JPS6234104A - 偏光ビ−ムスプリツタ及びその製造方法 - Google Patents
偏光ビ−ムスプリツタ及びその製造方法Info
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- JPS6234104A JPS6234104A JP17460885A JP17460885A JPS6234104A JP S6234104 A JPS6234104 A JP S6234104A JP 17460885 A JP17460885 A JP 17460885A JP 17460885 A JP17460885 A JP 17460885A JP S6234104 A JPS6234104 A JP S6234104A
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- Japan
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- plate
- prism
- prisms
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- thin film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野」
この発明は例えば、光通信、光ディスク・ドライバ、光
フアイバ応用センサなどの光を情報伝達手段に利用する
光電子工学の分野で使用する偏光ビーム・スプリッタ、
とくに反射型の偏光ビーム・スプリッタ及びその製造方
法に関するものである。
フアイバ応用センサなどの光を情報伝達手段に利用する
光電子工学の分野で使用する偏光ビーム・スプリッタ、
とくに反射型の偏光ビーム・スプリッタ及びその製造方
法に関するものである。
[従来の技術j
第7図は例えば、株式会社応用光電研究室のUptic
alPantscatalog(1984年1月作tJ
X、)第31ページに掲載の従来の偏光ビームスプリッ
タを示す斜視図、第8図はその光路を示す説明図である
。第7〜8図において、(11) (12)はセルぞn
尤の入射面(lli) (12i) 、射出而(llo
) (12o)、全反射面(llr) (12r)の3
つの光学的平面どもら、上記入射面(lli、) (1
2i)と射出面(110) (12o)とが直角?なす
90度プリズムで、光学ガラスなどの光学的等方体でつ
くられている。(2)はこの90度プリズム2個の接合
面である全反射面の一方に蒸着した偏光性の誘電体多層
薄膜である。
alPantscatalog(1984年1月作tJ
X、)第31ページに掲載の従来の偏光ビームスプリッ
タを示す斜視図、第8図はその光路を示す説明図である
。第7〜8図において、(11) (12)はセルぞn
尤の入射面(lli) (12i) 、射出而(llo
) (12o)、全反射面(llr) (12r)の3
つの光学的平面どもら、上記入射面(lli、) (1
2i)と射出面(110) (12o)とが直角?なす
90度プリズムで、光学ガラスなどの光学的等方体でつ
くられている。(2)はこの90度プリズム2個の接合
面である全反射面の一方に蒸着した偏光性の誘電体多層
薄膜である。
従来の偏光ビームスプリッタは上記のようIC2個の9
0度プリズム(11) (12)をその接合面の一方に
偏光性の誘電体多層薄膜(2)を蒸着した後、光学用接
着剤?用いて接合したものであり、例えば、発光ダイオ
ードやレーザ・ダイオードから発するi[0,5〜1.
6μmの光重が一方の90度プリズム(11)の入射面
(lli)に入射すると、偏光性の誘電体多層薄膜(2
)において、この透過軸に平行な成分(P−成分)rt
この誘電体多層薄膜(2)?透過し、他方の90度プリ
ズム(12〕の射出1fi(12o)から透過光Tとし
て射出し、また、誘電体多層薄膜(2)の透過軸に垂直
な成分(S−成分)は誘電体多層薄膜(2)を透過せず
に反射され、同じ90度プリズム(11)の射出而(l
lo)から反射光Rとして射出する。
0度プリズム(11) (12)をその接合面の一方に
偏光性の誘電体多層薄膜(2)を蒸着した後、光学用接
着剤?用いて接合したものであり、例えば、発光ダイオ
ードやレーザ・ダイオードから発するi[0,5〜1.
