JPS6252407A - 磁気記録媒体用表面性状測定方法 - Google Patents
磁気記録媒体用表面性状測定方法Info
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- JPS6252407A JPS6252407A JP19171685A JP19171685A JPS6252407A JP S6252407 A JPS6252407 A JP S6252407A JP 19171685 A JP19171685 A JP 19171685A JP 19171685 A JP19171685 A JP 19171685A JP S6252407 A JPS6252407 A JP S6252407A
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- Japan
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- measured
- magnetic recording
- recording medium
- optical
- light
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体、特に可撓性を有する例えばフロ
ッピーディスク、テープ等の磁気記録媒体の表面状態、
即ち表面性状を測定する磁気記録媒体用の表面性状測定
方法に関わる。
ッピーディスク、テープ等の磁気記録媒体の表面状態、
即ち表面性状を測定する磁気記録媒体用の表面性状測定
方法に関わる。
本発明はオプティカルフラットを被測定面に所要の圧力
をもって接触させ、両者間のスペーシングを光照射によ
る干渉縞によって測定して被測定磁気記録媒体の表面状
態をその使用状態に近似した状態で測定できるようにす
る。
をもって接触させ、両者間のスペーシングを光照射によ
る干渉縞によって測定して被測定磁気記録媒体の表面状
態をその使用状態に近似した状態で測定できるようにす
る。
従来、磁気記録媒体の例えばベースの表面性状、或いは
磁性層の表面性状の評価方法、すなわち測定方法として
は、いわゆるタリサーフ、クリステツブ等の触針式表面
粗度計を用いる方法があるが、この場合、被測定面上の
触針を走査する線上の凹凸しか測定することができない
ものであり、面全体の評価ができないという問題点があ
る。また、この場合その測定の分解能を上げようとする
と、測定部分の長さが短くなり、この長さを長（しよう
とすると分解能が落ちるという不都合がある。
磁性層の表面性状の評価方法、すなわち測定方法として
は、いわゆるタリサーフ、クリステツブ等の触針式表面
粗度計を用いる方法があるが、この場合、被測定面上の
触針を走査する線上の凹凸しか測定することができない
ものであり、面全体の評価ができないという問題点があ
る。また、この場合その測定の分解能を上げようとする
と、測定部分の長さが短くなり、この長さを長（しよう
とすると分解能が落ちるという不都合がある。
一方、フロッピーディスク或いは磁気テープ等の可撓性
を有する磁気記録媒体において磁気ヘッド或いはバンド
等が所定の圧力をもって圧接された状態で記録再生等の
使用態様がとられる場合、実際上磁気記録媒体の表面に
凹凸が存在していてもこのヘッド或いはパッドの圧力に
よってこの凹凸が問題とならない場合があるが、この場
合、上述した触針式表面粗度計では、このような使用状
態における条件下での評価を行うことができない。
を有する磁気記録媒体において磁気ヘッド或いはバンド
等が所定の圧力をもって圧接された状態で記録再生等の
使用態様がとられる場合、実際上磁気記録媒体の表面に
凹凸が存在していてもこのヘッド或いはパッドの圧力に
よってこの凹凸が問題とならない場合があるが、この場
合、上述した触針式表面粗度計では、このような使用状
態における条件下での評価を行うことができない。
本発明は上述した諸欠点を回避し磁気記録媒体のベース
或いは磁気記録媒体の磁性面等の表面性状を磁気記録媒
体の使用条件下での、即ちヘッド圧力或いはバンド圧力
が印加されたと同等の状態で評価し、またその表面性状
を面的に評価できる磁気記録媒体用表面性状測定方法を
提供するものである。
或いは磁気記録媒体の磁性面等の表面性状を磁気記録媒
体の使用条件下での、即ちヘッド圧力或いはバンド圧力
が印加されたと同等の状態で評価し、またその表面性状
を面的に評価できる磁気記録媒体用表面性状測定方法を
提供するものである。
本発明においては、第１図に示すように対のオプティカ
ルフラット即ち第１のオプティカルフラット（１）と、
第２のオプティカルフラット（２）とを設け、両者間に
