JPS6254095A - リ−ドフレ−ム部分めつき用めつき液噴出ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業トの利用分野〉 本発明は、半導体集積回路用のり−トフレームに金、電
などの貴金属による部分めっきを施すためのめっき７夜
噴出ノズルに関する。

〈従来の技術〉 リードフレームは、中央部にＩＣ素子を搭載する搭載台
と、その周囲に先端部にてＩＣ素子上の電極とワイヤボ
ンティングされる複数のリード部を形成したもので、搭
載台およびリート先端部に金、銀等の貴金属めっきがｈ
ぺされている。

従来、このようなり−トフレームは、鉄、鉄合金、ｖＡ
ｆＪ１４合金の薄板または条材を素材とし、この素材に
フォトエツチングまたはプレス打抜き油上を施して不要
部分をくり抜いた後、少なくと乙リード先端を露出する
ようなマスクを用いて金、銀等の＋ｌｊ金属によるめっ
き処理（これを部分めっきという）を行うことにより製
造している。

このリードフレームの部分めっきを行う際には、めっき
を施す部分（以Ｆ被めっき部分という）に開口が設けら
れたゴム等の軟質体マスクを被めっき物に装着し、めっ
き液噴出ノズルまたはオリフィスを被めっき部分に向け
てセットし、めっき液の噴流を吹き付けるとともにリー
ドフレームと電極（アノード）との間に′Ｉ′ニ圧を印
加することによりめっきを行っている。

捉米、部分めっきの通電方法は、 （１）めっき液噴出ノズル等の側方または背後に帯板状
のｐｔ、　ｐｉ、めっきＴｉ電極を配置するか、あるい
は、 （２）めっき液噴出ノズルの先端にＰＬ主電極取り付け
、これらの電極と、リードフレームとの間に通電を行っ
ている。

しかし、上記（＋）の方法の場合、電極とリードフレー
ムとの間の電気的導通を得るためには、ノズルとマスク
との間に形成されたスパージャ−と呼ばれる圧力、空間
内にめっき液を充満させてめっさそ打う必要があり、そ
うするとめフき界面でのめっき液の攪拌効果が少なく、
限界電流密度が低くなるという欠点がある。

一力、上記（２）の方法の場合ではめっき液噴出ノズル
の先端に′１“Ｋ極を有するためめっき液を充満させる
必要はなく噴射液をもって電極とリードフレームとの間
の電気的導通を得ることができるが、リードフレームの
被めっき部分と、電極間の電位分布かノズルと電極の形
状によって所定のパターンｒ二定まってしまい、これに
自由な変化を惺えることかできないので、めっき厚分布
を自由に選定下ることかできないという欠点がある。

〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明の目的は、ト述の従来技術の欠点を解消し、リー
ドフレームの被めっき部分のめっき厚分布を自由に選定
することができるリードフレーム部分めっき用めっき液
噴出ノズルを提供することにある。

〈問題点を解決するためのｆ段〉 このような目的は、以下の本発明によって達成される、 即ち、未発明は、め７き液噴出ノズルの内部に、該ノズ
ルの軸線方向に移動可能な少なくとも１本の棒状アノー
ドを有するリードフレーム部分めっき用めっき液噴出ノ
ズルである。

以下本発明のリードフレーム部分めっき用めっき液噴出
ノズルを添付図面に、示す好適実施例について詳細に説
明する。

第１図は本発明のリードフレーム部分めっき用めっき液
噴出ノズルを被めっき物にセットしたときの部分断面図
である。

被めっき物たるリードフレーム４には、被めっき部分８
と同形の開口が設けられたゴム等の軟質体５と硬質プラ
スチック体６からなるマスク１１が装看され、そして前
記開口部にスパージャ−１２と呼ばれるめっき液圧力空
間が形成される。

また、リードフレーム４の適当な位置に、カソード７か
電気的に接続されている。

一方、リードフレームの被めっき部分８に相対する位置
には本発明のめっき液噴出ノズルがセットされている。

本発明のめっき液噴出ノズルは、第１図に示すようにノ
ズル１（オリフィスでもよい）の内部に棒状７ノード２
が挿通されており、この棒状アノード２は、ノズル１の
軸線方向に移動可能となっている。

