JPS624301A - 発熱低抗体およびこれを用いたサ−マルヘツド - Google Patents

発熱低抗体およびこれを用いたサ−マルヘツド

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JPS624301A
JPS624301A JP60144297A JP14429785A JPS624301A JP S624301 A JPS624301 A JP S624301A JP 60144297 A JP60144297 A JP 60144297A JP 14429785 A JP14429785 A JP 14429785A JP S624301 A JPS624301 A JP S624301A
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JP
Japan
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heating resistor
thermal head
tungsten
aluminum
nitrogen
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Pending
Application number
JP60144297A
Other languages
English (en)
Inventor
隆稔 石川
雅一 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Publication date
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Priority to US06/879,271 priority patent/US4751518A/en
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Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N97/00Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「技術分野」 本発明は、高比抵抗で、かつ、耐熱安定性に侵れた発熱
抵抗体と、これを用いたサーマルヘッドに関する。
「従来技術およびその問題点」 一般に、サーマルヘッドは、薄いガラスグレーズ暦で表
面を覆ったセラミンクなどの電気絶縁性基板の上に、ド
ツト状の発熱抵抗体を形成するための発熱抵抗体層と、
この発熱抵抗体層に電流を供給するための給電用導体層
と、これらの層を酸化ならびに摩耗から保護するための
保護層とが積層されてできている。
従来、前記発熱抵抗体層としては、窒化タンタル(Ta
zN)の薄膜が広く用いられている。この窒化タンタル
薄膜は、発熱抵抗体として安定性、信頼性の点で優れた
特性を備えている。
しかし、この窒化タンタル薄膜は、比抵抗が約240用
Ω−amであるため、50Ω/口以上の高い面積抵抗値
が要求される場合には、膜厚を非常に薄くする必要があ
るために寿命特性が著しく損なわれ、使用に適していな
い。また、窒化タンタル薄膜を発熱抵抗体層として用い
たサーマルヘッドは、発熱部表面温度が400°C以上
になると、抵抗値の減少が生じ、さらに500°C以上
になると、抵抗値の減少は初期値の一10%以上に達す
る。これは、高温の下で窒化タンタルの再結晶化が進む
ために生じる抵抗値の減少であり、窒化タンタルを高温
で用いる場合の大きな問題の一つとなっている。
「発明の目的」 本発明の目的は、従来の窒化タンタルからなる発熱抵抗
体に比べて、高比抵抗で、かつ、耐熱安定性に優れた発
熱抵抗体を提供すること、およびこの発熱抵抗体を用い
たサーマルヘッドを提供することにある。
「発明の構成」 本発明の発熱抵抗体は、タングステン35〜45at、
%と、アルミニウム25〜35 at、%と、窒素10
〜20 at、%と、酸素5〜20 at、%とを含有
することを特徴とする。
また、本発明のサーマルヘッドは、上記組成からなる発
熱抵抗体層を備えていることを特徴とする。
本発明の発熱抵抗体の比抵抗は、タングステンもしくは
アルミニウムが増加すると低くなり、窒素もしくは酸素
が増加すると高くなるので、タングステン、アルミニウ
ム、窒素、酸素の含有率を調整することによって、所望
とする比抵抗を得ることができる。その比抵抗はいくら
でも大きな値をとることができるが、耐熱安定性や比抵
抗値の再現性などを考慮すると、タングステンの組成比
ハ35〜45 at、%、アルミニウムの組成比は25
〜35at、%、窒素の組成比は10〜20 at、%
、酸素の組成比は5〜20 at、%が適切な値とされ
る。この組成比での比抵抗は、1000〜5000.Ω
−cm程度である。これは1通常の高比抵抗の抵抗体で
実現されているものとほぼ同程度であり、充分大きな比
抵抗値である。
また、本発明の発熱抵抗体は、耐熱安定性が非常に優れ
ている。すなわち、1.3 X10=Pa (I X1
O−6Torr)の真空中で700°C,15分間の熱
処理を行なったときの抵抗値変化率(ΔR/R)で評価
したところ、前記組成比の発熱抵抗体の抵抗値変化率は
、±5%以内と大変安定であった。これに対して、窒化
タンタルの抵抗値変化率は−16〜−20%であった。
さらに、前記組成比の範囲でタングステン、アルミニウ
ム、窒素および酸素の含有率を調整することくより、抵
抗値変化率を0%にすることも可能である。
本発明において、各成分の組成比は、タングステン35
〜45 at、%、アルミニウム25〜35 at、%
、窒素10〜20 at、%、酸素5〜20 at、%
とされる。
タングステンが35 at、%未満もしくはアルミニウ
ムが25 at、%未満では、比抵抗が5000ルΩ−
Cff1以上になり、真空中における熱処理による抵抗
値変化率が+5%以上になる。そして、タングステンが
45 at、5以上もしくはアルミニウムが35 at
、5以上では、比抵抗が1000VLΩ−CffI以下
になり、抵抗値変化率は一5%以下になる。また、窒素
が10at、%未満もしくは酸素が5at、%未満では
、比抵抗がiooogΩ−cm以下になり、抵抗値変化
率が一5%以下になる。そして、窒素が20 at、5
以上もしくは酸素が20 at、5以上では、比抵抗が
5000WΩ−Cffi以上になり、抵抗値変化率が+
5%以上になる。
本発明の発熱抵抗体は、スパッタリング法によって形成
