JPS6251028A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6251028A JPS6251028A JP19022585A JP19022585A JPS6251028A JP S6251028 A JPS6251028 A JP S6251028A JP 19022585 A JP19022585 A JP 19022585A JP 19022585 A JP19022585 A JP 19022585A JP S6251028 A JPS6251028 A JP S6251028A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、さらに詳し
くは耐久性に優れた磁気記録媒体の製造方法に関する。
くは耐久性に優れた磁気記録媒体の製造方法に関する。
一般に、磁気記録媒体は、記録再生時に磁気ヘッド等と
激しく摺接するため磁性層が摩耗されやすく、特に真空
蒸着等によって金属もしくはそれらの合金などを基体フ
ィルム上に被着して形成される強磁性金Ｂ薄膜層は、高
密度記録に適した特性を有する反面、磁気ヘッドとの摩
擦係数が大きくて摩耗や損傷を受は易く、耐久性に劣る
という難点がある。
激しく摺接するため磁性層が摩耗されやすく、特に真空
蒸着等によって金属もしくはそれらの合金などを基体フ
ィルム上に被着して形成される強磁性金Ｂ薄膜層は、高
密度記録に適した特性を有する反面、磁気ヘッドとの摩
擦係数が大きくて摩耗や損傷を受は易く、耐久性に劣る
という難点がある。
このため、従来から磁性層上に種々の潤滑剤を被着して
滑性のよい保護膜層を形成するなどの方法で耐摩耗性を
改善する試みがなされており、たとえばステアリン酸な
どの高級脂肪酸を真空蒸着により被着するなどして滑性
のよい保護ＭＩＡ層を形成することが提案されている。
滑性のよい保護膜層を形成するなどの方法で耐摩耗性を
改善する試みがなされており、たとえばステアリン酸な
どの高級脂肪酸を真空蒸着により被着するなどして滑性
のよい保護ＭＩＡ層を形成することが提案されている。
（特公昭５７−５６１３４号）
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、この種の高級脂肪酸からなる保護膜層を真空
蒸着によって強磁性金属薄膜層上に設ける方法では、通
常、ｌ×１０−５トール以下の高真空排気が行われてい
るため、油回転ポンプ、油拡散ポンプなどの真空排気用
ポンプから油が逆流して磁性層の表面が汚染され、磁性
層上に被着する高級脂肪酸と磁性層との接着性が劣化し
て、耐摩耗性を充分に改善できないという難点がある。
蒸着によって強磁性金属薄膜層上に設ける方法では、通
常、ｌ×１０−５トール以下の高真空排気が行われてい
るため、油回転ポンプ、油拡散ポンプなどの真空排気用
ポンプから油が逆流して磁性層の表面が汚染され、磁性
層上に被着する高級脂肪酸と磁性層との接着性が劣化し
て、耐摩耗性を充分に改善できないという難点がある。
一方、クライオポンプなどの油を使用しない排気系を用
いると、このような難点を回避できるが、この種のポン
プは高級脂肪酸などの有機化合物を蒸発させたガスを排
気するのに使用すると、排気性能が急激に低下してしま
い、実用上使用できない。
いると、このような難点を回避できるが、この種のポン
プは高級脂肪酸などの有機化合物を蒸発させたガスを排
気するのに使用すると、排気性能が急激に低下してしま
い、実用上使用できない。
この発明はかかる現状に鑑み、鋭意研究を重ねた結果な
されたもので、磁性層上に、ｔｘｉｏ（〜ｌＸｌ０−’
ｌ−−ルの低真空下で、極性基を有し直鎖状の炭化水素
を骨格とする有機化合物を蒸着することによって、従来
の高真空下で高級脂肪酸を真空蒸着するときのように、
真空排気用ポンプから油が逆流したりして磁性層の表面
が汚染されないようにし、油等で汚染されていない磁性
層上に、特に磁性層に対する吸着性に優れた極性基を有
し直鎮状の炭化水素を骨格とする有機化合物からなる保
護膜層を、接着性よく強固に被着形成して、耐久性を充
分に向上させたものである。
されたもので、磁性層上に、ｔｘｉｏ（〜ｌＸｌ０−’
ｌ−−ルの低真空下で、極性基を有し直鎖状の炭化水素
を骨格とする有機化合物を蒸着することによって、従来
の高真空下で高級脂肪酸を真空蒸着するときのように、
