JPS624142A - Shifter for thin plate material - Google Patents
Shifter for thin plate materialInfo
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- JPS624142A JPS624142A JP14015885A JP14015885A JPS624142A JP S624142 A JPS624142 A JP S624142A JP 14015885 A JP14015885 A JP 14015885A JP 14015885 A JP14015885 A JP 14015885A JP S624142 A JPS624142 A JP S624142A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、カセットに収容した半導体やセラミックやガ
ラス等の薄板材(以下ウェハという)を。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a thin plate material (hereinafter referred to as a wafer) of semiconductor, ceramic, glass, etc. housed in a cassette.
他のカセット↓こ移し替える装置に関するものである。This relates to a device that transfers cassettes from other cassettes.
(従来の技術)
たとえば、半導体素子は、半導体ウェハに、金属蒸着・
フォトレジスト塗布・パターン焼付・現像・エツチング
・洗浄・剥膜不純物拡散等、多数の処理工程を施して製
造され、処理工程によっては、ウェハを1枚ずつ処理す
る場合と、多数めウェハをカセットに収容したままの状
態で同時に行なう場合がある。(Prior art) For example, semiconductor devices are manufactured by metal vapor deposition and
Manufactured through a number of processing steps such as photoresist coating, pattern baking, development, etching, cleaning, peeling and impurity diffusion. In some cases, this may be done at the same time while the cells are still contained.
カセットに収容したままの状態で処理する場合には、処
理工程によってウェハを他のカセットに移し替える必要
があり、この移し替え作業は、ウェハが人手に触れて汚
染されることを避けるため、従来は、ピンセット等で挾
持して移し替えていたが、ウェハが破損し易いため1作
業は熟練を要し、かつ甚だ面倒であった。When processing the wafer while it is still in the cassette, it is necessary to transfer the wafer to another cassette during the processing process. The wafer was transferred by holding it with tweezers or the like, but since the wafer was easily damaged, the wafer required skill and was extremely troublesome.
そのため、特開昭54−49673号公報に開示されて
いる如く、カセットに収容されたウェハをいったんバッ
ファーケースに挟着保持し、しかる後、他のカセットも
しくは石英製ボートをバッファーケースと対向する位置
へ移動させ、当該他のカセット等に移し替えるようにし
た装置、あるいは、特開昭56−161653号公報に
開示されている如く、ウェハ押上げ部材により、所定の
枚数間隔で位置するカセット内の複数のウェハをカセッ
トから押上げ、これら押上げられたウェハを、ウェハ抱
持部に挟着保持して水平移動し、他のカセットに移し替
える工程を所定回数繰返すようにしたウェハ移し替え装
置など、機械的に移し替える装置が知られている。Therefore, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 54-49673, the wafers housed in a cassette are once held in a buffer case, and then another cassette or a quartz boat is placed in a position facing the buffer case. A device that moves the wafers to another cassette or the like, or as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 161653/1980, uses a device to push up wafers in a cassette located at a predetermined number of wafer intervals. A wafer transfer device, etc. that repeats the process of pushing up a plurality of wafers from a cassette, holding these pushed up wafers in a wafer holding part, horizontally moving them, and transferring them to another cassette a predetermined number of times. , mechanical transfer devices are known.
(発明が解決しようとする問題点)
カセットに収容されたウェハを機械的に他力セットに移
し替える際には、ウェハが破損し易いため、両力セット
および中間に介在するウェハ挾持用具の支持溝の軸線方
向の相対位置を、精度よく合致させる必要がある。(Problem to be Solved by the Invention) When wafers housed in a cassette are mechanically transferred to a power set, the wafers are likely to be damaged. It is necessary to precisely match the relative positions of the grooves in the axial direction.
そのため、従来の装置は、製作に高精度を要したり、移
し替え開始時における両力セットの位置決め機構を単独
に設けたりして、装置が複雑かつ高価となる難点があっ
た。Therefore, conventional devices require high precision in manufacturing and require a separate positioning mechanism for the two-force set at the start of transfer, making the devices complicated and expensive.
