JPS6242453A - 電荷結合装置 - Google Patents
電荷結合装置Info
- Publication number
- JPS6242453A JPS6242453A JP60181239A JP18123985A JPS6242453A JP S6242453 A JPS6242453 A JP S6242453A JP 60181239 A JP60181239 A JP 60181239A JP 18123985 A JP18123985 A JP 18123985A JP S6242453 A JPS6242453 A JP S6242453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage
- potential well
- transfer
- charge
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
各入力部からの電荷をそれぞれ蓄積する複数の蓄積部と
そこにＭ積された電荷を順次転送するチャネル部とを有
するマルチプレクサ電荷結合、装置において、 Ｍ積部のポテンシャル井戸を形成する蓄積電極を二つ以
上に分割することにより、 蓄積部からチャネル部への電荷転送時に蓄積部のポテン
シャル井戸を階段状にしてその電荷転送時間を短縮させ
ることを可能にしたものである。
そこにＭ積された電荷を順次転送するチャネル部とを有
するマルチプレクサ電荷結合、装置において、 Ｍ積部のポテンシャル井戸を形成する蓄積電極を二つ以
上に分割することにより、 蓄積部からチャネル部への電荷転送時に蓄積部のポテン
シャル井戸を階段状にしてその電荷転送時間を短縮させ
ることを可能にしたものである。
本発明は、電荷結合装置に係り、特に、撮像装置などに
用いられるマルチプレクサ電荷結合装置の電極構成に関
す。
用いられるマルチプレクサ電荷結合装置の電極構成に関
す。
マルチプレクサ（Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｏｒ）を構成した
電荷結合装置（ＣＣＤ）は、複数の入力電荷を同時に蓄
積し電荷転送を利用して時系列的に順次出力することか
ら、画像の走査に含まれる複数の画素を同時に読み取る
装置として撮像装置に賞月されるようになってきた。
電荷結合装置（ＣＣＤ）は、複数の入力電荷を同時に蓄
積し電荷転送を利用して時系列的に順次出力することか
ら、画像の走査に含まれる複数の画素を同時に読み取る
装置として撮像装置に賞月されるようになってきた。
この場合、画像の質を高めるため画素の高密度化と画素
数の増大が望まれており、これに伴いＣＣＤの電荷転送
の高速化が望まれている。
数の増大が望まれており、これに伴いＣＣＤの電荷転送
の高速化が望まれている。
第３図はマルチプレクサＣＣＤ従来例の模式的部分平面
図、第４図はその動作説明のため第３図Ａ−Ａ断面で見
た電極配置図（ａ）とポテンシャル井戸配置図（ｂ）〜
（ｄ）である。
図、第４図はその動作説明のため第３図Ａ−Ａ断面で見
た電極配置図（ａ）とポテンシャル井戸配置図（ｂ）〜
（ｄ）である。
第３図において、左側に縦に並ぶ複数の入力部１、各入
力部１の右側に一つ宛連接する複数の蓄積部２、その右
側にあって上記複数の蓄積部２に連接する縦長のチャネ
ル部３が配置され、これらの間は分離領域９ （斜線ハ
ツチングで示す領域）により仕切られている。
力部１の右側に一つ宛連接する複数の蓄積部２、その右
側にあって上記複数の蓄積部２に連接する縦長のチャネ
ル部３が配置され、これらの間は分離領域９ （斜線ハ
ツチングで示す領域）により仕切られている。
入力部１には入力ダイオード４と入力部１相互間に連通
した入力ゲート電極５とが、蓄積部２には蓄積部２相互
間に連通した蓄積電極６が、チャネル部３には各蓄積部
２に接して連通した転送ゲート電極７と縦方向に繰り返
し並ぶ転送電極８８〜８ｄとが設けられている。
した入力ゲート電極５とが、蓄積部２には蓄積部２相互
間に連通した蓄積電極６が、チャネル部３には各蓄積部
２に接して連通した転送ゲート電極７と縦方向に繰り返
し並ぶ転送電極８８〜８ｄとが設けられている。
そして電極５〜８ｄに電圧が印加されると、第４図に示
す如く、それぞれの電極の下には電極５〜８ｄに対応し
てポテンシャル井戸５讐〜８ｄＷが形成され（８ｂ〜８
ｄと８ｂＷ〜８ｄＷは図示されず）、その深さは各印加
電圧に比例する。なお分離領域９は、上記ポテンシャル
井戸の形成を阻止して所定の仕切を形成している。