6μmの光重が一方の90度プリズム(11)の入射面
(lli)に入射すると、偏光性の誘電体多層薄膜(2
)において、この透過軸に平行な成分(P−成分)rt
この誘電体多層薄膜(2)?透過し、他方の90度プリ
ズム(12〕の射出1fi(12o)から透過光Tとし
て射出し、また、誘電体多層薄膜(2)の透過軸に垂直
な成分(S−成分)は誘電体多層薄膜(2)を透過せず
に反射され、同じ90度プリズム(11)の射出而(l
lo)から反射光Rとして射出する。
〔発明が解決しようとする問題点J
上記のように構成された従来の偏光ビーム・スプリンタ
では偏光性の誘電体多層薄膜(2)を透過する透過光は
入射光と同じ方向に射出さ八るfi過型であり、反射光
と同じ方向に透過光が射出する反射型の偏光ビーム・ス
プリッタが必要の場合、90度プリズムを更にl (l
!追加して組み合わせねばならなかった。また、従来の
偏光ビーム・スプリンタの製造方法では、2個の90度
プリズム(11)(12)の光学的平面合計6thlを
研磨洗浄・乾燥する前処理工程さ、これら2個の9υ度
プリズム(11)(12)の接合面のいずれか一方に偏
光性の誘電体多層薄膜を蒸着する工程と、これら2個の
90度プリズム(11) (12)を光学用接着剤を用
いて接合する工程の各工程において、9゛0度プリズム
に傾斜面が含まれるなめ、収り扱いには特殊な治具が必
要であり、量産するには、非常に能率が悪いと云う問題
点があった。
では偏光性の誘電体多層薄膜(2)を透過する透過光は
入射光と同じ方向に射出さ八るfi過型であり、反射光
と同じ方向に透過光が射出する反射型の偏光ビーム・ス
プリッタが必要の場合、90度プリズムを更にl (l
!追加して組み合わせねばならなかった。また、従来の
偏光ビーム・スプリンタの製造方法では、2個の90度
プリズム(11)(12)の光学的平面合計6thlを
研磨洗浄・乾燥する前処理工程さ、これら2個の9υ度
プリズム(11)(12)の接合面のいずれか一方に偏
光性の誘電体多層薄膜を蒸着する工程と、これら2個の
90度プリズム(11) (12)を光学用接着剤を用
いて接合する工程の各工程において、9゛0度プリズム
に傾斜面が含まれるなめ、収り扱いには特殊な治具が必
要であり、量産するには、非常に能率が悪いと云う問題
点があった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、極めて簡単に製作し得、かつuM光性の多層薄膜と
透過する透過光が上記の偏光性の多層薄膜を透過しない
反射光と同じ方向に射出する反射型の偏光ビーム・スプ
リッタを得ることを目的とする。
で、極めて簡単に製作し得、かつuM光性の多層薄膜と
透過する透過光が上記の偏光性の多層薄膜を透過しない
反射光と同じ方向に射出する反射型の偏光ビーム・スプ
リッタを得ることを目的とする。
ま念、この発明の別の発明は上記の偏光ビーム・スプリ
ンタを簡単かつ能率よく製造する製造方法と得ることと
目的とする。
ンタを簡単かつ能率よく製造する製造方法と得ることと
目的とする。
[問題点を解決するための手段J
この発明に係る偏光ビーム・スプリンタは少なくとも光
の入射mj−射出血・全反射面の3つの光学的平面をも
ち、光学的等方体でつくられた90度プリズムの全反射
面に光学的等方体でつくられた直方体のプレートを偏光
性の多層薄膜を介して接合したものである。
の入射mj−射出血・全反射面の3つの光学的平面をも
ち、光学的等方体でつくられた90度プリズムの全反射
面に光学的等方体でつくられた直方体のプレートを偏光
性の多層薄膜を介して接合したものである。
また、この発明の偏光ビーム・スプリンタの製造方法は
、上記90度プリズム複数個をそれぞれの全反射面と接
合面として光学的等方体でつくられ念1枚のプレートの
表面に接合する工程と、上記複数個の90度プリズムの
全反射面を上記プレートの表面のいずれか一方に偏光性
の多層薄膜を蒸着する工程々、上記90度プリズム毎に
プレートをり[街する工程からなる製造方法である。
、上記90度プリズム複数個をそれぞれの全反射面と接
合面として光学的等方体でつくられ念1枚のプレートの
表面に接合する工程と、上記複数個の90度プリズムの
全反射面を上記プレートの表面のいずれか一方に偏光性
の多層薄膜を蒸着する工程々、上記90度プリズム毎に
プレートをり[街する工程からなる製造方法である。
[作用]
この発ゆJに↓・いては、偏光ビーム・スプリングが9
0度プリズムとこの90度プリズムの全反射面に接合す
る直方体のプレートとを多層薄膜を介して接合したもの
であるから光が入射して偏光性の多層薄膜と透過する透
過光が上記プレートにより反射され上記偏光性の多層薄
膜で反射する反射光と同じ方向に射出する。
0度プリズムとこの90度プリズムの全反射面に接合す
る直方体のプレートとを多層薄膜を介して接合したもの
であるから光が入射して偏光性の多層薄膜と透過する透
過光が上記プレートにより反射され上記偏光性の多層薄
膜で反射する反射光と同じ方向に射出する。
また、この発明の製造方法においては、蒸着された偏光
性の多層薄膜を介して複数個の90度プリズムが接合さ
れたブレートド各90度プリズム毎に切断するものであ
るから極めて筒単にかつ能率よく偏光ビーム・スプリン
タを製造することができる。
性の多層薄膜を介して複数個の90度プリズムが接合さ
れたブレートド各90度プリズム毎に切断するものであ