(問題点を解決するための手段)
本発明は、台板上の少なくとも1個所のカセット載置位
置下方に、上端にウェハ支持具を備えた、少なくとも1
個の昇降杆を設けるとともに、カセットの上方を、前記
台板とは相対的に水平移動するウェハ抱持具を備えるウ
ェハの移し替え装置において、昇降杆の昇降と連動する
カセット位置決め手段を付設したことを特徴とするもの
である。(Means for Solving the Problems) The present invention provides at least one cassette mounting position below at least one cassette mounting position on the base plate, which is provided with a wafer support at the upper end.
In the wafer transfer device, the wafer transfer device is provided with two lifting rods and a wafer holder that moves horizontally above the cassette relative to the base plate, and is provided with cassette positioning means that interlocks with the lifting and lowering of the lifting rod. It is characterized by this.
本発明によると、例えば、抱持具を、ウェハを収容した
カセットの真上に位置させて、昇降杆を上昇させること
により1位置決め装置により1両カセットを所定位置に
位置決めするとともに、ウェハを、昇降杆上端の支持具
に移載し、上限で停止した支持具上のウェハを、抱持具
に移載した後。According to the present invention, for example, by positioning the holding tool directly above the cassette containing the wafer and raising the elevator rod, one positioning device positions one cassette at a predetermined position, and the wafer is After transferring the wafer to the support at the upper end of the lifting rod and stopping at the upper limit, the wafer on the support is transferred to the holding device.
昇降杆をいったん下降させて、抱持具を新たな空のカセ
ットの真上に、台板とは相対的に移送し、再び昇降杆を
上昇させて、ウェハを支持具に移載した後、昇降杆を下
限まで下降させることにより、ウェハを新たなカセット
に移載するようにして、上述の問題点の解決が図られる
。After lowering the elevating rod and moving the holder directly above the new empty cassette relative to the base plate, raising the elevating rod again and transferring the wafer to the support, By lowering the elevator rod to its lower limit, the wafer can be transferred to a new cassette, and the above-mentioned problem can be solved.
(作 用)
上述のように、本発明の装置においては、この種の装置
で重要なカセットの位置決めが、別個の駆動源を使用す
ることなく、昇降杆と連動して自動的に行なわれる。(Function) As described above, in the device of the present invention, the positioning of the cassette, which is important in this type of device, is automatically performed in conjunction with the lifting rod without using a separate drive source.
(実 施 例)
第1図と第2図は、本発明に係るウェハ移し替え装置の
一実施例要部を略示するもので、第1図は、当該装置の
側断面図であり、第2図は、第1図のA−A線矢視断面
図を示す。(Embodiment) FIGS. 1 and 2 schematically show the main parts of an embodiment of a wafer transfer device according to the present invention, and FIG. 1 is a side sectional view of the device, and FIG. FIG. 2 shows a sectional view taken along the line A--A in FIG. 1.
ケース(1)の全部の水平台板(2)に、所定間隔で、
開口した左右1対の窓孔(3)内には、載置枠(4)が
取付けられ、台板(2)の下方には、次記するような昇
降枠(5)が設置されている。At predetermined intervals on all the horizontal base plates (2) of the case (1),
A mounting frame (4) is installed in the pair of left and right window holes (3) that are opened, and a lifting frame (5) as described below is installed below the base plate (2). .
昇降枠(5)は、両載置枠(4)の下方において、水平
台板(2)と直角をなす左右1対の昇降杆(6)を、連
結杆(7)をもってH字形に連結してなり。The elevating frame (5) has a pair of left and right elevating rods (6) that are perpendicular to the horizontal base plate (2) and connected in an H-shape with a connecting rod (7) below both mounting frames (4). Tenari.
各昇降杆(6)は、ナツト(8)を介して、ケース(1
)内に立設された左右1対の案内杆(9)に昇降自在に
支持され、図示を省略した昇降駆動手段により、後述す
るように昇降させられる。Each lifting rod (6) is connected to the case (1) via a nut (8).
