JPS62288491A - 焼成炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えばセラミック等の被焼成物を雰囲気ガ
ス中で加熱して焼成する焼成炉に関する。

〔従来の技術〕

例えばセラミックコンデンサに代表されるセラミックの
焼成は、セラミック自体の組成に応じて酸化性、中性、
還元性のいずれかの雰囲気が選ばれ、例えば９００〜１
４００℃程度の高温で行われる。

そのための焼成炉の一例を第３図および第４図に示す。

この焼成炉２は、炉（炉室）４内に炭化珪素（ＳｉＣ）
を主成分とする棒状の発熱体６を何本か挿入して、それ
に通電することによって炉４内を上記のような高温に加
熱するようにしている。また炉４内には何本かのノズル
８が挿入されており、発熱体６によって内部が加熱され
た炉４内に、外部からの所望の雰囲気に応じた雰囲気ガ
スＧを当８亥ノズル８から噴出させるようにしている。

雰囲気ガスＧは、酸化性雰囲気では例えば酸素を主成分
とするもの、中性雰囲気では例えば窒素、アルゴン等を
主成分とするもの、還元性雰囲気では例えば水素、−酸
化炭素等を主成分とするものが選ばれる。

尚、４ａ、４ｂは被焼成物の搬出入口であり、その蓋等
は図示を省略している。あるいはそこに蓋を設けずに、
上記のような雰囲気ガスＧをシール用としてそこからあ
る程度流出させるようにする場合もある。また発熱体６
としては、Ｕ字状に曲げられたものを用いる場合もある
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが上記のような焼成炉２においては、ノズル８か
らの雰囲気ガスＧの噴出によって、炉４内の温度が低下
する、炉４内において大きな温度差が生じる、等の問題
があった。

そこでこの発明は、上記のような問題点を解決した焼成
炉を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の焼成炉は、炉内をそこに挿入された発熱体で
加熱すると共に、当該炉内に雰囲気ガスを供給するよう
にした焼成炉において、前記発熱体として、炭化珪素を
主成分とする筒状のものであってその両端部に電極を、
かつその炉内に位置する側面に１以上の貫通孔を有する
発熱体を備えており、当該発熱体内にその少なくとも一
方端部から雰囲気ガスを注入してそれを貫通孔から炉内
へ噴出させるよう構成していることを特徴とする。

〔作用〕

発熱体の両端部の電極間に通電することにより、当該発
熱体が発熱して炉内が加熱される。一方、発熱体内に注
入された雰囲気ガスは、発熱した発熱体内を通過するこ
とによって加熱されて貫通孔から炉内に噴出される。そ
の結果、雰囲気ガス注入による炉内の温度低下や大きな
温度差の発生を防止することができる。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例に係る焼成炉を示す概略断
面図であり、第２図は第１図の発熱体を長手方向から見
た拡大断面図である。第３図および第４図と同一または
同等部分には同一符号を付してその説明を省略する。

この焼成炉１２においては、炉４内に挿入された発熱体
として、炭化珪素（ＳｉＣ）を主成分とする筒状、例え
ば円筒状のものであって、その両端部に電極１８ａ、１
８ｂを、かつ炉４内に位置する側面に複数の貫通孔（例
えば細孔）２０を有する何本かの発熱体１６を備えてい
る。各貫通孔２０は、当該発熱体１６の両端部にそれぞ
れ通じている。そして各発熱体１６内に、この例ではそ
の両端部から前述したような雰囲気ガスＧを注入して、
それを各貫通孔２０から炉４内へ噴出させるようにして
いる。

この貫通孔２０の大きさ、数、配置等は特定のものに限
定されるものではなく、目的等に応じて自由に選ぶこと
ができる。

なお上記電極１８ａ、１８ｂは、電気端子として良好な
導電性を与えるためのものであり、例えば銀、アルミニ
ウム等を例えば溶射あるいは塗布したものである。

上記のような焼成炉１２においては、各発熱体１６の両
端部の電極１８ａ、１８ｂ間に通電することにより、当
該発熱体１６が発熱して炉４内が加熱され、これによっ
て炉４内を例えば前述したような高温にすることができ
る。

一方、各発熱体１６内に注入された雰囲気ガスＧは、発
熱した発熱体１６内を通過することによって加熱されて
各貫通孔２０から炉４内に噴出される。この噴出ガスＧ
の温度は、注入するガスの量や発熱体１６に供給する電
力によって自由に制御することができる。

従って上記のような焼成炉１２においては、雰囲気ガス
Ｇの注入による炉４内の温度低下や大きな温度差の発生
を防止することができ、酸化性、中性、還元性のいずれ
の雰囲気の焼成においても、均一な温度分布、雰囲気を
実現することができる。

しかも雰囲気ガスＧを通すことによって発熱体１６°自
体の冷却が可能となるため、長期間高温放置によるその
結晶構造の変化や酸化等による特性劣化を防止すること
ができ、その結果当該発熱体１６の寿命が延長されると
いう効果も得られる。

当該寿命は、例えば従来のものに比べて１．２〜２倍程
度になることが期待できる。

尚、発熱体１６中への雰囲気ガスＧの注入は、上記例と
違ってその一方端部からのみ行ってもよく、その際に必
要ならばその他方端部に蓋をする等しても良い。

また発熱体１６の形状、数量、配置、炉４内への挿入の
仕方等は、上記例に限定されるものではなく、用途等に
応じて種々のものを採ることができる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、雰囲気ガス注入による
炉内の温度低下や大きな温度差の発生を防止することが
でき、均一な温度分布、雰囲気を実現することができる
。しかも雰囲気ガスを通すことよって、発熱体自体の寿
命が延長されるという効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例に係る焼成炉を示す概略
断面図である。第２図は、第１図の発熱体を長手方向か
ら見た拡大断面図である。第３図は、従来の焼成炉の一
例を示す平面図である。第４図は、第３図の線ｒＶ−■
に沿う概略断面図である。 ４・・・炉、１２・・・実施例に係る焼成炉、１６・・
・発熱体、１８ａ、１８ｂ・・・電極、２０・・・貫通
孔、Ｇ・・・雰囲気ガス。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）炉内をそこに挿入された発熱体で加熱すると共に
   、当該炉内に雰囲気ガスを供給するようにした焼成炉に
   おいて、前記発熱体として、炭化珪素を主成分とする筒
   状のものであってその両端部に電極を、かつその炉内に
   位置する側面に１以上の貫通孔を有する発熱体を備えて
   おり、当該発熱体内にその少なくとも一方端部から雰囲
   気ガスを注入してそれを貫通孔から炉内へ噴出させるよ
   う構成していることを特徴とする焼成炉。