す如く、それぞれの電極の下には電極５〜８ｄに対応し
てポテンシャル井戸５讐〜８ｄＷが形成され（８ｂ〜８
ｄと８ｂＷ〜８ｄＷは図示されず）、その深さは各印加
電圧に比例する。なお分離領域９は、上記ポテンシャル
井戸の形成を阻止して所定の仕切を形成している。
ポテンシャル井戸釦と６Ｗの深さは、後者を深くして一
定にしてあり、入力端となる入力ダイオード４から入っ
た入力部１の電荷Ｃは常に蓄積部２に流入している。そ
れで、ポテンシャル井戸７讐をポテンシャル井戸６Ｗよ
り浅くしておけば、第４図（ｂ１図示の如く、転送ゲー
ト７Ｇは閉ざされて入力部１からの電荷Ｃは蓄積部２に
蓄積される。
定にしてあり、入力端となる入力ダイオード４から入っ
た入力部１の電荷Ｃは常に蓄積部２に流入している。そ
れで、ポテンシャル井戸７讐をポテンシャル井戸６Ｗよ
り浅くしておけば、第４図（ｂ１図示の如く、転送ゲー
ト７Ｇは閉ざされて入力部１からの電荷Ｃは蓄積部２に
蓄積される。
そしてポテンシャル井戸８ａＷをポテンシャル井戸６Ｗ
より深くしておきポテンシャル井戸乃をポテンシャル井
戸６Ｗより深くすれば、第４図（Ｃ１図示の如く、蓄積
部２に蓄積された電荷Ｃは第３図図示転送ゲート７Ｇを
通してチャネル部３に転送される。
より深くしておきポテンシャル井戸乃をポテンシャル井
戸６Ｗより深くすれば、第４図（Ｃ１図示の如く、蓄積
部２に蓄積された電荷Ｃは第３図図示転送ゲート７Ｇを
通してチャネル部３に転送される。
この転送は各蓄積部２から一斉に行われる。
上記転送が終わってポテンシャル井戸踵を浅（すれば第
４図（ｄ）図示の如く転送ゲー）７Ｇが閉しられる。そ
の後チャネル部３においては、第３図図示転送パルスφ
ａ〜φｄの制御によりポテンシャル井戸８ａＷ〜８ｄ胃
の深さを順次変化させて、各蓄積部２から転送された電
荷Ｃをそれぞれ独立した状態で第３図図示矢印ａ方簡に
転送する。そしてその間は第４図（ｂ１図示の蓄積が進
められる。
４図（ｄ）図示の如く転送ゲー）７Ｇが閉しられる。そ
の後チャネル部３においては、第３図図示転送パルスφ
ａ〜φｄの制御によりポテンシャル井戸８ａＷ〜８ｄ胃
の深さを順次変化させて、各蓄積部２から転送された電
荷Ｃをそれぞれ独立した状態で第３図図示矢印ａ方簡に
転送する。そしてその間は第４図（ｂ１図示の蓄積が進
められる。
従って入力部１からの電荷の読み取りは、蓄積部２に蓄
積された電荷のチャネル部３への転送と、チャネル部３
内の電荷転送との交互の繰り返しにより行われる。
積された電荷のチャネル部３への転送と、チャネル部３
内の電荷転送との交互の繰り返しにより行われる。
一方、上記ＣＯＤを撮像装置に用いて画像の質を高める
ためには、 ■ 第３図において縦に並ぶ入力部１のピッチが細かい
こと、 ■ 蓄積部２に蓄積される電荷量が大きいこと、■ 電
荷転送時間が短いこと、 などが望まれる。
ためには、 ■ 第３図において縦に並ぶ入力部１のピッチが細かい
こと、 ■ 蓄積部２に蓄積される電荷量が大きいこと、■ 電
荷転送時間が短いこと、 などが望まれる。
ここで■と■の条件を満たそうとすれば、蓄積部２の入
力部１側端からチャネル部３側端（転送ゲート７Ｇ）に
至る距離が長くなる。
力部１側端からチャネル部３側端（転送ゲート７Ｇ）に
至る距離が長くなる。
そして一般に電荷転送における電荷放出側井戸の長さを
Ｌとすれば、電荷転送の時定数はＬ２／Ｄ （Ｄは電荷
の拡散係数）に比例するため、蓄積部２からチャネル部
３への電荷転送時間が長くなり上記■の条件に反する問
題がある。
Ｌとすれば、電荷転送の時定数はＬ２／Ｄ （Ｄは電荷
の拡散係数）に比例するため、蓄積部２からチャネル部
３への電荷転送時間が長くなり上記■の条件に反する問
題がある。
第１図は本発明による実施例の模式的部分平面図である
。
。
上記問題点は、第１図に示される如く、電荷を入力する
複数の入力部１と、各入力部１からの電荷をそれぞれ蓄
積する複数の蓄積部２と、各蓄積部２にそれぞれ繋がる
複数の転送ゲート７Ｇを通し各蓄積部２の電荷の転送を
受けて該電荷を順次転送゛するチャネル部３とを有し、
蓄積部２のポテンシャル井戸６Ｗを形成する蓄積電極６
が、転送ゲート７Ｇに近い領域と遠い領域との間で例え
ば蓄積電極６ａおよび６ｂの如く二つ以上に分割されて
なる本発明のＣＣＤによって解決される。
複数の入力部１と、各入力部１からの電荷をそれぞれ蓄
積する複数の蓄積部２と、各蓄積部２にそれぞれ繋がる
複数の転送ゲート７Ｇを通し各蓄積部２の電荷の転送を
