JPS6241145U - - Google Patents

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JPS6241145U
JPS6241145U JP1985132930U JP13293085U JPS6241145U JP S6241145 U JPS6241145 U JP S6241145U JP 1985132930 U JP1985132930 U JP 1985132930U JP 13293085 U JP13293085 U JP 13293085U JP S6241145 U JPS6241145 U JP S6241145U
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09129578A (ja) * 1995-10-31 1997-05-16 Nec Corp 半導体基板の製造装置及び製造方法
JP2002116533A (ja) * 2000-10-11 2002-04-19 Dainippon Printing Co Ltd エリアコード付きフォトマスク用ブランクスとエリアコード付きフォトマスク、およびフォトマスクの製造方法
JP2006309143A (ja) * 2005-03-30 2006-11-09 Hoya Corp マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス
JP2007033857A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Hoya Corp マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、マスクブランクスの製造方法、及びマスクブランクス
US7226705B2 (en) 2001-09-28 2007-06-05 Hoya Corporation Method of manufacturing a mask blank and a mask, the mask blank and the mask, and useless film removing method and apparatus
JP2011070214A (ja) * 2005-03-30 2011-04-07 Hoya Corp マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス
JP2015089861A (ja) * 2013-11-06 2015-05-11 日本電気硝子株式会社 薄板ガラスおよび薄板ガラスの製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58144829A (ja) * 1982-02-22 1983-08-29 Hoya Corp フオトマスクブランクス用基板のマ−キング方法
JPS5915938A (ja) * 1982-07-19 1984-01-27 Hoya Corp マ−キングを施されたフオトマスクブランクス用基板

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58144829A (ja) * 1982-02-22 1983-08-29 Hoya Corp フオトマスクブランクス用基板のマ−キング方法
JPS5915938A (ja) * 1982-07-19 1984-01-27 Hoya Corp マ−キングを施されたフオトマスクブランクス用基板

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09129578A (ja) * 1995-10-31 1997-05-16 Nec Corp 半導体基板の製造装置及び製造方法
JP2002116533A (ja) * 2000-10-11 2002-04-19 Dainippon Printing Co Ltd エリアコード付きフォトマスク用ブランクスとエリアコード付きフォトマスク、およびフォトマスクの製造方法
US7226705B2 (en) 2001-09-28 2007-06-05 Hoya Corporation Method of manufacturing a mask blank and a mask, the mask blank and the mask, and useless film removing method and apparatus
JP2006309143A (ja) * 2005-03-30 2006-11-09 Hoya Corp マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス
JP2011070214A (ja) * 2005-03-30 2011-04-07 Hoya Corp マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス
KR101161452B1 (ko) * 2005-03-30 2012-07-20 호야 가부시키가이샤 마스크 블랭크 유리기판의 제조방법, 마스크 블랭크의제조방법, 마스크의 제조방법, 마스크 블랭크 유리기판,마스크 블랭크, 및 마스크
JP2012190044A (ja) * 2005-03-30 2012-10-04 Hoya Corp マスクブランクスおよびマスクブランクスの製造方法
KR101306392B1 (ko) * 2005-03-30 2013-09-09 호야 가부시키가이샤 마스크 블랭크 유리기판의 제조방법, 마스크 블랭크의 제조방법, 마스크의 제조방법, 마스크 블랭크 유리기판, 마스크 블랭크, 및 마스크
TWI463248B (zh) * 2005-03-30 2014-12-01 Hoya Corp 空白光罩玻璃基板之製法、空白光罩之製法、光罩之製法、空白光罩玻璃基板 、空白光罩及光罩
JP2007033857A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Hoya Corp マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、マスクブランクスの製造方法、及びマスクブランクス
JP2015089861A (ja) * 2013-11-06 2015-05-11 日本電気硝子株式会社 薄板ガラスおよび薄板ガラスの製造方法

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