真空排気用ポンプから油が逆流したりして磁性層の表面
が汚染されないようにし、油等で汚染されていない磁性
層上に、特に磁性層に対する吸着性に優れた極性基を有
し直鎮状の炭化水素を骨格とする有機化合物からなる保
護膜層を、接着性よく強固に被着形成して、耐久性を充
分に向上させたものである。
この発明において、磁性層上に、極性基を有し直鎖状の
炭化水素を骨格とする有機化合物からなる保護膜層を形
成する際行う真空蒸着は、１×１０４〜１×１０−１ト
ールの真空下で行うのが好ましく、これより低真空下で
は前記の極性基を有し直鎖状の炭化水素を骨格とする有
機化合物の平均自由工程が短くなり、真空蒸着が良好に
行えない。またこれより高真空下で行うと、油回転ポン
プ、油拡散ポンプなどの真空排気用ポンプから油が逆流
して磁性層の表面が汚染され、前記の極性基を有し直鎖
状の炭化水素を骨格とする有機化合物を磁性層上に接着
性よく被着することができず、耐摩耗性を充分に改善で
きない。また、この種の極性基を有し直鎖状の炭化水素
を骨格とする有機化合物の真空蒸着は、抵抗加熱など適
宜加熱手段により２０〜３５０℃の温度で加熱蒸発させ
て行うのが好ましく、さらに磁性層を形成した基体の温
度を１０〜１２０℃に調整して行うのが好ましい。
炭化水素を骨格とする有機化合物からなる保護膜層を形
成する際行う真空蒸着は、１×１０４〜１×１０−１ト
ールの真空下で行うのが好ましく、これより低真空下で
は前記の極性基を有し直鎖状の炭化水素を骨格とする有
機化合物の平均自由工程が短くなり、真空蒸着が良好に
行えない。またこれより高真空下で行うと、油回転ポン
プ、油拡散ポンプなどの真空排気用ポンプから油が逆流
して磁性層の表面が汚染され、前記の極性基を有し直鎖
状の炭化水素を骨格とする有機化合物を磁性層上に接着
性よく被着することができず、耐摩耗性を充分に改善で
きない。また、この種の極性基を有し直鎖状の炭化水素
を骨格とする有機化合物の真空蒸着は、抵抗加熱など適
宜加熱手段により２０〜３５０℃の温度で加熱蒸発させ
て行うのが好ましく、さらに磁性層を形成した基体の温
度を１０〜１２０℃に調整して行うのが好ましい。
ここで、使用される極性基を有し直鎖状の炭化水素を骨
格とする有機化合物としては、−ＣＯＯＨ，ＮＨ２、Ｃ
ＯＮＨ２、ＳＯ２（ＯＨ）等の極性基を少なくとも１種
有し、炭素原子数が１２〜３０の炭化水素を骨格とする
有機化合物、および一般式（Ｒ−Ｃｏｏ）ｎＭ （但し
、Ｒは炭素数が１２〜３０の直鎖状炭化水素基、ＭはＬ
ｉ、Ｎａ、Ｃｏ、Ｃｕなどの金属元素であり、ｎは整数
１あるいは２である。）で表される有機化合物が好まし
く使用され、これらはいずれか一種が単独であるいは二
種以上混合して使用される。この種の極性基を有し直鎖
状の炭化水素を骨格とする有機化合物は、優れた潤滑性
を有し、また前記の極性基が磁性層表面に良好に結合す
る。従って、この種の極性基を有し直鎖状の炭化水素を
骨格とする有機化合物をｌＸｌ０’〜１×１０″トール
の低真空下で真空蒸着すると、油回転ポンプ、油拡散ポ
ンプなどの真空排気用ポンプから油が逆流して磁性層の
表面が汚染されることもなく、磁性層の表面に強固に被
着され、潤滑性に優れた保護膜層が接着性よく良好に形
成されて、摩擦係数が低減され、耐摩耗性が充分に向上
される。
格とする有機化合物としては、−ＣＯＯＨ，ＮＨ２、Ｃ
ＯＮＨ２、ＳＯ２（ＯＨ）等の極性基を少なくとも１種
有し、炭素原子数が１２〜３０の炭化水素を骨格とする
有機化合物、および一般式（Ｒ−Ｃｏｏ）ｎＭ （但し
、Ｒは炭素数が１２〜３０の直鎖状炭化水素基、ＭはＬ
ｉ、Ｎａ、Ｃｏ、Ｃｕなどの金属元素であり、ｎは整数
１あるいは２である。）で表される有機化合物が好まし
く使用され、これらはいずれか一種が単独であるいは二
種以上混合して使用される。この種の極性基を有し直鎖
状の炭化水素を骨格とする有機化合物は、優れた潤滑性
を有し、また前記の極性基が磁性層表面に良好に結合す
る。従って、この種の極性基を有し直鎖状の炭化水素を
骨格とする有機化合物をｌＸｌ０’〜１×１０″トール
の低真空下で真空蒸着すると、油回転ポンプ、油拡散ポ
ンプなどの真空排気用ポンプから油が逆流して磁性層の
表面が汚染されることもなく、磁性層の表面に強固に被
着され、潤滑性に優れた保護膜層が接着性よく良好に形
成されて、摩擦係数が低減され、耐摩耗性が充分に向上