るから極めて筒単にかつ能率よく偏光ビーム・スプリン
タを製造することができる。
[実冗例」
第1図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第2図はそ
の光路と示す説明図である。第1〜2図において、(2
) (n)は上記従来装置と全く同一のものであり、(
3)は光学的等方体である光学ガラスでつくら7″した
直方体のプレートで、その一方の面(Ji)は偏光性の
誘電体多層薄膜(2)が蒸着され上記90度プリズム(
11)の全反射面(llr)に接合されている。(3r
)は上記直方体のプレート(3)の接合されない機力の
而である。
の光路と示す説明図である。第1〜2図において、(2
) (n)は上記従来装置と全く同一のものであり、(
3)は光学的等方体である光学ガラスでつくら7″した
直方体のプレートで、その一方の面(Ji)は偏光性の
誘電体多層薄膜(2)が蒸着され上記90度プリズム(
11)の全反射面(llr)に接合されている。(3r
)は上記直方体のプレート(3)の接合されない機力の
而である。
上記のように構成されたこの発明による偏光ビーム・ス
プリッタに放ては、例えば、発光ダイオード?レーデ・
ダイオードから発する波長0,5〜1゜6μmの光重が
90度プリズム(11)の入射面(lli)に入射する
と、偏光性の誘電体多層薄膜(2)の透過軸に平行な成
分(P−成分)はこの誘電体多層薄膜(2)を透過し、
90度プリズム(11)に接合した直方体のグレート(
3)の能力の面(3r)で全反射し、再び偏光性の誘電
体多層薄膜(2)を透過して90度プリズム(11)の
射出面(llo)から透過光Tとして射出する。1曳方
、偏光性の誘電体多層薄膜(2)の透過軸に圭直な成分
(S−成分)は全反射され、90度プリズム(11)の
射出面(llo)から反射光Rとして射出する。したが
って、上記反射光Rと透過光Tは90度プリズム(11
)の射出面(llo)から平行して一定の間隔りでもっ
て射出することになる。
プリッタに放ては、例えば、発光ダイオード?レーデ・
ダイオードから発する波長0,5〜1゜6μmの光重が
90度プリズム(11)の入射面(lli)に入射する
と、偏光性の誘電体多層薄膜(2)の透過軸に平行な成
分(P−成分)はこの誘電体多層薄膜(2)を透過し、
90度プリズム(11)に接合した直方体のグレート(
3)の能力の面(3r)で全反射し、再び偏光性の誘電
体多層薄膜(2)を透過して90度プリズム(11)の
射出面(llo)から透過光Tとして射出する。1曳方
、偏光性の誘電体多層薄膜(2)の透過軸に圭直な成分
(S−成分)は全反射され、90度プリズム(11)の
射出面(llo)から反射光Rとして射出する。したが
って、上記反射光Rと透過光Tは90度プリズム(11
)の射出面(llo)から平行して一定の間隔りでもっ
て射出することになる。
なお、上記実施例では、90度プリズム(11)と直方
体のプレート(3)は光学的等方体である光学ガラスで
つくられたものとしているが、同じ光学的等力体である
光学用プラスチックであっても上記と同様の機能が期待
でき、製造が容量になる。
体のプレート(3)は光学的等方体である光学ガラスで
つくられたものとしているが、同じ光学的等力体である
光学用プラスチックであっても上記と同様の機能が期待
でき、製造が容量になる。
ま之、上記この発明の実施例でrfi直方体のグレート
(3)の接合向(31)に−光性の誘電体多層薄膜(2
)を蒸着した場合について示したが、この誘電体多層薄
膜(2)を90度プリズム(11)の接合向である全反
射面(llr)に蒸着しても、上記と同様の効果と期待
できることはいうまでもない。
(3)の接合向(31)に−光性の誘電体多層薄膜(2
)を蒸着した場合について示したが、この誘電体多層薄
膜(2)を90度プリズム(11)の接合向である全反
射面(llr)に蒸着しても、上記と同様の効果と期待
できることはいうまでもない。
さて、この発明は、上記のように反射型の偏光ビーム・
スプリッタを得るものであるが、この偏光ビーム・スプ
リッタは以下のようにして製造さ八る。すなわち、まず
、!171%理として光学ガラスでつくられた複数個の
90度プリズム(11)と1枚のプレート(30)の光
学的平面を研磨し、洸浄し乾燥する。次に、1枚のプレ
ート(30)を清浄な環境で誘電体薄膜を蒸着する装置
にとりつけ、その一方の而(3Ui)に多層薄膜の材質
、m数、層厚などの設計条件に応じて被蒸着物の温度、
蒸着速度、多層膜の厚さなどをコントロールしながら、
第3図に示すように蒸着する。この蒸着した誘電体多層
薄ys(2)に埃などが付着しない清浄な環境で、第4
図に示すように上記誘電体多層薄膜(2)金蒸着した1
枚のプレート(30)の表面に複数個の90度プリズム
(11)をその全反射面(llr)を接合面として光学
用接着剤を用いて接合する。そして、このプレート(3
0)を誘電体多層薄膜(2)とともに各90度プリズム
(11)毎に切断線a、b、cで示すように適当な切断
袋直により切断し、第5図に示す個々の偏光ビーム・ス
プリッタを製造するものである。
スプリッタを得るものであるが、この偏光ビーム・スプ
リッタは以下のようにして製造さ八る。すなわち、まず
、!171%理として光学ガラスでつくられた複数個の
90度プリズム(11)と1枚のプレート(30)の光
