JPS6260870A - クラツカ−セル - Google Patents
クラツカ−セルInfo
- Publication number
- JPS6260870A JPS6260870A JP20026285A JP20026285A JPS6260870A JP S6260870 A JPS6260870 A JP S6260870A JP 20026285 A JP20026285 A JP 20026285A JP 20026285 A JP20026285 A JP 20026285A JP S6260870 A JPS6260870 A JP S6260870A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cracking
- heater
- cracker cell
- cracker
- cell
- Prior art date
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- Pending
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は、例えば分子線エピタキシー（ＭＢＥ）装置
、有機金属を用いた分子線エピタキシー（ＭＯ−ＭＢＥ
）装置等に用いられて、ソースからの分子をクラッキン
グするクラッカーセルに関する。
、有機金属を用いた分子線エピタキシー（ＭＯ−ＭＢＥ
）装置等に用いられて、ソースからの分子をクラッキン
グするクラッカーセルに関する。
第２図は、従来のクラッカーセル付分子線源の一例を示
す概略断面図である。蒸発源物質を収納するるつぼ２、
るつぼ２加熱用のヒータ４、熱シールド板６．８及びる
つぼ２の温度検出用熱電対１０等から成る分子線源１２
の蒸気噴出口に、光学的に非直線状のクラッキング部１
６、クラッキング部１６加熱用のヒータ１８、熱シール
ド板２０及びクラッキング部１６の温度検出用熱電対２
２等から成るクラッカーセル２４が設けられている。ク
ラッキング部１６は、例えばグラファイト、石英、ＰＢ
Ｎ （パイロリティックポロンナイトライド）等から成
る。１４は、分子線源ｔ２とクラッカーセル２４との熱
の干渉を防ぐための熱シールド板である。
す概略断面図である。蒸発源物質を収納するるつぼ２、
るつぼ２加熱用のヒータ４、熱シールド板６．８及びる
つぼ２の温度検出用熱電対１０等から成る分子線源１２
の蒸気噴出口に、光学的に非直線状のクラッキング部１
６、クラッキング部１６加熱用のヒータ１８、熱シール
ド板２０及びクラッキング部１６の温度検出用熱電対２
２等から成るクラッカーセル２４が設けられている。ク
ラッキング部１６は、例えばグラファイト、石英、ＰＢ
Ｎ （パイロリティックポロンナイトライド）等から成
る。１４は、分子線源ｔ２とクラッカーセル２４との熱
の干渉を防ぐための熱シールド板である。
動作を説明すると、るつぼ２に蒸発源物質として例えば
■族元素（ヒ素、リン、アンチモン等）を入れてヒータ
４によって加熱して蒸発させると、蒸発粒子の大半はテ
トラ７（Ａ Ｓ ４、Ｐ４、Ｓｂ４等）の形になる。こ
れがヒータ１Ｂによって加熱されたクラッキング部１６
に入りその壁に当たると、テトラ７は壁から熱エネルギ
ーを得てダイ７（Ａ ｓ ｚ、ｐ２、Ｓｂ２等）にクラ
ッキング（熱分解）される。
■族元素（ヒ素、リン、アンチモン等）を入れてヒータ
４によって加熱して蒸発させると、蒸発粒子の大半はテ
トラ７（Ａ Ｓ ４、Ｐ４、Ｓｂ４等）の形になる。こ
れがヒータ１Ｂによって加熱されたクラッキング部１６
に入りその壁に当たると、テトラ７は壁から熱エネルギ
ーを得てダイ７（Ａ ｓ ｚ、ｐ２、Ｓｂ２等）にクラ
ッキング（熱分解）される。
ところが上述のようなタラツカ−セル２４においては、
クラッキング部１６をヒータ１８を介して加熱するため
、加熱効率が悪く、またクラ・７キング部１６よりヒー
タ１８の温度が必然的に高くなるためヒータ１８から不
純なガスが放出され易いという問題がある。
クラッキング部１６をヒータ１８を介して加熱するため
、加熱効率が悪く、またクラ・７キング部１６よりヒー
タ１８の温度が必然的に高くなるためヒータ１８から不
純なガスが放出され易いという問題がある。
そこでこの発明は、このような問題点を解決することが
できるクラッカーセルを提供することを目的とする。
できるクラッカーセルを提供することを目的とする。
この発明のクラッカーセルは、クラッキング部を高融点
