構はカセットから或いはカセットへの
ウェハの移載部の構成に特徴を有している。即ち、第１
の従動プーリ３８及び第２の従動プーリ３９はその位置
が調整可能に構成されている。

この実施例では、支持部材３６に係合する調整用ガイド
穴３７を設けておき、腕４０に設けられる位置調整軸４
１の保合位置を調整できるようにしている。

即ち、位置調整軸４１の位置が決まると締め付は部材（
図示なし）にて、その位置を固定するように構成する。

例えば、第１の従動プーリ３８の位置を下げたい場合は
位置調整軸４１の締め付は部材をゆるめて位置調整軸４
１の位置を下方に下げると共に腕４０を反時計方向に回
転して第１及び第２の従動プーリと無端ベルト３１との
保合を緊密になるようにする。、調整が終わると位置調
整軸４１を締め付は部材にて固定する。

次に、ウェハ搬送機構の他の実施例を第９図に基づいて
説明する。

この実施例の特徴点は、補助プーリ４４を付加してウェ
ハの移載部における第１の従動プーリ４３はその直径を
小さくできるるようにしたものである。

４２は支持板、４５は第２の従動ブーりである。

なお、ウェハの移載部は上記実施例によれば、無端ベル
トとなっているが、これに代えて真空チャック或いはエ
アフィーダとすることもできる。

その場合には真空チャックの場合は吸気口、エアフィー
ダの場合はエアーロのそれぞれの設定角度をジャバラな
どを用いてウェハの傾斜角度に対応するように調整する
ように構成することができる。

また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果）以上詳細に説明したように、本発明によれば、ウェハを
搬送機構によってカセットからカセットへ移載するウェ
ハ移載装置において、前記ウニ／％の少なくとも一方は
カセットのウェハ搬人搬出側を上向きに傾斜させて収納
し、該ウェハの傾斜角度に対応して前記搬送機構のウェ
ハ移載部に角度を調整可能な角度調整手段を具備するよ
うにしたので、ウェハが傾斜をもって収納されているカ
セットからそのウェハを他のカセットへ円滑に、かつ確
実に移載することができる。

また、ウェハの移載部の先端に設けられる従動ブーりの
径を小さくする場合には制約された狭い箇所においても
十分にウェハの移載を行わせることができる。

このように本発明によれば、簡単な構成にもかかわらず
、それによってもたらされる効果は大きいものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェハ移ｉ！装置の全体概略構成
図、第２図は同ウェハ移載装置の全体概略平面図、第３
図は石英ボートの斜視図、第４図は第３図ＩＶ−ＩＶ　
’線断面図、第５図は本発明のウェハ搬送機構の構成図
、第６図は第５図のＡ部平面図、第７図は従来のウェハ
移載装置の側断面図、第８図は第７図の■−■′線断面
図、第９図ば本発明の他の実施例のウェハ搬送機構の構
成図である。１２・・・石英ボート（カセット）、１３・・・ウェハ
、２１゜２３・・・ボートローダ、２２・・・ウェハ洗
浄用キャリア（カセッ））、３０・・・ウェハ搬送機構
、３１・・・無端ベルト、３２・・・支持体、３３・・
・モータ、３４・・・駆動用ベルト、３５・・・駆動側
のプーリ、３６・・・支持部材、３７・・・調整用ガイ
ド穴、３８．４３・・・第１の従動プーリ、３９゜４５
・・・第２の従動プーリ、４０・・・腕、４１・・・位
置調整軸、４２・・・支持板、４３・・・小径従動プー
リ、４４・・・補助プーリ。特許出願人　沖電気工業株式会社代　理　人　　弁理士　清　　水　　　守／２−石徒ヰ
〉ト（カセット）同ウェハ移載装置の全憫Ｉ既酔千面図第２図石英ボートの剣ｑ地第３図築３図Ｎ−Ｎ幀血図第４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェハを搬送機構によってカセットからカセット
へ移載するウェハ移載装置において、前記ウェハの少な
くとも一方はカセットのウェハ搬入搬出側を上向きに傾
斜させて収納し、該ウェハの傾斜角度に対応して前記搬
送機構のウェハ移載部に角度を調整可能な角度調整手段
を具備するようにしたことを特徴とするウェハ移載装置
。
（２）前記カセットはボート及び洗浄用キャリアを含む
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェハ移
載装置。