JPS6255629A - 試料撮影方法 - Google Patents
試料撮影方法Info
- Publication number
- JPS6255629A JPS6255629A JP19622585A JP19622585A JPS6255629A JP S6255629 A JPS6255629 A JP S6255629A JP 19622585 A JP19622585 A JP 19622585A JP 19622585 A JP19622585 A JP 19622585A JP S6255629 A JPS6255629 A JP S6255629A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はｒｘａマイクロアナライザを構成するＣＲＴ
に表示された試料の各元素分布をＣＲＴに装着したカメ
ラで撮影する方法に関するものである。近年、故障解析
等において、Ｘ線マイクロアナライザが腐食生成物、金
属の偏析等の微小部分の元素分析に多用されている。
に表示された試料の各元素分布をＣＲＴに装着したカメ
ラで撮影する方法に関するものである。近年、故障解析
等において、Ｘ線マイクロアナライザが腐食生成物、金
属の偏析等の微小部分の元素分析に多用されている。
先づ、第３図を用いて従来における試料の各元素の分布
を撮影する方法を説明する。第３図において、（１）は
試料、（２）は電子顕微鏡（３）９元素検出器（４）及
びＣＲＴ （５）より構成されるＸ線マイクロアナライ
ザ、（６）はカメラフード（７）とカメラ本体（８）に
より構成される（３ＲＴ用カメラである１、このような
構成において電子顕微鏡（３）による試料（１）の像及
び元素検出器（３）によって検出された試料（１１の元
素分布をｃ ＲＴ （４）に表示し、これらの像及び元
素分布をＣＲＴ用カメラ（６）によって撮影する。
を撮影する方法を説明する。第３図において、（１）は
試料、（２）は電子顕微鏡（３）９元素検出器（４）及
びＣＲＴ （５）より構成されるＸ線マイクロアナライ
ザ、（６）はカメラフード（７）とカメラ本体（８）に
より構成される（３ＲＴ用カメラである１、このような
構成において電子顕微鏡（３）による試料（１）の像及
び元素検出器（３）によって検出された試料（１１の元
素分布をｃ ＲＴ （４）に表示し、これらの像及び元
素分布をＣＲＴ用カメラ（６）によって撮影する。
次に、−例としてアルミニウム、銅、及びニッケルから
構成される試料（１）の各元素の分布状ｆｌｋ撮影する
場合を例にとり、第４図及び第５図を用いて、具体的な
撮影方法について説明する。
構成される試料（１）の各元素の分布状ｆｌｋ撮影する
場合を例にとり、第４図及び第５図を用いて、具体的な
撮影方法について説明する。
第４図は試料（１）の元素分布状態例を示す図で（イ）
はアルミニウム、（ロ）は銅、αυはニッケルを示して
いる。
はアルミニウム、（ロ）は銅、αυはニッケルを示して
いる。
第５図は第４図のごとく元素が分布している試料＋１１
の各元素の分布状態を第３図の元素検出器（４）に各元
素毎の検出波長を設定する度に各元素１種類毎にＣＲＴ
（５１の画面上に表示させ、このＣＲＴ（５）の表示
をＣＲＴ用カメラ（８）で撮影した写真の例を模式的に
示す図であり、第５図（Ａ）はアルミニウム（イ）の分
布状態を示す写真の例、第５図（Ｂ）は銅（ロ）の分布
状態を示す写真の例、第５図（０）はニッケル（ハ）の
分布状態を示す写真の例をそれぞれ示している。
の各元素の分布状態を第３図の元素検出器（４）に各元
素毎の検出波長を設定する度に各元素１種類毎にＣＲＴ
（５１の画面上に表示させ、このＣＲＴ（５）の表示
をＣＲＴ用カメラ（８）で撮影した写真の例を模式的に
示す図であり、第５図（Ａ）はアルミニウム（イ）の分
布状態を示す写真の例、第５図（Ｂ）は銅（ロ）の分布
状態を示す写真の例、第５図（０）はニッケル（ハ）の
分布状態を示す写真の例をそれぞれ示している。
このような従来の撮影方法においては９次のような問題
がある。すなわち電子顕微鏡からの信号は白黒表示であ
り、また元素検出器からの信号も一般的には同輝度の白
色の光の点の集合であり。
がある。すなわち電子顕微鏡からの信号は白黒表示であ
り、また元素検出器からの信号も一般的には同輝度の白
色の光の点の集合であり。
おのずとＣＲＴ用カメラ（６）で撮影される写真も同明
度の白点表示であるために、一枚の写真に第５図（Ａ）
〜（０）の１象を多重露出したときには、６つの元素の
分布は、単なる白色の点の集合となり、各元素の分布を
識別することは不可能である。そのために、試料＋１１
の元素分布を観察する場合には、各々の写真を見比べな
ければならず９元素の種類が多い場合又は各元素間の位
置関係が複雑な場合には、正確に元素分布を観察するこ
とは非常に困難である。
度の白点表示であるために、一枚の写真に第５図（Ａ）
〜（０）の１象を多重露出したときには、６つの元素の