金属から成り光学的に非直線状の筒で形成し、かつ当該
クラッキング部に電流を流すことによりそれ自身がヒー
タとなるようにしたことを特徴とする。
金属から成り光学的に非直線状の筒で形成し、かつ当該
クラッキング部に電流を流すことによりそれ自身がヒー
タとなるようにしたことを特徴とする。
クラッキング部に電流を流すと、それ自身がヒータとな
って加熱される。従ってその壁に分子が当たるとクラッ
キングされる。この場合、クラブキング部自身がヒータ
になるため、加熱効率が良く、しかも最高温度部の温度
が抑えられるため不純なガス放出も抑制される。また構
造も面素化される。
って加熱される。従ってその壁に分子が当たるとクラッ
キングされる。この場合、クラブキング部自身がヒータ
になるため、加熱効率が良く、しかも最高温度部の温度
が抑えられるため不純なガス放出も抑制される。また構
造も面素化される。
第１図は、この発明の一実施例に係るクラッカーセルを
有するクラッカーセル付分子ｍｓの一例を示す概略断面
図である。第２図と同等部分には同一符号を付してその
説明を省略する。
有するクラッカーセル付分子ｍｓの一例を示す概略断面
図である。第２図と同等部分には同一符号を付してその
説明を省略する。
このクラッカーセル付分子線源においては、クラッカー
セル３２のクラッキング部２６を、高融点金属から成り
光学的に非直線状の筒で形成し、かつ当該クラッキング
部２６に電流を流すことによりそれ自身がヒータとなる
ようにしている。クラッキング部２６への電流の供給は
、例えばその両端に取り付けた電流導入線２８．３０を
介して行う。
セル３２のクラッキング部２６を、高融点金属から成り
光学的に非直線状の筒で形成し、かつ当該クラッキング
部２６に電流を流すことによりそれ自身がヒータとなる
ようにしている。クラッキング部２６への電流の供給は
、例えばその両端に取り付けた電流導入線２８．３０を
介して行う。
クラッキング部２６を形成する高融点金属としては、例
えばタンタル、モリブデン、タングステン等が採り得る
。
えばタンタル、モリブデン、タングステン等が採り得る
。
クラッキング部２６を成す筒の形状としては、例えば円
筒、角筒等が採り得る。
筒、角筒等が採り得る。
クラッキング部２６の光学的に非直線の形状としては、
例えば図のようならせん状、あるいはジグザグ状等が採
り得る。
例えば図のようならせん状、あるいはジグザグ状等が採
り得る。
上記クラッカーセル３２においては、電流導入線２８．
３０を介してクラッキング部２６に電流を流すと、当該
クラッキング部２６自身がヒータとなって加熱される。
３０を介してクラッキング部２６に電流を流すと、当該
クラッキング部２６自身がヒータとなって加熱される。
その場合、従来の場合もそうであるけれども、るつぼ２
の温度Ｔ１とクラッキング部２６の温度Ｔ２との関係は
、ＴＩ ＜Ｔ２とされる。そして分子線源１２からの蒸
発粒子は、クラッキング部２６が光学的に非直線状をし
ているため、クラッキング部２６の壁面に当たってそこ
から熱エネルギーを与えられる。これによって、蒸発粒
子中のテトラマはダイ７にクラッキングされる。
の温度Ｔ１とクラッキング部２６の温度Ｔ２との関係は
、ＴＩ ＜Ｔ２とされる。そして分子線源１２からの蒸
発粒子は、クラッキング部２６が光学的に非直線状をし
ているため、クラッキング部２６の壁面に当たってそこ
から熱エネルギーを与えられる。これによって、蒸発粒
子中のテトラマはダイ７にクラッキングされる。
その場合、第２図のタラツカ−セル２４においては、ヒ
ータ１８からの輻射によりクラッキング部１６が加熱さ
れるため、例えばクラッキング部１６の温度を１０００
℃にするには、ヒータ１８は１０００°Ｃ以上になるこ
とが必要であるけれども、このタラツカ−セル３２にお
いてはクラッキング部２６自身がヒータであるため、当
Ｊ亥タラソキング部２６以外が１０００°Ｃ以上になる
ようなことはない。そのためこのクラッカーセル３２は
、従来のクラッカーセル２４より加熱効率が良く、しか
も最高温度部の温度が抑えられるため不純なガス放出も
抑制される。またヒータを別個に設ける必要がないので
、構造も面素化される。
ータ１８からの輻射によりクラッキング部１６が加熱さ
れるため、例えばクラッキング部１６の温度を１０００
℃にするには、ヒータ１８は１０００°Ｃ以上になるこ
とが必要であるけれども、このタラツカ−セル３２にお
いてはクラッキング部２６自身がヒータであるため、当
Ｊ亥タラソキング部２６以外が１０００°Ｃ以上になる