) is supported in a vertically movable manner by a pair of left and right guide rods (9), and is raised and lowered by a lifting drive means (not shown) as will be described later.
各昇降杆(6)の上端には、常時は、載置枠(4)の下
方に位置する左右1対の支持具(10)が装着され、そ
れらの上面には、所定ピッチの多数の受溝(11)が、
それぞれ対向して切設されている。A pair of left and right supports (10) located below the mounting frame (4) are normally attached to the upper end of each elevating rod (6), and a large number of receivers at a predetermined pitch are mounted on the upper surface of the supports (10). The groove (11) is
They are cut out to face each other.
これら両昇降杆(6)の前面中央部には、同一傾斜角度
をなす傾斜部(12)が刻設されている。An inclined portion (12) having the same inclination angle is carved in the center of the front surface of both of these lifting rods (6).
各昇降杆(6)の前面には、第1図に示す如く逆向り字
形に屈曲し、かつその屈曲部がピン(13a )により
ケース(1)に枢着されたリンク(13)の一端に枢着
されたローラ(14)が、リンク(13)を時計回り方
向に付勢する引張ばね(15)により圧接している。The front surface of each lifting rod (6) is bent in an inverted shape as shown in Fig. 1, and the bent portion is connected to one end of a link (13) pivotally connected to the case (1) by a pin (13a). A pivotally mounted roller (14) is pressed by a tension spring (15) which biases the link (13) in a clockwise direction.
リンク(13)の他端には、下端がリンク(13)に枢
着された連結杆(工6)が介在し、その上端は、リンク
(13)の上方において、基端がケース(1)に枢着さ
れた揺動板(17)の遊端に枢着され、揺動板(17)
の基端には、押圧腕(18)の基端が固着されている。A connecting rod (work 6) whose lower end is pivotally connected to the link (13) is interposed at the other end of the link (13), and its upper end is located above the link (13), and its base end is connected to the case (1). The swing plate (17) is pivotally connected to the free end of the swing plate (17).
The base end of a pressing arm (18) is fixed to the base end of the press arm (18).
通常の状態では、ローラ(14)が昇降杆(6)の傾斜
部(12)の上端に圧接しているため、押圧腕(18)
は、第1図の実線で示す如く、その遊端が、載置枠(4
)の内部に位置している。In a normal state, since the roller (14) is in pressure contact with the upper end of the inclined part (12) of the lifting rod (6), the pressing arm (18)
As shown by the solid line in Figure 1, the free end of the
) is located inside.
また、載置枠(4)の上面には、押圧腕(18)に対向
してストッパ(19)が固着され、リンク(13)、ロ
ーラ(14)、ばね(15)、連結杆(16)、揺動板
(17)、押圧腕(18)、ストッパ(19)が、後述
するようなカセット位置決め手段(20)を構成してい
る。Further, a stopper (19) is fixed to the upper surface of the mounting frame (4) facing the pressing arm (18), and a link (13), a roller (14), a spring (15), a connecting rod (16) , a swing plate (17), a pressing arm (18), and a stopper (19) constitute a cassette positioning means (20) as described later.
(21)は、載置枠(4)に載置された、上下両面が開
口する1例えば角筒状のカセットで、一方の対向する面
内側面には、等ピッチの多数のウェハ収容溝(22)が
切設されており、第1図および第2図左方のカセット(
21)は、多数のウェハ(23)が収容された状態を示
している。(21) is a rectangular cylindrical cassette placed on a mounting frame (4) and having both upper and lower surfaces open; 22) is cut out, and the cassette (
21) shows a state in which a large number of wafers (23) are accommodated.