分布は、単なる白色の点の集合となり、各元素の分布を
識別することは不可能である。そのために、試料＋１１
の元素分布を観察する場合には、各々の写真を見比べな
ければならず９元素の種類が多い場合又は各元素間の位
置関係が複雑な場合には、正確に元素分布を観察するこ
とは非常に困難である。
この発明はこのような問題点を改善するものでＣＲＴ用
カメラに着脱可能な減光フィルタを装着することにより
例えばフードとカメラ本体の間に任意の透過率を有する
減光フィルタを挿入することにより元素毎に明度の差を
付けた撮影を可能としたものである。
カメラに着脱可能な減光フィルタを装着することにより
例えばフードとカメラ本体の間に任意の透過率を有する
減光フィルタを挿入することにより元素毎に明度の差を
付けた撮影を可能としたものである。
減光フィルタは元素検出器からの信号に明度差ケ付ける
作用をする。
作用をする。
一例として第４図の試料（１）の元素分布の状態を撮影
する場合を第１図により説明する。まず元素検出器（４
）をアルミニウムにセットして、アルミニウムの分布状
態をＣＲＴ ＋５）の画面に表示させフード（７）とカ
メラ本体（８）の間に５０％の光の透過率をもつ減光フ
ィルタ（９）を装着して撮影し、一枚の写真上に露光さ
せる。
する場合を第１図により説明する。まず元素検出器（４
）をアルミニウムにセットして、アルミニウムの分布状
態をＣＲＴ ＋５）の画面に表示させフード（７）とカ
メラ本体（８）の間に５０％の光の透過率をもつ減光フ
ィルタ（９）を装着して撮影し、一枚の写真上に露光さ
せる。
次に元素検出器（４）の検出元素を銅にセットして。
銅の分布状態をＣＲＴ （５１の画面に表示させ２５％
の光の透過率を持つ減光フィルタ（９）を上記と同様に
装着して撮影し、上記と同じ写真上に露光させる。次に
元素検出器（４）の検出元素をニッケルにセットし、ニ
ッケルの分布状態をＯＲＴ ＋５１の画面に表示させ１
２％の光の透過率をもつ減光フィルタ（９）を上記と同
様にして撮影し、上記と同じ写真上に露光させる。
の光の透過率を持つ減光フィルタ（９）を上記と同様に
装着して撮影し、上記と同じ写真上に露光させる。次に
元素検出器（４）の検出元素をニッケルにセットし、ニ
ッケルの分布状態をＯＲＴ ＋５１の画面に表示させ１
２％の光の透過率をもつ減光フィルタ（９）を上記と同
様にして撮影し、上記と同じ写真上に露光させる。
第２図は１以上゛のようにして撮影した写真の表示を示
すもので、（イ）はアルミニウムであり最も明るくあら
れされ、（ロ）は銅であり、中間の明度であられされ、
（ハ）はニッケルであり最も暗くあられされる。このよ
うにして表示された元素分布の状態は、明確に識別する
ことができる。
すもので、（イ）はアルミニウムであり最も明るくあら
れされ、（ロ）は銅であり、中間の明度であられされ、
（ハ）はニッケルであり最も暗くあられされる。このよ
うにして表示された元素分布の状態は、明確に識別する
ことができる。
なお以上述べたことは、この発明による撮影方法の一事
例であり当然のことながら露光の順序及び減光フィルタ
の光の透過率は任意に選択できる。
例であり当然のことながら露光の順序及び減光フィルタ
の光の透過率は任意に選択できる。
以上のようにこの発明による検出元素の減光フィルタを
用いた撮影方法では、（！ＲＴ用カメラに装着した減光
フィルタにより各検出元素毎に任意の明度で１枚の白黒
フィルム上に多重露光により記録することができ１元素
が複雑に分布していても明瞭に撮影することができるな
どの効果を有している。
用いた撮影方法では、（！ＲＴ用カメラに装着した減光
フィルタにより各検出元素毎に任意の明度で１枚の白黒
フィルム上に多重露光により記録することができ１元素
が複雑に分布していても明瞭に撮影することができるな
どの効果を有している。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明における試料の元素分布の撮影方法を
説明するための図、第２図はこの発明によって撮影した
試料の元素分布状態を説明するための図、１１ｇ３図は
従来における試料の元素分布の撮影方法を説明するため
の図、第４図は試料の元素分布例を示す図、第５図は従
来に３ける元素分布の撮影例を示す図であり、（１）は
試料、（２）はＸ線マイクロアナライザ、（３）は電子
顕微鏡、（４）は元素検出器、（５）はＣＲＴ 、 （
６１はＣＲＴ用カメラ、（７）はフード、（８）はカメ
ラ本体、（９）は減光フィルタ、（イ）はアルミニウム
、（ロ）は銅、に）はニッケル、（Ａ）はアルミニウム
の撮影例、（Ｂ）は銅の撮影例、（Ｃ）はニッケルの撮
影例である。 なお９図中の同一あるいは相当部分には同一番号を付し
である。 第 ２ＶＡ
説明するための図、第２図はこの発明によって撮影した
試料の元素分布状態を説明するための図、１１ｇ３図は
従来における試料の元素分布の撮影方法を説明するため
の図、第４図は試料の元素分布例を示す図、第５図は従
