JPS6258619A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
- Publication number
- JPS6258619A JPS6258619A JP19807385A JP19807385A JPS6258619A JP S6258619 A JPS6258619 A JP S6258619A JP 19807385 A JP19807385 A JP 19807385A JP 19807385 A JP19807385 A JP 19807385A JP S6258619 A JPS6258619 A JP S6258619A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- heat treatment
- gas
- furnace core
- block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体製造工程において使用される熱処理装置
に関する。
に関する。
従来の技術
従来、この種の熱処理装置は第７図に示すよう構成され
ている。１は炉心管、２は発熱体、３はウェハ、４はウ
ェハ３を支持するボート型冶具、５は炉心管１へのガス
流入口、Ｇはガスの流れを示す。
ている。１は炉心管、２は発熱体、３はウェハ、４はウ
ェハ３を支持するボート型冶具、５は炉心管１へのガス
流入口、Ｇはガスの流れを示す。
発明が解決しようとする問題点
第７図に示す従来の構成では、均熱長りを長くする必要
上、ウェハ３の直径が大きくなって炉心管１の径が大き
くなると炉心管１の長さも長くなる。例えば、ウェハ３
の直径が２倍になると炉心管１の内容積は４倍以上にな
る。その結果５炉心管１内のガスの入れかわりには、そ
れまでの４倍以上の時間を要する。
上、ウェハ３の直径が大きくなって炉心管１の径が大き
くなると炉心管１の長さも長くなる。例えば、ウェハ３
の直径が２倍になると炉心管１の内容積は４倍以上にな
る。その結果５炉心管１内のガスの入れかわりには、そ
れまでの４倍以上の時間を要する。
このように、従来の熱処理装置ではウェハ３の直径が大
きくなって炉心管１が大きくなるに従って同時処理され
るウェハ３間の熱処理の程度のばらつきが大きくなる問
題がある。
きくなって炉心管１が大きくなるに従って同時処理され
るウェハ３間の熱処理の程度のばらつきが大きくなる問
題がある。
本発明は炉心管１内のガスの入れ替わりを短時間で行な
え、同時処理されるウェハ３間の熱処理の程度のばらつ
きを小さくできる熱処理装置を堤供することを目的とす
る。
え、同時処理されるウェハ３間の熱処理の程度のばらつ
きを小さくできる熱処理装置を堤供することを目的とす
る。
問題点を解決するための手段
本発明の熱処理装置は、炉心管のガス流入入口側端部の
内側に炉心管有効内容ｖｃ減少用の突部を設けたことを
特徴とする。
内側に炉心管有効内容ｖｃ減少用の突部を設けたことを
特徴とする。
作用
この構成によると、炉心管の内側に突部を設けたため、
この突部の容積分だけ炉心管の内容積を減少させること
が出来、炉心管内のガスの入れかわりに要する時間を短
くできる。
この突部の容積分だけ炉心管の内容積を減少させること
が出来、炉心管内のガスの入れかわりに要する時間を短
くできる。
実施例
以下、本発明の第１〜第６の実施例を第１図〜第６図に
基づいて説明する。なお、第７図の従来例と同様の作用
を成すものには同一符号を付けてその説明を省く。
基づいて説明する。なお、第７図の従来例と同様の作用
を成すものには同一符号を付けてその説明を省く。
第１図は第１の実施例を示し、炉心管１のガス流入口５
側の端部内側に突部としてのブロック６を固定した点が
第７図とは異なる。ブロック６は炉心管１と同じ材料で
、中空体の中央通路７を介してガス流入口５からのガス
がウェハ３へ流れる。
側の端部内側に突部としてのブロック６を固定した点が
第７図とは異なる。ブロック６は炉心管１と同じ材料で
、中空体の中央通路７を介してガス流入口５からのガス
がウェハ３へ流れる。
このように構成したため、熱処理中に炉心管１内のガス
雰囲気を入れ替える際に、炉心管１の有効内容積は従来
に比へてブロック６の容積分だけ少なくなっているため
、従来よりも短時間で入れ替えすることが出来、同時処
理のウェハ３間の熱処理の程度のばらつきを低減できる
。
雰囲気を入れ替える際に、炉心管１の有効内容積は従来
に比へてブロック６の容積分だけ少なくなっているため
、従来よりも短時間で入れ替えすることが出来、同時処
理のウェハ３間の熱処理の程度のばらつきを低減できる
。
第２図〜第６図はそれぞれブロック６のガス流入口端８
の周辺の形状を変更してガスの流れＧに差をつけた第２