受けて該電荷を順次転送゛するチャネル部３とを有し、
蓄積部２のポテンシャル井戸６Ｗを形成する蓄積電極６
が、転送ゲート７Ｇに近い領域と遠い領域との間で例え
ば蓄積電極６ａおよび６ｂの如く二つ以上に分割されて
なる本発明のＣＣＤによって解決される。
上記蓄積電極６！ｒ−例えば蓄積電極６ａおよび６ｂに
分割し、蓄積部２からチャネル部３へ電荷転送する際に
蓄積電極６ａが形成するポテンシャル井戸を浅（するこ
とにより、蓄積部２のポテンシャル井戸は上記転送ゲー
）７Ｇに向かって下りの階段状になり、電荷転送時間を
支配する前記ポテンシャル井戸の長さしは各階段で形成
されて従来より短（なり、その分に応じて電荷転送時間
が短縮される。
分割し、蓄積部２からチャネル部３へ電荷転送する際に
蓄積電極６ａが形成するポテンシャル井戸を浅（するこ
とにより、蓄積部２のポテンシャル井戸は上記転送ゲー
）７Ｇに向かって下りの階段状になり、電荷転送時間を
支配する前記ポテンシャル井戸の長さしは各階段で形成
されて従来より短（なり、その分に応じて電荷転送時間
が短縮される。
例えば、蓄積電極６ａと６ｂで形成するそれぞれのＬを
等しくすれば、Ｌは蓄積電極６を分割する前の略１／２
になり電荷転送時間は略１／４になる。
等しくすれば、Ｌは蓄積電極６を分割する前の略１／２
になり電荷転送時間は略１／４になる。
かくして、さきに述べた条件■と■を満足させなから■
を改善することが可能になる。
を改善することが可能になる。
以下、第１図およびその実施例動作説明のための第２図
の電極配置図（ａ）とポテンシャル井戸配置図（ｂｌ〜
（ｄｌを用い、実施例について説明する。
の電極配置図（ａ）とポテンシャル井戸配置図（ｂｌ〜
（ｄｌを用い、実施例について説明する。
第１図に示す実施例は、第３図に示す従来例における蓄
積電極６を二つに分割した蓄積電極６ａと６ｂで構成し
たものであり、その他は従来例と変わらない。
積電極６を二つに分割した蓄積電極６ａと６ｂで構成し
たものであり、その他は従来例と変わらない。
第１図においてＮ積電極６ａと６ｂは、従来例の蓄積電
極６の如（共に蓄積部２相互間に連通している。そして
両者は従来例の蓄積電極６が占める領域を部分し、前者
は入力部１側にあり転送ゲート７Ｇに遠い領域を占め、
後者は近い領域を占めている。
極６の如（共に蓄積部２相互間に連通している。そして
両者は従来例の蓄積電極６が占める領域を部分し、前者
は入力部１側にあり転送ゲート７Ｇに遠い領域を占め、
後者は近い領域を占めている。
蓄積電極６ａと６ｂが形成するポテンシャル井戸６ａ−
と６ｂＷ （両者が合わさってポテンシャル井戸６と
なる）に関しては第２図に示す如くである。
と６ｂＷ （両者が合わさってポテンシャル井戸６と
なる）に関しては第２図に示す如くである。
即ち、ポテンシャル井戸６ｂＷの深さは、従来例のポテ
ンシャル井戸６Ｗと同一で一定である。
ンシャル井戸６Ｗと同一で一定である。
ポテンシャル井戸６ａＷの深さは、蓄積部２が入力部１
からの電荷Ｃを蓄積する際には、図（ｂ１図示の如くポ
テンシャル井戸６ｂＷと同一であり、蓄積部２からチャ
ネル部３に電荷Ｃを転送する際には、図示（Ｃ）図示の
ようにポテンシャル井戸６開より浅くする。この浅くし
ておく状態は、図（ｄ＋図示の如く上記転送が終わって
転送ゲート７Ｇが閉じるまで継続する。
からの電荷Ｃを蓄積する際には、図（ｂ１図示の如くポ
テンシャル井戸６ｂＷと同一であり、蓄積部２からチャ
ネル部３に電荷Ｃを転送する際には、図示（Ｃ）図示の
ようにポテンシャル井戸６開より浅くする。この浅くし
ておく状態は、図（ｄ＋図示の如く上記転送が終わって
転送ゲート７Ｇが閉じるまで継続する。
かくすることにより、蓄積部２からチャネル部３に電荷
転送する際の電荷転送時間は、先に説明したように従来
例の略１／４に短縮される。そして言うまでもなく、そ
の他の動作は従来例と変わらない。
転送する際の電荷転送時間は、先に説明したように従来
例の略１／４に短縮される。そして言うまでもなく、そ
の他の動作は従来例と変わらない。
なお、蓄積電極６ａと６ｂの境界を凹凸状にしであるの
は、転送ゲー）７Ｇから見た両者によるそれぞれのポテ
ンシャル井戸の長さしの実効値を短くするための配慮か
らである。
は、転送ゲー）７Ｇから見た両者によるそれぞれのポテ
ンシャル井戸の長さしの実効値を短くするための配慮か
らである。
以上説明したように本発明の構成によれば、各入力部か
らの電荷をそれぞれ蓄積する複数の蓄積部とそこに蓄積
された電荷を順次転送するチャネル部とを有するマルチ