ようなことはない。そのためこのクラッカーセル３２は
、従来のクラッカーセル２４より加熱効率が良く、しか
も最高温度部の温度が抑えられるため不純なガス放出も
抑制される。またヒータを別個に設ける必要がないので
、構造も面素化される。
尚、上においてはこの発明に係るクラッカーセルを分子
線エピタキシー装置用のクラッカーセル付分子線源を例
に説明したけれども、この発明に係るクラッカーセルは
それ以外の場合、例えば有機金属を用いた分子線エピタ
キシー装置におけるガスソースのクラッキングにも適用
することができる。その場合はクラッキング部２６に直
接アルシン（ＡＳＨ３）等のガスソースを供給すれば良
い。特に、アルシンガスのクラッキングにおいては、タ
ンタルが触媒の働きをしてクラッキング効率を上げると
いう報告があるため、その場合はクラッキング部２６は
タンタルで形成するのが好ましい。
線エピタキシー装置用のクラッカーセル付分子線源を例
に説明したけれども、この発明に係るクラッカーセルは
それ以外の場合、例えば有機金属を用いた分子線エピタ
キシー装置におけるガスソースのクラッキングにも適用
することができる。その場合はクラッキング部２６に直
接アルシン（ＡＳＨ３）等のガスソースを供給すれば良
い。特に、アルシンガスのクラッキングにおいては、タ
ンタルが触媒の働きをしてクラッキング効率を上げると
いう報告があるため、その場合はクラッキング部２６は
タンタルで形成するのが好ましい。
以上のようにこの発明によれば、加熱効率が良く、しか
も不純なガス放出を抑制することができる。また構造も
簡素化される。
も不純なガス放出を抑制することができる。また構造も
簡素化される。
第１図は、この発明の一実施例に係るクラッカーセルを
有するクラッカーセル付分子線源の一例を示す概略断面
図である。第２図は、従来のクラッカーセル付分子線源
の一例を示す概略断面図である。
有するクラッカーセル付分子線源の一例を示す概略断面
図である。第２図は、従来のクラッカーセル付分子線源
の一例を示す概略断面図である。
Claims (1)
- （１）クラッキング部を高融点金属から成り光学的に非
直線状の筒で形成し、かつ当該クラッキング部に電流を
流すことによりそれ自身がヒータとなるようにしたこと
を特徴とするクラッカーセル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20026285A JPS6260870A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | クラツカ−セル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20026285A JPS6260870A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | クラツカ−セル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6260870A true JPS6260870A (ja) | 1987-03-17 |
Family
ID=16421419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20026285A Pending JPS6260870A (ja) | 1985-09-10 | 1985-09-10 | クラツカ−セル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6260870A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006170608A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Lg Electronics Inc | 空気調和機の熱交換器 |
-
1985
- 1985-09-10 JP JP20026285A patent/JPS6260870A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006170608A (ja) * | 2004-12-15 | 2006-06-29 | Lg Electronics Inc | 空気調和機の熱交換器 |
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