JPS6228431U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6228431U JPS6228431U JP11873985U JP11873985U JPS6228431U JP S6228431 U JPS6228431 U JP S6228431U JP 11873985 U JP11873985 U JP 11873985U JP 11873985 U JP11873985 U JP 11873985U JP S6228431 U JPS6228431 U JP S6228431U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- semiconductor device
- polyimide
- coated
- resin
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims 1
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体装置の一実施例の
平面図、第２図は本考案に係る半導体装置の他の
実施例の平面図、第３図は従来例を示す断面図、
第４図は保護膜を形成した半導体基板（ウエハー
）のダイシングの様子を示す図、第５図は第３図
の保護膜の剥れた様子を示す図である。 １：保護膜、２：チツプ形状、３：コーナー部
。
平面図、第２図は本考案に係る半導体装置の他の
実施例の平面図、第３図は従来例を示す断面図、
第４図は保護膜を形成した半導体基板（ウエハー
）のダイシングの様子を示す図、第５図は第３図
の保護膜の剥れた様子を示す図である。 １：保護膜、２：チツプ形状、３：コーナー部
。
Claims (1)
- 半導体チツプの保護膜としてポリイミド等の樹
脂を被覆してなる半導体装置において、上記保護
膜のコーナー部の形状を円弧状又は保護膜のコー
ナー部を切り欠いた形状としたことを特徴とする
半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11873985U JPS6228431U (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11873985U JPS6228431U (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6228431U true JPS6228431U (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=31005478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11873985U Pending JPS6228431U (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6228431U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011005715A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Kyocera Corp | ヘッド基体および記録ヘッドならびに記録装置 |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP11873985U patent/JPS6228431U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011005715A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Kyocera Corp | ヘッド基体および記録ヘッドならびに記録装置 |