ケース(1)の後部上方には、適宜の駆動手段により左
右に移動する搬送装置(24)が内設されており、その
移動に対応して、ケース(1)の後部上方前面に開口し
た長孔(25)からは、搬送装置(24)に連結された
左右1対の支持腕(26)が突出している。A conveyance device (24) that moves left and right by an appropriate drive means is installed inside the rear upper part of the case (1). A pair of left and right support arms (26) connected to the transport device (24) protrude from the hole (25).
この面支持腕(26)の前端部には、常時はカセット(
21)の直上において、対向面がウェハ(23)の直径
と等間隔を隔てて平行をなす、左右1対のウェハ抱持具
(27)が固着され、その対向面には、カセット(21
)内のウェハ(23)、すなわちカセット(21)のウ
ェハ収容溝(22)のピッチと等ピッチをもって、多数
の支持溝(28)が切設されている。At the front end of this surface support arm (26), a cassette (
A pair of left and right wafer holders (27) whose opposing surfaces are parallel to the diameter of the wafer (23) at equal intervals are fixed directly above the cassette (21).
) A large number of support grooves (28) are cut at a pitch equal to the pitch of the wafer storage grooves (22) of the wafer (23) in the cassette (21).
抱持具(27)は、搬送装置(24)に内蔵された適宜
の駆動手段により、その下端が近接する方向に傾動し、
近接した下端間の間隔は、上記対をなす支持具(10)
の外端間の間隔より、若干大きくなるように設定されて
いる。The holder (27) is tilted in a direction in which its lower end approaches by an appropriate drive means built into the transport device (24),
The distance between adjacent lower ends is determined by the pair of supports (10)
The distance is set to be slightly larger than the distance between the outer edges of the .
次に、上記ウェハ移し替え装置の動作を5図面につい°
て説明する。Next, the operation of the above-mentioned wafer transfer device will be explained with reference to the 5 drawings.
I will explain.
第1図と第2図に示すように、両方の載置枠(4)に、
カセット(21)をぞれぞれ粗位置決めして載置し、昇
降枠(5)を上昇させると、その上端の面支持具(lO
)は1両カセット(・21)内に、下方より突入を開始
する。これと同時に、位置決め手段(20)のローラ(
14)が、各昇降杆(6)の傾斜部(12)に沿って、
相対的に下降するので、ばね(15)の付勢により、リ
ンク(13)が時計回り方向に回動して、連結杆(16
)が上昇し、押圧腕(18)は、揺動板(17)ととも
に、第1図想像線で示す位置まで揺動して、両力セット
(21)が、ストッパ(19)に当接するまで押し込ま
れて、所定の位置に位置決めされる。左方のカセット(
21)内のウェハ(23)は、左方の支持具(10)の
受溝(11)に対応する位置に位置決めされる。As shown in Figures 1 and 2, both mounting frames (4) have
When the cassettes (21) are roughly positioned and placed, and the elevating frame (5) is raised, the surface support (lO
) begins to enter the 1-car cassette (21) from below. At the same time, the roller (
14) along the inclined part (12) of each lifting rod (6),
Since it is relatively lowered, the link (13) rotates clockwise due to the bias of the spring (15), and the connecting rod (16)
) rises, and the pressing arm (18) swings together with the rocking plate (17) to the position shown by the imaginary line in Figure 1 until the double force set (21) comes into contact with the stopper (19). It is pushed into position. The left cassette (
The wafer (23) in 21) is positioned at a position corresponding to the receiving groove (11) of the left support (10).
ついで、第3a図に示すように、各ウェハ(23)は、
上昇する支持具(10)の受溝(11)に嵌合して保持
され、押し上げられて、カセット(21)より抜は出す
と、次に抱持具(27)の下端が傾動して、ウェハ(2
3)は、支持具(10)から抱持具(27)に移し替え
られる。Then, as shown in FIG. 3a, each wafer (23) is
When the rising support (10) is fitted into the receiving groove (11) and held, pushed up and removed from the cassette (21), the lower end of the holding tool (27) is tilted. Wafer (2
3) is transferred from the support tool (10) to the holding tool (27).