することができる。例えばアルミナ(Al2O2)ター
ゲットの上面にタングステンチップを置き、アルゴンガ
スと窒素ガスとの混合ガス雰囲気中で高周波マグネトロ
ン・スパッタリングを行なえばよい。
本発明のサーマルヘッドの構成は、特に限定されないが
1例えばガラスグレーズ層を施したセラミック類の絶縁
基板の上に、前記の組成からなる発熱抵抗体層と、アル
ミニウム等の金属薄膜からなる給電用導体層と、酸化シ
リコンと酸化タンタル等からなる保護層とを順次積層し
たものが採用される。
「発明の実施例」 実施例1 グレーズド・アルミナ基板上に、スパッタリング法によ
って発熱抵抗体の薄膜を形成した。すなわち、第2図に
示すように、円盤状のアルミナ(A1203)ターゲッ
ト1の上面に一辺がl Ommの正方形で厚さ1〜2m
mのタングステンチップ2を置く、この場合、タングス
テンチップ2の数を変えることにより、成膜される発熱
抵抗体薄膜中のタングステンの含有量を調整することが
できる。この複合ターゲットを用いて、グレーズド・ア
ルミナ基板を200°Cに加熱しながら、分圧0.2〜
0.9Pa(1,5X 10−3〜?、OX 1O−3
Torr)のアルゴンガスと、分圧0.01〜0.05
Pa(?、5X IP5〜4.OX fO−’Torr
)の窒素ガスとの混合ガス雰囲気中で高周波マグネトロ
ン命スパッタリングを行なうことにより、タングステン
と、アルミニウムと、酸素と、窒素とからなる発熱抵抗
体の薄膜を形成することができた。
実施例2 第1図に示すように、セラミック製の絶縁基板11上に
、厚さ約50ルmの薄いガラスグレーズ層12を形成し
、その上に実施例1と同様にしてタングステン37 a
t、%、アルミニウム31 at、%、窒素IBat、
%、酸素11 at、%からなる発熱抵抗体層13を約
0.13JLmの膜厚で形成する。続いて厚さ約1.2
p−mのアルミニウム薄膜からなる給電用導体層14を
形成し、発熱抵抗体層13および給電用導体層14を順
次フォトエツチングしてサーマルヘッドのパターンを形
成する。さらに、厚さ2JJ、mの酸化シリコンからな
る酸化防止保護膜15と、厚さ数JL11の酸化タンタ
ルからなる耐摩耗用保護膜16とを順次積層してサーマ
ルヘッドを作成した。
こうして作成したサーマルヘッドのステップ番ストレス
・テスト(S、S、T、)を行なった。S、S、T、と
は、サーマルヘッドの耐熱安定性を評価する加速試験の
一つであり、発熱抵抗体に適当なパルス電圧を一定時間
印加して初期の抵抗値に対する変化を測定し、発熱抵抗
体が焼き切れるまで印加電圧を徐々に高めていきながら
−1それぞれのステップにおける抵抗値の変化率をブロ
ー/ Fしたものである。この場合、S、S、T、の条
件は、パルス幅を1ミリ秒、周期を20ミリ秒とし、電
圧を0.5vきざみで10分ずつ印加し、抵抗値変化率
が+10%を超えるまで行なった。その結果を第3図に
示す、第3図の上部横軸には、それぞれの印加電圧にお
ける発熱部の表面温度が示されている。また、温度測定
には赤外線スポット温度計を使用した。図中、Aは本発
明の発熱抵抗体を用いたサーマルヘッドの特性を示し、
Bは従来の窒化タンタル薄膜からなる発熱抵抗体を用い
たサーマルヘッドの特性を示す。
第3図から明らかなように、従来のサーマルヘッドは、
曲線已に示すように、印加電力が約22W/mm2で、
発熱部表面温度が約400℃の点から抵抗値の減少が始
まる。ところが、本発明の発熱抵抗体を用いたサーマル
ヘッドは、曲線Aに示すように、印加電力が約43W/
mm2.発熱部の表面温度が700℃を超えてもその抵
抗値変化率は2%程度であり、耐熱安定性に大変優れて
いる。
「発明の効果」 以上説明したように、本発明によれば、タングステンと
アルミニウムと窒素と酸素とを所定の組成で含有するの
で、高比抵抗で、かつ、耐熱安定性に優れた発熱抵抗体
層を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるサーマルヘッドの実施例を示す要
部断面図、第2図は本発明による発熱抵抗体層をスパッ
タリング法で形成するためのターゲットを示す平面図、
第3図は上記実施例によるサーマルヘッドのステップ・
ストレスeテスト(S、S、↑、)の結果を示す図表で
ある。 図中、1はアルミナ(Al2O2)ターゲット、2はタ
ング′ステンチップ、11は絶縁基板、12はガラスグ
レーズ層、13は発熱抵抗体層、14は給電用導体層、
15は酸化防止保護膜、耐摩耗用保護膜である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)タングステン35〜45at.%と、アルミニウ
    ム25〜35at.%と、窒素10〜20at.%と、
    酸素5〜20at.%とを含有することを特徴とする発
    熱抵抗体。
  2. (2)タングステン35〜45at.%と、アルミニウ
    ム25〜35at.%と、窒素10〜20at.%と、
    酸素5〜20at.%とを含有する発熱抵抗体層を備え
    ていることを特徴とするサーマルヘッド。
JP60144297A 1985-07-01 1985-07-01 発熱低抗体およびこれを用いたサ−マルヘツド Pending JPS624301A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60144297A JPS624301A (ja) 1985-07-01 1985-07-01 発熱低抗体およびこれを用いたサ−マルヘツド
US06/879,271 US4751518A (en) 1985-07-01 1986-06-27 Heating resistor as a thermal head resistive element

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JPS624301A true JPS624301A (ja) 1987-01-10

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CN104005002A (zh) * 2014-05-19 2014-08-27 江苏科技大学 WAlN硬质纳米结构薄膜及制备方法

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US4751518A (en) 1988-06-14

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