JPS6241486U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6241486U JPS6241486U JP1985133658U JP13365885U JPS6241486U JP S6241486 U JPS6241486 U JP S6241486U JP 1985133658 U JP1985133658 U JP 1985133658U JP 13365885 U JP13365885 U JP 13365885U JP S6241486 U JPS6241486 U JP S6241486U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- marker device
- laser marker
- laser
- air suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案実施例のレーザマーカのレーザ
光の開口部の縦断面図、第２図は従来例のレーザ
マーカのレーザ光の開口部の縦断面図である。 １……ウエハ、２……ウエハ置台、３……ガラ
ス板、４……光学系と外界の仕切り、５……ミラ
ー、６……レーザ光、７……空気吸引口、８……
空気吸引路、９……空気吸引ホース。
光の開口部の縦断面図、第２図は従来例のレーザ
マーカのレーザ光の開口部の縦断面図である。 １……ウエハ、２……ウエハ置台、３……ガラ
ス板、４……光学系と外界の仕切り、５……ミラ
ー、６……レーザ光、７……空気吸引口、８……
空気吸引路、９……空気吸引ホース。
Claims (1)
- 光学系の開口部にガラス板を有し、レーザ光が
このガラス板を通し下方から被加工物に照射され
るレーザマーカ装置において、前記ガラス板が水
平方向に対しある角度をもつて取り付けられ、か
つガラス板の下部に空気吸引口が設けられている
ことを特徴とするレーザマーカ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985133658U JPS6241486U (ja) | 1985-08-31 | 1985-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985133658U JPS6241486U (ja) | 1985-08-31 | 1985-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241486U true JPS6241486U (ja) | 1987-03-12 |
Family
ID=31034170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985133658U Pending JPS6241486U (ja) | 1985-08-31 | 1985-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6241486U (ja) |
-
1985
- 1985-08-31 JP JP1985133658U patent/JPS6241486U/ja active Pending