される。
このような極性基を有し直鎖状の炭化水素を骨格とする
有機化合物の具体例としては、たとえば、ステアリン酸
、オレイン酸、バルミチン酸、ミリスチン酸、ラウリン
酸などの高級脂肪酸、ステアリルアミン、ミリスチルア
ミンなどの高級脂肪族アミン、ステアリン酸アミド、ミ
リスチン酸アミドなどの高級脂肪族アミド、ステアリル
スルホン！、ミリスチルスルホン酸などの高級脂肪族ス
ルホン酸、ステアリン酸リチウム、ステアリン酸ナトリ
ウム、ステアリン酸コバルトなどの金属石鹸等が挙げら
れる。このような極性基を有し直鎖状の炭化水素を骨格
とする有機化合物を真空蒸着して形成される保護膜層の
膜厚は、１０人より薄いと耐摩耗性が充分に改善されず
、２００人より厚くするとスペーシングロスが大きくな
って電磁変換特性に悪影響を及ぼすため１０〜２００人
の範囲内となるようにするのが好ましく、２０〜１（ｌ
０人の範囲内となるようにするのがより好ましい。
有機化合物の具体例としては、たとえば、ステアリン酸
、オレイン酸、バルミチン酸、ミリスチン酸、ラウリン
酸などの高級脂肪酸、ステアリルアミン、ミリスチルア
ミンなどの高級脂肪族アミン、ステアリン酸アミド、ミ
リスチン酸アミドなどの高級脂肪族アミド、ステアリル
スルホン！、ミリスチルスルホン酸などの高級脂肪族ス
ルホン酸、ステアリン酸リチウム、ステアリン酸ナトリ
ウム、ステアリン酸コバルトなどの金属石鹸等が挙げら
れる。このような極性基を有し直鎖状の炭化水素を骨格
とする有機化合物を真空蒸着して形成される保護膜層の
膜厚は、１０人より薄いと耐摩耗性が充分に改善されず
、２００人より厚くするとスペーシングロスが大きくな
って電磁変換特性に悪影響を及ぼすため１０〜２００人
の範囲内となるようにするのが好ましく、２０〜１（ｌ
０人の範囲内となるようにするのがより好ましい。
基体上に形成される磁性層は、Ｃ０１Ｎ ｌ ％ Ｆｅ
、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｐ合金、Ｃ
ｏ−Ｎ１−ｐ合金などの強磁性材を、真空蒸着、イオン
ブレーティング、スパツタリング、メッキ等の手段によ
って基体上に被着するなどの方法で形成される。
、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｐ合金、Ｃ
ｏ−Ｎ１−ｐ合金などの強磁性材を、真空蒸着、イオン
ブレーティング、スパツタリング、メッキ等の手段によ
って基体上に被着するなどの方法で形成される。
また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム、
ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基体とす
る磁気テープ、合成樹脂フィルム、アルミニウム坂およ
びガラス板等からなる円盤やドラムを基体とする磁気デ
ィスクや磁気ドラム、さらに磁気カードなど、磁気ヘッ
ドと摺接する構造の種々の形態を包含する。
ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基体とす
る磁気テープ、合成樹脂フィルム、アルミニウム坂およ
びガラス板等からなる円盤やドラムを基体とする磁気デ
ィスクや磁気ドラム、さらに磁気カードなど、磁気ヘッ
ドと摺接する構造の種々の形態を包含する。
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図に示す真空蒸着装置を使用し、既に厚さ１２μｍ
のポリエステルフィルム上にｌＸｌ０−５トールの真空
下でコバルト−ニッケル合金（原子比８０：２０）を加
熱蒸発させて、厚さ１５００人の強磁性金属薄膜層を形
成したポリエステルフィルム１を、内容積９００ｆの真
空槽２内で原反ロール３から円筒状キャン４の周側面に
沿って移動させ、巻き取りロール５に巻き取るようにセ
ントした。同時に真空槽２内下部に配設した蒸発源６に
ステアリン酸７をセットし、次いで、真空槽２の側壁に
設けた排気速度６５０ （１／ｍｉｎの油回転ポンプ８
で、真空槽２内を５分間排気し、真空度１トールとした
後、真空槽２の下底に、液体窒素トラップ９を介して連
続させて取りつけた排気速度が１０００１！／ｓｅｅの
油拡散ポンプ１０と、排気速度が６５０１ ／ｍｉｎの
油回転ポンプ１１で真空槽２内を３分間真空排気し、ｌ
