JPS6241145U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6241145U JPS6241145U JP1985132930U JP13293085U JPS6241145U JP S6241145 U JPS6241145 U JP S6241145U JP 1985132930 U JP1985132930 U JP 1985132930U JP 13293085 U JP13293085 U JP 13293085U JP S6241145 U JPS6241145 U JP S6241145U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recognition symbol
- convex portion
- substrate
- mirror
- concavo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985132930U JPS6241145U (it) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985132930U JPS6241145U (it) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6241145U true JPS6241145U (it) | 1987-03-12 |
Family
ID=31032774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985132930U Pending JPS6241145U (it) | 1985-08-30 | 1985-08-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6241145U (it) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129578A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Nec Corp | 半導体基板の製造装置及び製造方法 |
JP2002116533A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Dainippon Printing Co Ltd | エリアコード付きフォトマスク用ブランクスとエリアコード付きフォトマスク、およびフォトマスクの製造方法 |
JP2006309143A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス |
JP2007033857A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、マスクブランクスの製造方法、及びマスクブランクス |
US7226705B2 (en) | 2001-09-28 | 2007-06-05 | Hoya Corporation | Method of manufacturing a mask blank and a mask, the mask blank and the mask, and useless film removing method and apparatus |
JP2011070214A (ja) * | 2005-03-30 | 2011-04-07 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス |
JP2015089861A (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | 日本電気硝子株式会社 | 薄板ガラスおよび薄板ガラスの製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58144829A (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-29 | Hoya Corp | フオトマスクブランクス用基板のマ−キング方法 |
JPS5915938A (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-27 | Hoya Corp | マ−キングを施されたフオトマスクブランクス用基板 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP1985132930U patent/JPS6241145U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58144829A (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-29 | Hoya Corp | フオトマスクブランクス用基板のマ−キング方法 |
JPS5915938A (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-27 | Hoya Corp | マ−キングを施されたフオトマスクブランクス用基板 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129578A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Nec Corp | 半導体基板の製造装置及び製造方法 |
JP2002116533A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Dainippon Printing Co Ltd | エリアコード付きフォトマスク用ブランクスとエリアコード付きフォトマスク、およびフォトマスクの製造方法 |
US7226705B2 (en) | 2001-09-28 | 2007-06-05 | Hoya Corporation | Method of manufacturing a mask blank and a mask, the mask blank and the mask, and useless film removing method and apparatus |
JP2006309143A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス |
JP2011070214A (ja) * | 2005-03-30 | 2011-04-07 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス |
KR101161452B1 (ko) * | 2005-03-30 | 2012-07-20 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크 유리기판의 제조방법, 마스크 블랭크의제조방법, 마스크의 제조방법, 마스크 블랭크 유리기판,마스크 블랭크, 및 마스크 |
JP2012190044A (ja) * | 2005-03-30 | 2012-10-04 | Hoya Corp | マスクブランクスおよびマスクブランクスの製造方法 |
KR101306392B1 (ko) * | 2005-03-30 | 2013-09-09 | 호야 가부시키가이샤 | 마스크 블랭크 유리기판의 제조방법, 마스크 블랭크의 제조방법, 마스크의 제조방법, 마스크 블랭크 유리기판, 마스크 블랭크, 및 마스크 |
TWI463248B (zh) * | 2005-03-30 | 2014-12-01 | Hoya Corp | 空白光罩玻璃基板之製法、空白光罩之製法、光罩之製法、空白光罩玻璃基板 、空白光罩及光罩 |
JP2007033857A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Hoya Corp | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、マスクブランクスの製造方法、及びマスクブランクス |
JP2015089861A (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | 日本電気硝子株式会社 | 薄板ガラスおよび薄板ガラスの製造方法 |