来に３ける元素分布の撮影例を示す図であり、（１）は
試料、（２）はＸ線マイクロアナライザ、（３）は電子
顕微鏡、（４）は元素検出器、（５）はＣＲＴ 、 （
６１はＣＲＴ用カメラ、（７）はフード、（８）はカメ
ラ本体、（９）は減光フィルタ、（イ）はアルミニウム
、（ロ）は銅、に）はニッケル、（Ａ）はアルミニウム
の撮影例、（Ｂ）は銅の撮影例、（Ｃ）はニッケルの撮
影例である。 なお９図中の同一あるいは相当部分には同一番号を付し
である。 第 ２ＶＡ
Claims (1)
- 試料中の複数の元素の分布状態を個々の元素毎にＸ線マ
イクロアナライザを構成するＣＲＴの画面に表示し、そ
のＣＲＴ画面に表示された各元素の分布を上記ＣＲＴに
装着したカメラで撮影する方法において、上記カメラと
ＣＲＴの間に各元素に対してそれぞれ任意に定めた透過
率を有する減光フィルタを挿入して、多重撮影し、一枚
の写真上で、試料の各元素分布を明度によつて区分して
確認できるようにしたことを特徴とするＣＲＴ用カメラ
による試料撮影方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19622585A JPS6255629A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 試料撮影方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19622585A JPS6255629A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 試料撮影方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255629A true JPS6255629A (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16354280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19622585A Pending JPS6255629A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 試料撮影方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6255629A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5024101A (en) * | 1989-02-10 | 1991-06-18 | Nippondenso Co., Ltd. | Power source circuit and bridge type measuring device with output compensating circuit utilizing the same |
| US5965807A (en) * | 1995-06-05 | 1999-10-12 | Nippondenso Co., Ltd. | Sensor device with a self adjustor for eliminating abnormal sensitivity |
| US6218717B1 (en) | 1998-01-16 | 2001-04-17 | Denso Corporation | Semiconductor pressure sensor and manufacturing method therefof |
-
1985
- 1985-09-05 JP JP19622585A patent/JPS6255629A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5024101A (en) * | 1989-02-10 | 1991-06-18 | Nippondenso Co., Ltd. | Power source circuit and bridge type measuring device with output compensating circuit utilizing the same |
| US5965807A (en) * | 1995-06-05 | 1999-10-12 | Nippondenso Co., Ltd. | Sensor device with a self adjustor for eliminating abnormal sensitivity |
| US6218717B1 (en) | 1998-01-16 | 2001-04-17 | Denso Corporation | Semiconductor pressure sensor and manufacturing method therefof |
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