ついで、第3b図に示すように、昇降枠(5)とともに
支持具(10)が若干下降すると、ウェハ(23)を保
持した抱持具(27)は、搬送装置(24)とともに、
右方のカセット(21)の真上まで移動する。Then, as shown in FIG. 3b, when the support (10) is slightly lowered together with the elevator frame (5), the holding tool (27) holding the wafer (23) is moved along with the transport device (24).
Move to right above the cassette (21) on the right.
すると、第3C図に示すように、昇降枠(5)が上昇し
て、各ウェハ(23)は、支持具(10)に移し替えら
れ、抱持具(27)の下端が回動して垂直となる。Then, as shown in FIG. 3C, the lifting frame (5) rises, each wafer (23) is transferred to the support (10), and the lower end of the holding tool (27) is rotated. It becomes vertical.
しかる後、第3d図に示すように、昇降枠(5)が下限
まで下降すると、支持具(10)上の各ウェハ(23)
は、予め位置決め装置(20)により位置決めされてい
る右方のカセット(21)内に収容される。Thereafter, as shown in FIG. 3d, when the lifting frame (5) descends to the lower limit, each wafer (23) on the support (10)
is housed in the right cassette (21), which has been positioned in advance by the positioning device (20).
上記した実施例は1台板上に開口した2個所のカセット
載置位置があり、該カセット載置位置に対応して、台板
下方に上下動可能に設けられた1対の昇降杆と、台板上
方で2個所のカセット載置位置に対向する位置間を適宜
移動する抱持具とで構成されるウェハ移し替え装置に、
本発明を適用した場合のものであるが1本発明の適用は
、かかるものだけに限定されるものではなく、台板上の
カセット載置位置が1個所で、昇降杆が1個の場合でも
、また上記した実施例の如く、抱持具が移動する形式の
ものでなく、抱持具は固定で、合板自体もしくは該台板
上に設けられたテーブルが移動するものでも、きわめて
容易に適用することができる。In the above-described embodiment, there are two cassette mounting positions opened on one base plate, and a pair of elevating rods are provided below the base plate so as to be movable up and down, corresponding to the cassette mounting positions. The wafer transfer device consists of a holding tool that moves appropriately between two cassette mounting positions above the base plate and opposite positions.
This is a case where the present invention is applied, but the application of the present invention is not limited to such a case, and even when there is only one cassette mounting position on the base plate and one lifting rod. Also, unlike the above-mentioned embodiment, the holding tool is not movable, but the holding tool is fixed and the plywood itself or the table provided on the base plate is movable, and it can be applied very easily. can do.
(発明の効果)
上述のように、本発明の装置によれば、同一駆動源によ
り、昇降枠の上昇と同時に、カセットが正しい位置に自
動的に位置決めされて、昇降枠が上昇している間、固定
されるので、ウェハの受は渡しが確実に行なわれるとと
もに、支持具がカセット内のウェハを受は取る際、カセ
ットが動揺して、ウェハがカセットに接触して破損する
ことがなく、かつ装置が簡素化されて安価となる。(Effects of the Invention) As described above, according to the device of the present invention, the cassette is automatically positioned at the correct position simultaneously with the lifting frame by the same driving source, and the cassette is automatically positioned at the correct position while the lifting frame is rising. Since the wafers are fixed, the wafers can be transferred reliably, and when the supporter picks up and receives the wafers in the cassette, the cassette does not shake and the wafers do not come into contact with the cassette and be damaged. Moreover, the device is simplified and inexpensive.
また、本装置は、半導体ウェハに限らず、破損し易い薄
板材を1人手に触れずにカセット間を移し替える際に使
用して、効果がある。Further, this device is effective when used not only for semiconductor wafers but also for transferring easily damaged thin plate materials between cassettes without touching them by one person.