プレクサＣＣＤにおいて、蓄積部からチャネル部への電
荷転送時に蓄積部のポテンシャル井戸を階段状にしてそ
の転送時間を短縮させることが出来て、例えば該ＣＣＤ
を撮像装置に使用した際の画像の質の向上を可能にさせ
る効果がある。
らの電荷をそれぞれ蓄積する複数の蓄積部とそこに蓄積
された電荷を順次転送するチャネル部とを有するマルチ
プレクサＣＣＤにおいて、蓄積部からチャネル部への電
荷転送時に蓄積部のポテンシャル井戸を階段状にしてそ
の転送時間を短縮させることが出来て、例えば該ＣＣＤ
を撮像装置に使用した際の画像の質の向上を可能にさせ
る効果がある。
第１図は本発明による実施例の模式的部分平面図、
第２図は第１図図示実施例動作説明のための電極配置図
（ａｌとポテンシャル井戸配置図（１））〜ｆｄｌ、 第３図はマルチプレクサＣＣＤ従来例の模式的部分平面
図、 第４図は第３図図示従来例動作説明のための電極配置図
ｆａｌとポテンシャル井戸配置図（ｂ）〜（ｄ）、 である。 図において、 １は入力部、 ２は蓄積部、 ３はチャネル部、 ４は入力ダイオード、 ５は入力ゲート電極、 ６．６ａ、６ｂは蓄積電極、 ７は転送ゲート電極、 ８８〜８ｄは転送電極、 ９は分離領域、 ’５Ｗ 〜７Ｗ、 ６ａＷ 、６ｂＷ 、８ａ−はポテ
ンシャル井戸、７Ｇは転送ゲート、 Ｃは電荷、 φａ〜φｄは転送パルス、 である。 蕃１図 ＄２＠ 従来夕・１の模太的乎面図 革３Ｚ
（ａｌとポテンシャル井戸配置図（１））〜ｆｄｌ、 第３図はマルチプレクサＣＣＤ従来例の模式的部分平面
図、 第４図は第３図図示従来例動作説明のための電極配置図
ｆａｌとポテンシャル井戸配置図（ｂ）〜（ｄ）、 である。 図において、 １は入力部、 ２は蓄積部、 ３はチャネル部、 ４は入力ダイオード、 ５は入力ゲート電極、 ６．６ａ、６ｂは蓄積電極、 ７は転送ゲート電極、 ８８〜８ｄは転送電極、 ９は分離領域、 ’５Ｗ 〜７Ｗ、 ６ａＷ 、６ｂＷ 、８ａ−はポテ
ンシャル井戸、７Ｇは転送ゲート、 Ｃは電荷、 φａ〜φｄは転送パルス、 である。 蕃１図 ＄２＠ 従来夕・１の模太的乎面図 革３Ｚ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電荷を入力する複数の入力部（１）と、各該入力部（１
）からの電荷をそれぞれ蓄積する複数の蓄積部（２）と
、各該蓄積部（２）にそれぞれ繋がる複数の転送ゲート
（７Ｇ）を通し各該蓄積部（２）の電荷の転送を受けて
該電荷を順次転送するチャネル部（３）とを有し、 該蓄積部（２）のポテンシャル井戸（６Ｗ）を形成する
蓄積電極（６）が、該転送ゲート（７Ｇ）に近い領域と
遠い領域との間で二つ以上に分割されてなることを特徴
とする電荷結合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60181239A JPS6242453A (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 | 電荷結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60181239A JPS6242453A (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 | 電荷結合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6242453A true JPS6242453A (ja) | 1987-02-24 |
Family
ID=16097228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60181239A Pending JPS6242453A (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 | 電荷結合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6242453A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0661465A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-04 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線撮像素子 |