学的平面を研磨し、洸浄し乾燥する。次に、1枚のプレ
ート(30)を清浄な環境で誘電体薄膜を蒸着する装置
にとりつけ、その一方の而(3Ui)に多層薄膜の材質
、m数、層厚などの設計条件に応じて被蒸着物の温度、
蒸着速度、多層膜の厚さなどをコントロールしながら、
第3図に示すように蒸着する。この蒸着した誘電体多層
薄ys(2)に埃などが付着しない清浄な環境で、第4
図に示すように上記誘電体多層薄膜(2)金蒸着した1
枚のプレート(30)の表面に複数個の90度プリズム
(11)をその全反射面(llr)を接合面として光学
用接着剤を用いて接合する。そして、このプレート(3
0)を誘電体多層薄膜(2)とともに各90度プリズム
(11)毎に切断線a、b、cで示すように適当な切断
袋直により切断し、第5図に示す個々の偏光ビーム・ス
プリッタを製造するものである。
なお、この発明の上記実施例に示した!11!遣方法で
は、所定の大きさに形成された複数個の9υ度プリズム
(11)を1枚のプレート(30)に接合し、このプレ
ートを各90度プリズム(11)毎に切断する場合と示
したが、第6図に示すように、表向に偏光性の誘電体多
層薄膜(2)を蒸着した1枚のプレート(30)の表面
に、複数個の90度プリズム分の長さを有する長尺の9
0度プリズム複数本(lla)〜(lie)を並べて接
合し、切断線a y d及びe〜1に涜って切断するよ
うにしてもよい。この場合は上記実施例より更に簡単か
つ能率的に偏光ビーム・スプリッタを製造することがで
きる。
は、所定の大きさに形成された複数個の9υ度プリズム
(11)を1枚のプレート(30)に接合し、このプレ
ートを各90度プリズム(11)毎に切断する場合と示
したが、第6図に示すように、表向に偏光性の誘電体多
層薄膜(2)を蒸着した1枚のプレート(30)の表面
に、複数個の90度プリズム分の長さを有する長尺の9
0度プリズム複数本(lla)〜(lie)を並べて接
合し、切断線a y d及びe〜1に涜って切断するよ
うにしてもよい。この場合は上記実施例より更に簡単か
つ能率的に偏光ビーム・スプリッタを製造することがで
きる。
〔発明の効果J
この発明は光学的等方体でりくらhた90度プリズムの
全反射面と光学的等方体でつくられた直方体のプレート
とをこの両者の接合部に副光性の多層薄膜を介して接合
したので、簡単で生産能率がよく、偏光性の多層薄膜に
透過した光と透過しない光とが同一方向に射出するよう
にした反射型の偏光ビーム・スプリッタが得らバるとい
う効果がある。
全反射面と光学的等方体でつくられた直方体のプレート
とをこの両者の接合部に副光性の多層薄膜を介して接合
したので、簡単で生産能率がよく、偏光性の多層薄膜に
透過した光と透過しない光とが同一方向に射出するよう
にした反射型の偏光ビーム・スプリッタが得らバるとい
う効果がある。
また、この発明の製造方法は光学的等方体でつくられた
90度プリズム複数個をこれらプリズムの全反射面と接
合面として光学的等方体でつくられた1枚プレートの表
面に接合する工程と複数個の90度プリズムと1枚のプ
レートの接合部のいずれか一方の表面に偏光性の多層薄
膜を蒸着する工程と、90度プリズム毎に上記プレート
を切断する工程よりなるので、極めて簡単かつ能率的に
偏光ビーム・スプリッタと製造できるという効果がある
。
90度プリズム複数個をこれらプリズムの全反射面と接
合面として光学的等方体でつくられた1枚プレートの表
面に接合する工程と複数個の90度プリズムと1枚のプ
レートの接合部のいずれか一方の表面に偏光性の多層薄
膜を蒸着する工程と、90度プリズム毎に上記プレート
を切断する工程よりなるので、極めて簡単かつ能率的に
偏光ビーム・スプリッタと製造できるという効果がある
。
第1図はこの発明の一実施例と示す斜視図、第2図はこ
の実施例の光路を示す説明図、第3〜5図はこの発明の
製造方法の一実施例である装造工程を示す断面図、第6
図はこの発明の製造方法の別の実施例金説男する斜視図
、第7図は従来の偏光ビーム・スプリッタを示す斜視図
、第8図はその光IIl!に示す説明図である。 図において、(2) H偏光性の多層薄膜、(3)は直
方体のプレート、(11) (12)は90度プリズム
、(lli)(12i)はこの入射囲、(llo) (
12o)はこの射出面、(11r) (12r)はこの
全反射面、(30) n 1 e<のプレートである。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
の実施例の光路を示す説明図、第3〜5図はこの発明の
製造方法の一実施例である装造工程を示す断面図、第6
図はこの発明の製造方法の別の実施例金説男する斜視図
、第7図は従来の偏光ビーム・スプリッタを示す斜視図
、第8図はその光IIl!に示す説明図である。 図において、(2) H偏光性の多層薄膜、(3)は直
方体のプレート、(11) (12)は90度プリズム
、(lli)(12i)はこの入射囲、(llo) (
12o)はこの射出面、(11r) (12r)はこの
全反射面、(30) n 1 e<のプレートである。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (5)
- (1)少なくとも光の入射面、射出面、全反射面の3つ
の光学的平面をもち、上記の入射面と射出面がほぼ直角
をなす光学的等方体でつくられた90度プリズムと、光