第1図は、本発明装置の要部を示す縦断側面図、第2図
は、第1図のA−A線における断面図、第3図は、本発
明装置の動作を示す正面略示図で、
第3a図は、押し上げられたウェハが抱持具に抱持され
た状況を、
第3b図は、ウェハが他方のカセットの真上に移送され
た状況を。
第3c図は、移送されたウェハが、他方のカセットの真
上において、支持具に受は取られた状況を。
第3d図は、ウェハが他方のカセット内に収容された状
況を、それぞれ示す。
(1)ケース (2)台 板(3)窓 孔
(4)載置枠(5)昇降枠 (6
)昇降杆(7)連結杆 (8)支持腕(9)
案内杆 (10)支持具(11)受 溝
(12)傾斜部(13)リンク (
13a)ピン(13b)水平片 (14)ロー
ラ(15)引張ばね (16)連結杆(17)
揺動板 (18)押圧腕(19)ストッパ
(20)位置決め手段(21)カセット
(22)収容溝(23)ウェハ (24
)搬送装置(25)長 孔 (26)支持腕
(27)抱持具 (28)支持溝第1図
ヒA
第2図
第3a図
り1
第3b図
第3d図FIG. 1 is a vertical sectional side view showing the main parts of the device of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line A-A in FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic front view showing the operation of the device of the present invention. Fig. 3a shows a situation in which the wafer that has been pushed up is held by a holding tool, and Fig. 3b shows a situation in which the wafer is transferred directly above the other cassette. FIG. 3c shows a situation in which the transferred wafer is received by a support just above the other cassette. Figure 3d each shows the situation in which the wafers are accommodated in the other cassette. (1) Case (2) Base board (3) Window hole
(4) Loading frame (5) Lifting frame (6
) Lifting rod (7) Connecting rod (8) Support arm (9)
Guide rod (10) Support (11) Receiving groove
(12) Inclined part (13) Link (
13a) Pin (13b) Horizontal piece (14) Roller (15) Tension spring (16) Connecting rod (17)
Rocking plate (18) Pressing arm (19) Stopper
(20) Positioning means (21) Cassette
(22) Accommodating groove (23) Wafer (24
) Conveying device (25) Long hole (26) Support arm (27) Holding device (28) Support groove (Fig. 1) Fig. 2 (Fig. 3a) Fig. 1 (Fig. 3b) Fig. 3d
Claims (2)
個所設けられた台板と、該開口に対応して台板下方に上
下動可能に設けられた少なくとも1個の昇降杆と、台板
上部で該台板とは相対移動して適宜台板上のカセット載
置位置に対向し、昇降杆に保持された薄板材を、その最
上昇位置で受授する抱持具とからなる薄板材の移し替え
装置において、昇降杆の上昇に連動して、台板上に載置
されたカセットを、所定位置に位置決めするための手段
を付設したことを特徴とする薄板材の移し替え装置。(1) At least one opening corresponding to the cassette placement position
A base plate provided at a location, at least one elevating rod provided vertically movably below the base plate in correspondence with the opening, and at the top of the base plate, the base plate is moved relative to the base plate to appropriately raise the base plate. In a thin plate material transfer device comprising a holding tool that faces a cassette mounting position and receives the thin plate material held by a lifting rod at its highest position, in conjunction with the rise of the lifting rod, A device for transferring thin plate materials, characterized in that the device is equipped with means for positioning a cassette placed on a base plate at a predetermined position.
1対とし、各昇降杆を一体的に昇降させるようにした特
許請求の範囲第(1)項に記載の薄板材の移し替え装置
。(2) Transfer of the thin plate material according to claim (1), in which two openings are provided on the base plate, a pair of lifting rods are provided, and each lifting rod is raised and lowered integrally. Device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14015885A JPS624142A (en) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | Shifter for thin plate material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14015885A JPS624142A (en) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | Shifter for thin plate material |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS624142A true JPS624142A (en) | 1987-01-10 |
JPH0211489B2 JPH0211489B2 (en) | 1990-03-14 |
Family
ID=15262215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14015885A Granted JPS624142A (en) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | Shifter for thin plate material |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPS624142A (en) |
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