Ｘｌ０−２）−ルの真空下で、蒸発源６にセットしたス
テアリン酸７を蒸発させて、ポリエステルフィルム１上
のコバルト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層上
に、厚さが１００人のステアリン酸からなる保護膜層を
形成した。しかる後、所定の幅に裁断して、第２図に示
すような、ポリエステルフィルム１上に、強磁性金属薄
膜層１２およびステアリン酸からなる保護膜層１３を順
次に積層形成した磁気テープＡをつくった。
のポリエステルフィルム上にｌＸｌ０−５トールの真空
下でコバルト−ニッケル合金（原子比８０：２０）を加
熱蒸発させて、厚さ１５００人の強磁性金属薄膜層を形
成したポリエステルフィルム１を、内容積９００ｆの真
空槽２内で原反ロール３から円筒状キャン４の周側面に
沿って移動させ、巻き取りロール５に巻き取るようにセ
ントした。同時に真空槽２内下部に配設した蒸発源６に
ステアリン酸７をセットし、次いで、真空槽２の側壁に
設けた排気速度６５０ （１／ｍｉｎの油回転ポンプ８
で、真空槽２内を５分間排気し、真空度１トールとした
後、真空槽２の下底に、液体窒素トラップ９を介して連
続させて取りつけた排気速度が１０００１！／ｓｅｅの
油拡散ポンプ１０と、排気速度が６５０１ ／ｍｉｎの
油回転ポンプ１１で真空槽２内を３分間真空排気し、ｌ
Ｘｌ０−２）−ルの真空下で、蒸発源６にセットしたス
テアリン酸７を蒸発させて、ポリエステルフィルム１上
のコバルト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層上
に、厚さが１００人のステアリン酸からなる保護膜層を
形成した。しかる後、所定の幅に裁断して、第２図に示
すような、ポリエステルフィルム１上に、強磁性金属薄
膜層１２およびステアリン酸からなる保護膜層１３を順
次に積層形成した磁気テープＡをつくった。
実施例２
実施例１における保護膜層の形成において、油拡散ポン
プ１０および油回転ポンプ１１での真空排気を３分間か
ら１５分間に変更し、５Ｘ１０’トールの真空下で真空
蒸着を行った以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０
０人のステアリン酸からなる保護膜層を形成し、磁気テ
ープＡをつくった。
プ１０および油回転ポンプ１１での真空排気を３分間か
ら１５分間に変更し、５Ｘ１０’トールの真空下で真空
蒸着を行った以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０
０人のステアリン酸からなる保護膜層を形成し、磁気テ
ープＡをつくった。
実施例３
実施例１における保護膜層の形成において、ステアリン
酸に代えてステアリルアミンを使用した以外は実施例１
と同様にして、厚さ１００人のステアリルアミンからな
る保護膜層を形成し、磁気テープＡをつくった。
酸に代えてステアリルアミンを使用した以外は実施例１
と同様にして、厚さ１００人のステアリルアミンからな
る保護膜層を形成し、磁気テープＡをつくった。
実施例４
実施例２における保護膜層の形成において、ステアリン
酸に代えてステアリルアミンを使用した以外は実施例２
と同様にして、厚さ１００人のステアリルアミンからな
る保護膜層を形成し、磁気テープＡをつくった。
酸に代えてステアリルアミンを使用した以外は実施例２
と同様にして、厚さ１００人のステアリルアミンからな
る保護膜層を形成し、磁気テープＡをつくった。
比較例１
実施例１における保護膜層の形成において、油拡散ポン
プ１０および油回転ポンプ１１での真空排気を３分間か
ら２５分間に変更し、５×１０″トールの真空下で真空
蒸着を行った以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０
０人のステアリン酸からなる保護膜層を形成し、磁気テ
ープをつくった。
プ１０および油回転ポンプ１１での真空排気を３分間か
ら２５分間に変更し、５×１０″トールの真空下で真空
蒸着を行った以外は、実施例１と同様にして、厚さ１０
０人のステアリン酸からなる保護膜層を形成し、磁気テ
ープをつくった。
比較例２
実施例２における保護膜層の形成において、油拡散ポン
プ１０および油回転ポンプ１１での真空排気を３分間か
ら２５分間に変更し、５Ｘ１０−’トールの真空下で真