〜第６の実施例を示す。特に第３図と第４図ではブロッ
ク６の中央だけでなくてブロック６と炉心管１の内周面
との間からガスがウェハ３側へ流れる。また、第５図で
は炉心管１の内周面とブロック６との間からウェハ３側
へガスが流れる。第２〜第６の何れの実施例においても
ブロック６の容積分だけ炉心管１の有効内容積が減少し
て短時間でガスを入れ替えることが出来る。
の周辺の形状を変更してガスの流れＧに差をつけた第２
〜第６の実施例を示す。特に第３図と第４図ではブロッ
ク６の中央だけでなくてブロック６と炉心管１の内周面
との間からガスがウェハ３側へ流れる。また、第５図で
は炉心管１の内周面とブロック６との間からウェハ３側
へガスが流れる。第２〜第６の何れの実施例においても
ブロック６の容積分だけ炉心管１の有効内容積が減少し
て短時間でガスを入れ替えることが出来る。
発明の詳細
な説明のように本発明の熱処理装置は、炉心管に突部を
設けて有効内容積を減少させたため。
設けて有効内容積を減少させたため。
ガスの入れ替わりが従来よりも短時間で行なわれ、その
結果、同時処理ウェハ間の熱処理の程度のばらつきを小
さくできる。半導体工業しこおいてウェハの大口径化が
進み、ウェハ間の熱処理の程度のばらつきが大きな問題
となっている今日、本発明の熱処理装置は産業上極めて
価値の高いものである。
結果、同時処理ウェハ間の熱処理の程度のばらつきを小
さくできる。半導体工業しこおいてウェハの大口径化が
進み、ウェハ間の熱処理の程度のばらつきが大きな問題
となっている今日、本発明の熱処理装置は産業上極めて
価値の高いものである。
第１図〜第６図はそれぞれ本発明の熱処理装置の第１〜
第６の実施例の断面図、第７図は従来の熱処理装置の断
面図である。 １・・・炉心管、２・・・発熱体、３・・・ウェハ、４
・・・ボート型冶具、５・・・ガス流入口、６・・・ブ
ロック〔突部〕、８・・・ガス流入口端、Ｇ・・・ガス
の流れ代理人 森 本 義 弘 第１図 第？図 第３図 第４図 第５図 第６図
第６の実施例の断面図、第７図は従来の熱処理装置の断
面図である。 １・・・炉心管、２・・・発熱体、３・・・ウェハ、４
・・・ボート型冶具、５・・・ガス流入口、６・・・ブ
ロック〔突部〕、８・・・ガス流入口端、Ｇ・・・ガス
の流れ代理人 森 本 義 弘 第１図 第？図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- １、炉心管のガス流入口側端部の内側に炉心管有効内容
積減少用の突部を設けた熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19807385A JPS6258619A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19807385A JPS6258619A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6258619A true JPS6258619A (ja) | 1987-03-14 |
Family
ID=16385067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19807385A Pending JPS6258619A (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6258619A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4993360A (en) * | 1988-03-28 | 1991-02-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vapor growth apparatus having a diffuser section containing a flow regulating member |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP19807385A patent/JPS6258619A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4993360A (en) * | 1988-03-28 | 1991-02-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vapor growth apparatus having a diffuser section containing a flow regulating member |
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