ノズル１内に挿通する棒状アノード２の断面形状は円形
、だ円形、三角形、四角形、六角形等の多角形等、いか
なる形状であってもよい。また棒状アノード２の先端部
２０の形状は、第１図に示すような球形の他、円錐形や
平面等が可能である。

棒状アノード２は、１本でもよいが、複数本を束ねたも
のであってもよい。

１禾の円形断面の棒状アノードを用いる場合には、その
中法は、例えばノズル内径０．１〜２０１′ＩＩｍに対
しアノード径０．０５〜１５ｍｍの範囲のものが好まし
い。しかし、上記例における寸法に限定されることはな
く、必要に応じ変化させることができる。

このような棒状アノード２の構成材料としては、Ｉ）Ｌ
、　Ｔｉ、　ＰＬめっきＴｉ等の金属を挙げることがで
きる。

棒状アノード２をノズル１内で伸縮させるト段としては
、ノズル内に棒状アノード２をネジで固定してその伸縮
を調整し得るようなものかよいが、こねに限られるもの
ではない。

めっき液は、ノズル１の内壁と棒状アノード２の間隙３
を通り、ノズル１の開口より被めっき部分８に向って吹
き付けられる。吹き付けられためっき液は所定の圧力を
もってスパージャ−１２内を満たすことになる。

なお、棒状アノード２には、その外周にらせん状の溝を
設けることも可能であり、この場合にはめっき液噴流に
回転を４えることかできる。

このようなめっきの種類としては、金、銀、銅、ニッケ
ルおよびそれらの合金めっき等が６丁能である。

〈作　　用〉 第１図に示すように、棒状アノード２を適当な繰り出し
量に設定し、めっき液をノズル１の開［１より噴出させ
ると、めっき液はリードフレーム４の被めっき部分８に
吹き付けられ四方に飛散して、めっき液流１０を形成す
る。

このようなめっき液の吹き付けと同時に、アノード２を
Ｖ：ｉ極、カソード７を陰極として電圧を印加すると、
リードフレーム４とアノード２との間にめっき液を介し
て電流が流れ、被めっき部分８の表面に八〇、へｇ等の
貴金属が電析し、めっき層９が形成される。

被めっき部分８の中央部分は棒状アノード２の先端部２
０と接近しているため電流密度が高くなる。従って被め
っき部分８の中央部付近はめっき層９の厚さか厚くなり
、周縁部付近はめっき層８の厚さが薄くなる。棒状アノ
ードの繰り出し量を調整することにより、アノード２の
先端２０とリードフレームの被めっき部分８の距離を変
えてめっき層９のめっき厚分布を自由に選定することが
できる。即ち、棒状アノードを繰り出して、その先端部
２０を被めっき部分８により接近させれば、被めっき部
分８の中央のめっき層はよりＰｆ＜なり、周縁部は薄く
なる。

一１服に、リードフレームの部分めっきでは、被めっき
部分８の中央部に位置するｔＣ搭載台には厚目付が必要
であり、その周縁部分のリード部先端部は、薄目付がよ
い。従って、上述のごとくめっき厚分布の選定が可能な
本発明のめっき液噴出ノズルは理想的な部分めっきを行
うのに大変好都合である。

〈発明の効果〉 本発明のリードフレーム部分めっき用めっき液噴出ノズ
ルによれば、ノズル内に設置した棒状アノードを移動さ
せることにより、リードフレーム被めっき部分のめっき
厚分布を自由に選定することができる。従ってリードフ
レームの品質の向上、めっき貴金属の節約等の点で理想
的なめっき厚分布である、ＩＣ搭載台部分の厚目付およ
びリード部先端部の薄目付を容易に行うことができる。

　また、同時に多数個のリードフレームの部分めっきを
行なう場合には、個々の電極間距離を変える事により、
各ピース間のめっき厚分布を調整することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のリードフレーム部分めっき用めっき
液噴出ノズルを被めっき物にセットしたとさの部分断面
図である。 符号の説明　　−

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）めっき液噴出ノズルの内部に、該ノズルの軸線方
   向に移動可能な少なくとも１本の棒状アノードを有する
   リードフレーム部分めっき用めっき液噴出ノズル。
2. （２）前記アノードは外周にらせん状の溝を有する特許
   請求の範囲第１項に記載のリードフレーム部分めっき用
   めっき液噴出ノズル。