空蒸着を行った以外は、実施例２と同様にして厚さ１０
０人のステアリルアミンからなる保護膜層を形成し、磁
気テープをつくった。
プ１０および油回転ポンプ１１での真空排気を３分間か
ら２５分間に変更し、５Ｘ１０−’トールの真空下で真
空蒸着を行った以外は、実施例２と同様にして厚さ１０
０人のステアリルアミンからなる保護膜層を形成し、磁
気テープをつくった。
各実施例および比較例で得られた磁気テープについて、
スチル時間を測定した。
スチル時間を測定した。
下表はその結果である。
上表から明らかなように、この発明で得られた磁気テー
プ（実施例１〜４）は、いずれも従来の磁気テープ（比
較例１および２）に比し、スチル時間が長く、このこと
からこの発明によって得られる磁気記録媒体は耐久性に
優れていることがわかる。
プ（実施例１〜４）は、いずれも従来の磁気テープ（比
較例１および２）に比し、スチル時間が長く、このこと
からこの発明によって得られる磁気記録媒体は耐久性に
優れていることがわかる。
第１図はこの発明で保護膜層を製造するのに使用する真
空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図はこの発明
で得られた磁気テープの部分拡大断面図である。 １・・・ポリエステルフィルム（基体）、２・・・真空
槽、１２・・・強磁性金属薄膜層、１３・・・保護膜層
、Ａ・・・磁気テープ（磁気記録媒体） 第１図
空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図はこの発明
で得られた磁気テープの部分拡大断面図である。 １・・・ポリエステルフィルム（基体）、２・・・真空
槽、１２・・・強磁性金属薄膜層、１３・・・保護膜層
、Ａ・・・磁気テープ（磁気記録媒体） 第１図
Claims (1)
- １、基体上に磁性層を形成し、しかる後、この磁性層上
に、１×１０＾−＾３〜１×１０＾−＾１トールの真空
下で、極性基を有し直鎖状の炭化水素を骨格とする有機
化合物を蒸着して、保護膜層を設けることを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19022585A JPS6251028A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19022585A JPS6251028A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6251028A true JPS6251028A (ja) | 1987-03-05 |
Family
ID=16254563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19022585A Pending JPS6251028A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6251028A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006028273A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 炭化水素系有機薄膜からなる潤滑剤及び潤滑方法 |
| JP2009238756A (ja) * | 1997-11-17 | 2009-10-15 | Trustees Of Princeton Univ | 有機薄膜の低圧蒸着 |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP19022585A patent/JPS6251028A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009238756A (ja) * | 1997-11-17 | 2009-10-15 | Trustees Of Princeton Univ | 有機薄膜の低圧蒸着 |
| JP2006028273A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 炭化水素系有機薄膜からなる潤滑剤及び潤滑方法 |
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