磁気記録媒体用被測定体（３）を挟み込む。そして両オ
プティカルフラット（１）及び（２）間に被測定体（３
）をその使用状態における圧力例えば磁気ヘッドの圧力
或いはパッドの圧力に相当する圧力をもって挟み込む。
ルフラット即ち第１のオプティカルフラット（１）と、
第２のオプティカルフラット（２）とを設け、両者間に
磁気記録媒体用被測定体（３）を挟み込む。そして両オ
プティカルフラット（１）及び（２）間に被測定体（３
）をその使用状態における圧力例えば磁気ヘッドの圧力
或いはパッドの圧力に相当する圧力をもって挟み込む。
そしてこの状態でオプティカルフラット（１）側からこ
のオプティカルフラット（１）を透過し得る光線を、矢
印すで示すように、オプティカルフラット（１）と被測
定体（３）との接触面に入射させる。そしてこのオプテ
ィカルフラット（１）と被測定体の表面との間のスペー
シングつまり表面状態を光線すの反射光による干渉縞に
よって測定する。
のオプティカルフラット（１）を透過し得る光線を、矢
印すで示すように、オプティカルフラット（１）と被測
定体（３）との接触面に入射させる。そしてこのオプテ
ィカルフラット（１）と被測定体の表面との間のスペー
シングつまり表面状態を光線すの反射光による干渉縞に
よって測定する。
本発明の測定方法によれば、光干渉によってオプティカ
ルフラットと被測定体との表面のスペーシングを測定即
ち評価するものであり、これについて説明すると、第２
図はオプティカルフラット（１）と被測定体（３）の測
定面との間にスペーシングｄが存在した状態を示すもの
でオプティカルフラット（１）の光学的媒質を媒質■と
しスペーシングｄ内の媒質、即ち一般には空気を媒質■
とし被測定体（３）の媒質を媒質■とする。この状態に
おいて光線すを媒質Ｉと■の界面５Ｉ−１に入射角φを
もって入射すると、媒質■及び■の界面５Ｉ−１におい
て反射角φをもって反射光ｂ０１が生じる。そしてこれ
と同時に一部の光は媒質■中に、界面５ｒ−ｉにおいて
屈折して入射し媒質■と■の界面ＳＩ［−１に入射角θ
をもって入射して角θをもって反射し媒質Ｉ及び■間の
５ｒ−ｉにおいて屈折して破線の光線ｂ０２をもって反
射する。このようにして得た反射光ｂ０１及びｂ０２は
互いに干渉する。これは、光線ｂ０１、光線ｂ０２に関
する光路差りがＬ＝２・ｎ・ｄ−ｃｏｓθで与えられる
（但し、ｎは媒質■の屈折率）こと、及びそして、密度
の高い物質から密度の低い物質の界面で密度の高い物質
からの光が反射するときその位相は１８０° （λ／２
）ずれることによって生じ得る。今、垂直入射（φ−０
）の時の光の強度■は、 Ｌ＝２ｄ ・ ・ ・
・（２）となる（但し、λは入射光の波長、Ａは媒質■
によって決る定数）。（１）式及び（２）式から光の強
度が弱い暗線は、 ２ｄ＝ｍλ ・・・・（３）光の強度の
強い明線は、 λ で生じる。いいかえると（３）式からｄ＝ｍ・□、つま
りスペーシングｉｌｄが半波長の整数倍のとき暗線とな
り、（４）式からスペーシングｌｉｄが゛半波長となっ
て現れる。従って第２図で説明した３つの媒質ｒ、
ｎ、 ｍにおいて媒質■及び■間のスペーシングｄが、
例えば第３図Ａで示すように一定の変化をしたとすると
、同図Ｂで示すように１ビッλ 千が−に相当する間隔の光の強弱、したがつて明暗の縞
が生じる。例えば光線すとして縁色先の例えばλ” ５
４０ｎｍを用いるときこの干渉縞のピンチは０．２７μ
ｍとなる。したがってこのピンチの測定によってスペー
シングｌｄが測定できることになる。
ルフラットと被測定体との表面のスペーシングを測定即
ち評価するものであり、これについて説明すると、第２
図はオプティカルフラット（１）と被測定体（３）の測
定面との間にスペーシングｄが存在した状態を示すもの
でオプティカルフラット（１）の光学的媒質を媒質■と
しスペーシングｄ内の媒質、即ち一般には空気を媒質■
とし被測定体（３）の媒質を媒質■とする。この状態に
おいて光線すを媒質Ｉと■の界面５Ｉ−１に入射角φを
もって入射すると、媒質■及び■の界面５Ｉ−１におい
て反射角φをもって反射光ｂ０１が生じる。そしてこれ
と同時に一部の光は媒質■中に、界面５ｒ−ｉにおいて
屈折して入射し媒質■と■の界面ＳＩ［−１に入射角θ
をもって入射して角θをもって反射し媒質Ｉ及び■間の
５ｒ−ｉにおいて屈折して破線の光線ｂ０２をもって反
射する。このようにして得た反射光ｂ０１及びｂ０２は
互いに干渉する。これは、光線ｂ０１、光線ｂ０２に関
する光路差りがＬ＝２・ｎ・ｄ−ｃｏｓθで与えられる
（但し、ｎは媒質■の屈折率）こと、及びそして、密度
の高い物質から密度の低い物質の界面で密度の高い物質