学的等方体でつくられ上記プリズムの全反射面に接合さ
れる直方体のプレートと、このプレートと上記プリズム
との接合部に設けられた偏光性の多層薄膜とを備えたこ
とを特徴とする偏光ビームスプリッタ。 - (2)90度プリズムと直方体のプレートは光学ガラス
でつくられ、上記直方体のプレートの接合面に偏光性の
多層薄膜を蒸着したことを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の偏光ビーム・スプリッタ。 - (3)90度プリズムと直方体のプレートは光学ガラス
でつくられ上記90度プリズムの全反射面に偏光性の多
層薄膜を蒸着したことを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の偏光ビーム・スプリッタ。 - (4)少なくとも光の入射面、射出面、全反射面の3つ
の光学的平面をもち、上記の入射面と射出面がほぼ直角
をなす光学的等方体でつくられた90度プリズム複数個
をこれらプリズムの全反射面を接合面として光学的等方
体からなる1枚のプレートの表面に接合する工程、上記
複数個の90度プリズムの全反射面と上記プレートの表
面のいずれか一方に偏光性の多層薄膜を蒸着する工程、
所定の切断装置により上記接合された90度プリズム毎
に上記プレートを切断する工程よりなる偏光ビーム・ス
プリッタの製造方法。 - (5)プレートに接合される90度プリズムは複数個の
偏光ビーム・スプリッタ分の長さを有する長尺の90度
プリズムよりなり、上記プレートを上記長尺の90度プ
リズムと共に所定長さ毎に切断する工程を含むことを特
徴とする特許請求の範囲第3項に記載の偏光ビーム・ス
プリッタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17460885A JPS6234104A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 偏光ビ−ムスプリツタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17460885A JPS6234104A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 偏光ビ−ムスプリツタ及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6234104A true JPS6234104A (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=15981559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17460885A Pending JPS6234104A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 偏光ビ−ムスプリツタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6234104A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01153926A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-06-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ビームアナライザ及びビームスプリッタ |
JPH02123321A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-10 | Shojiro Kawakami | 光アイソレータの製造方法および同製造方法に用いられる偏光素子アレイ並びに同製造方法で得られた光アイソレータを一体化した光学モジュール |
US5751480A (en) * | 1991-04-09 | 1998-05-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Plate-like polarizing element, a polarizing conversion unit provided with the element, and a projector provided with the unit |
FR2758890A1 (fr) * | 1997-01-29 | 1998-07-31 | Thomson Multimedia Sa | Dispositif optique de polarisation |
JP2015522852A (ja) * | 2012-06-27 | 2015-08-06 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 光学部品アレイ |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP17460885A patent/JPS6234104A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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