| US5624161A (en) * | 1994-05-31 | 1997-04-29 | Takashimaya Nippatsu Kogyo Co., Ltd. | Seat cushion pad supporting construction |
| US7731294B2 (en) | 2002-09-03 | 2010-06-08 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Seat |
-
1985
- 1985-08-19 JP JP60181239A patent/JPS6242453A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0661465A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-04 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線撮像素子 |
| US5624161A (en) * | 1994-05-31 | 1997-04-29 | Takashimaya Nippatsu Kogyo Co., Ltd. | Seat cushion pad supporting construction |
| US7731294B2 (en) | 2002-09-03 | 2010-06-08 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Seat |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0513666A1 (en) | CCD shift register | |
| EP0593922B1 (en) | Solid state imaging device having dual-H-CCD with a compound channel | |
| JPS6242453A (ja) | 電荷結合装置 | |
| DE3335681C2 (de) | Bildaufnahmeeinrichtung mit einem CCD-Bildfühler | |
| US5589698A (en) | Solid state imaging device having sliding potential gradient | |
| DE3605310A1 (de) | Bildsensor und bildaufnahmeeinrichtung | |
| EP0705029A2 (en) | Solid state imaging device | |
| US20090021630A1 (en) | Solid state imaging element and driving method thereof | |
| JPH04207368A (ja) | 固体撮像装置 | |
| DE19810072A1 (de) | Festkörper-Bildsensor | |
| JPS60187054A (ja) | 電荷転送装置およびその駆動方法 | |
| JPH0372790A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0693766B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPS59221177A (ja) | 電荷転送装置 | |
| JPH02304939A (ja) | 電荷転送素子 | |
| JP3153910B2 (ja) | 電荷転送装置 | |
| EP0039784A1 (en) | Serial parallel serial charge coupled device | |
| JPS62190754A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JP2892547B2 (ja) | 電荷結合素子 | |
| KR100259065B1 (ko) | Ccd 영상소자 | |
| JPH08330574A (ja) | 電荷転送装置、その駆動方法及び製造方法 | |
| JPS60136258A (ja) | 電荷結合装置 | |
| JPS6098673A (ja) | 電荷結合素子 | |
| JPH01272272A (ja) | 固体撮像装置の駆動方法 | |
| JPS62277761A (ja) | 固体イメ−ジセンサ− |