からの光が反射するときその位相は１８０° （λ／２
）ずれることによって生じ得る。今、垂直入射（φ−０
）の時の光の強度■は、 Ｌ＝２ｄ ・ ・ ・
・（２）となる（但し、λは入射光の波長、Ａは媒質■
によって決る定数）。（１）式及び（２）式から光の強
度が弱い暗線は、 ２ｄ＝ｍλ ・・・・（３）光の強度の
強い明線は、 λ で生じる。いいかえると（３）式からｄ＝ｍ・□、つま
りスペーシングｉｌｄが半波長の整数倍のとき暗線とな
り、（４）式からスペーシングｌｉｄが゛半波長となっ
て現れる。従って第２図で説明した３つの媒質ｒ、
ｎ、 ｍにおいて媒質■及び■間のスペーシングｄが、
例えば第３図Ａで示すように一定の変化をしたとすると
、同図Ｂで示すように１ビッλ 千が−に相当する間隔の光の強弱、したがつて明暗の縞
が生じる。例えば光線すとして縁色先の例えばλ” ５
４０ｎｍを用いるときこの干渉縞のピンチは０．２７μ
ｍとなる。したがってこのピンチの測定によってスペー
シングｌｄが測定できることになる。
更に第１図を参照して本発明の詳細な説明するに、前述
したように、第１及び第２のオプティカルフラット（１
）及び（２）間に被測定体（３）を挟み込む。
したように、第１及び第２のオプティカルフラット（１
）及び（２）間に被測定体（３）を挟み込む。
この被測定体（３）は例えば磁性層が被着される以前の
磁気記録媒体用非磁性ベース、或いはこのベース上に磁
性層が蒸着、スパッタ、塗布その他の手段で被着された
磁気記録媒体等を指称する。
磁気記録媒体用非磁性ベース、或いはこのベース上に磁
性層が蒸着、スパッタ、塗布その他の手段で被着された
磁気記録媒体等を指称する。
そして一方のオプティカルフラット（１）の外面の周囲
を固定の抑え体（４）によって固定し、他方のオプティ
カルフラット（２）を矢印ａに示すように押し上げ体、
例えばピストン（５）によって所定の圧力、即ち被測定
体（３）と一方のオプティカルフラット（１）とが最終
的に得る磁気記録媒体の使用状態における例えば磁気ヘ
ッドの圧力或いはバッドの圧力に相当する圧力をもって
接触するようにする。
を固定の抑え体（４）によって固定し、他方のオプティ
カルフラット（２）を矢印ａに示すように押し上げ体、
例えばピストン（５）によって所定の圧力、即ち被測定
体（３）と一方のオプティカルフラット（１）とが最終
的に得る磁気記録媒体の使用状態における例えば磁気ヘ
ッドの圧力或いはバッドの圧力に相当する圧力をもって
接触するようにする。
そしてこの状態でオブティ力ルフラッｌ−（１１側から
このオプティカルフラット（１）を透過し得る光線を矢
印すで示すようにオプティカルフラット（１）と被測定
体（３）との接触面に入射させて、前述したように光線
すの反射光による干渉縞によって測定する。
このオプティカルフラット（１）を透過し得る光線を矢
印すで示すようにオプティカルフラット（１）と被測定
体（３）との接触面に入射させて、前述したように光線
すの反射光による干渉縞によって測定する。
本発明方法によれば、磁気記録媒体用被測定体に対して
オプティカルフラットを、最終的に磁気記録媒体が使用
される状態での磁気ヘッドの圧力、或いはパッドの圧力
等の実際の使用態様における対接状態でその測定が行わ
れるので、従来のように触針式或いは圧力を与えないオ
プティカルフラットによる測定方法に比して正しい評価
を行うことができる。すなわち実際の使用状態では問題
とならない凹凸等の表面評価を排除して正確な実用に即
した評価をすることができる。また触針式測定法による
場合に比し広面積をもってまた光学的干渉による測定方
法であるがために分解能の高い評価を行うことができる
。
オプティカルフラットを、最終的に磁気記録媒体が使用
される状態での磁気ヘッドの圧力、或いはパッドの圧力
等の実際の使用態様における対接状態でその測定が行わ
れるので、従来のように触針式或いは圧力を与えないオ
プティカルフラットによる測定方法に比して正しい評価
を行うことができる。すなわち実際の使用状態では問題
とならない凹凸等の表面評価を排除して正確な実用に即
した評価をすることができる。また触針式測定法による
場合に比し広面積をもってまた光学的干渉による測定方
法であるがために分解能の高い評価を行うことができる
。
また本発明方法によれば媒質の界面での反射光に基づく
干渉光によってその測定が行われるので被測定体が未だ
磁性層が被着されない透明のベース状態においても、そ
の測定を行うことができる。
干渉光によってその測定が行われるので被測定体が未だ
磁性層が被着されない透明のベース状態においても、そ
の測定を行うことができる。
つまり、磁性層の被着以前において例えば不良品を検出
することができるので磁気記録媒体の製造過程で通用す
れば、不良品に対して磁性層の塗布作業を行うように無
駄な作業工程を排除でき効率良く磁気記録媒体の製造を
行うことができるなど多くの利益がある。
することができるので磁気記録媒体の製造過程で通用す
れば、不良品に対して磁性層の塗布作業を行うように無
駄な作業工程を排除でき効率良く磁気記録媒体の製造を
行うことができるなど多くの利益がある。
第１図は本発明方法を実施する測定態様を示す図、第２
図はその干渉縞の説明図、第３図Ａ、 Ｂはその被測定
体の測定面とオプティカルフラットとのスペーシング状
態とこれに対応する光強度分布図である。 （１１及び（２）は第１及び第２のオプティカルフラッ
ト、（３）は被測定体である。
図はその干渉縞の説明図、第３図Ａ、 Ｂはその被測定
体の測定面とオプティカルフラットとのスペーシング状
態とこれに対応する光強度分布図である。 （１１及び（２）は第１及び第２のオプティカルフラッ
ト、（３）は被測定体である。
Claims (1)
- 対のオプティカルフラット間に磁気記録媒体用被測定体
をその被測定面が一方のオプティカルフラットに磁気記
録媒体の使用状態に応じた圧力をもって接触するように
挟み込み、この被測定面とオプティカルフラットとの接
触面に光を入射して干渉縞によって上記被測定面とオプ
ティカル接触面とのスペーシングを測定して上記被測定
面の表面性状を評価することを特徴とする磁気記録媒体
用表面性状測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19171685A JPS6252407A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 磁気記録媒体用表面性状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19171685A JPS6252407A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 磁気記録媒体用表面性状測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6252407A true JPS6252407A (ja) | 1987-03-07 |
Family
ID=16279289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19171685A Pending JPS6252407A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 磁気記録媒体用表面性状測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6252407A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6975405B2 (en) | 2003-05-16 | 2005-12-13 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for measuring flatness and/or relative angle between top and bottom surfaces of a chip |
| JP2017068893A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 富士フイルム株式会社 | 磁気テープおよびその製造方法 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP19171685A patent/JPS6252407A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6975405B2 (en) | 2003-05-16 | 2005-12-13 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for measuring flatness and/or relative angle between top and bottom surfaces of a chip |
| JP2017068893A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 富士フイルム株式会社 | 磁気テープおよびその製造方法 |
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