JPS6227849Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6227849Y2 JPS6227849Y2 JP1981102497U JP10249781U JPS6227849Y2 JP S6227849 Y2 JPS6227849 Y2 JP S6227849Y2 JP 1981102497 U JP1981102497 U JP 1981102497U JP 10249781 U JP10249781 U JP 10249781U JP S6227849 Y2 JPS6227849 Y2 JP S6227849Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- remaining amount
- coolant
- temperature
- liquid nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 19
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 19
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Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は容器内に入れられた液体窒素等の冷却
液の残存量を表示するための装置に関する。
液の残存量を表示するための装置に関する。
電子顕微鏡の筐体内を油拡散ポンプ等により排
気しようとする場合に、ポンプから筐体に至る排
気路の中間に冷却トラツプを配置し、この冷却ト
ラツプにより排気を促進すると共に、ポンプの油
蒸気の逆流を防止している。この冷却トラツプと
しては通常アルミニウム等で形成された容器に液
体窒素等の冷却液を入れたものを使用している
が、液体窒素は蒸発により失なわれるため、残存
量が少くなつた時点で補給しなければならない。
気しようとする場合に、ポンプから筐体に至る排
気路の中間に冷却トラツプを配置し、この冷却ト
ラツプにより排気を促進すると共に、ポンプの油
蒸気の逆流を防止している。この冷却トラツプと
しては通常アルミニウム等で形成された容器に液
体窒素等の冷却液を入れたものを使用している
が、液体窒素は蒸発により失なわれるため、残存
量が少くなつた時点で補給しなければならない。
しかしながらこの容器は排気管内に取り付けら
れるため液体窒素の残量はわかりにくく、そのた
め補給の時期が遅れてトラツプに凝結していた分
子が再蒸発して筐体内を汚染することもあつた。
れるため液体窒素の残量はわかりにくく、そのた
め補給の時期が遅れてトラツプに凝結していた分
子が再蒸発して筐体内を汚染することもあつた。
本考案はこのような従来の欠点を解決する新規
な冷却液残存量表示装置を提供しようとするもの
である。
な冷却液残存量表示装置を提供しようとするもの
である。
本案考案者は液体窒素を入れたアルミニウム容
器の上部に熱電対を取り付けて、時間の経過と共
に温度がどのように変化するかを測定したとこ
ろ、第１図のような結果を得た。但し第１図にお
いて横軸は時間であり、縦軸は温度である。又、
この容器内の液体窒素の残量が時間と共にどのよ
うに変化するか測定し第２図のような結果を得
た。この第２図においては横軸が時間であり、縦
軸が残存量である。第１図の結果から時間の増加
に略比例して容器壁の容器入口に近い部分の温度
が上昇していることが明らかであり、又第２図の
結果から時間の増加に略比例して液体窒素の残量
が減少していることが明らかである。従つて液体
窒素の残量は容器の上端部の温度の上昇に略比例
して減少することが判る。
器の上部に熱電対を取り付けて、時間の経過と共
に温度がどのように変化するかを測定したとこ
ろ、第１図のような結果を得た。但し第１図にお
いて横軸は時間であり、縦軸は温度である。又、
この容器内の液体窒素の残量が時間と共にどのよ
うに変化するか測定し第２図のような結果を得
た。この第２図においては横軸が時間であり、縦
軸が残存量である。第１図の結果から時間の増加
に略比例して容器壁の容器入口に近い部分の温度
が上昇していることが明らかであり、又第２図の
結果から時間の増加に略比例して液体窒素の残量
が減少していることが明らかである。従つて液体
窒素の残量は容器の上端部の温度の上昇に略比例
して減少することが判る。
本考案はこのような事実を利用したもので、冷
却液を入れる為の容器と、該容器の壁によつて兼
ねられるか或は該容器にその底部近傍まで挿入さ
れて別個に設けられた良熱伝導体と、前記容器の
入口に近い上端部における該良熱伝導体の温度を
検出するための温度検出器と、前記冷却液の残存
量と該温度検出器の出力信号値との間の予め求め
られた関係に基づいて前記温度検出器の出力信号
値を前記冷却液の残存量に変換して表示するため
の手段を具備することを特徴としている。
却液を入れる為の容器と、該容器の壁によつて兼
ねられるか或は該容器にその底部近傍まで挿入さ
れて別個に設けられた良熱伝導体と、前記容器の
入口に近い上端部における該良熱伝導体の温度を
検出するための温度検出器と、前記冷却液の残存
量と該温度検出器の出力信号値との間の予め求め
られた関係に基づいて前記温度検出器の出力信号
値を前記冷却液の残存量に変換して表示するため
の手段を具備することを特徴としている。
第３図は本考案の一実施例を示すための図であ
り、図中１は液体窒素２が入れられており、冷却
トラツプとして働く例えばアルミニウム製の容器
である。該容器１は真空排気管３内に取り付けら
れており、該排気管３のＡ側は被排気系に接続さ
れており、又Ｂ側は油拡散ポンプに接続されてい
る。入口Ｃに近い容器１の上端部には熱電対の如
き温度検出器４が取り付けられている。該温度検
出器４の出力信号は増幅器５を介してメーターの
如き表示装置６に供給されている。該表示装置６
の目盛りは予じめ実験した結果に基づいて温度値
表示の代わりに各温度値に対応する液体窒素の残
存量を表示するようなものになつている。
り、図中１は液体窒素２が入れられており、冷却
トラツプとして働く例えばアルミニウム製の容器
である。該容器１は真空排気管３内に取り付けら
れており、該排気管３のＡ側は被排気系に接続さ
れており、又Ｂ側は油拡散ポンプに接続されてい
る。入口Ｃに近い容器１の上端部には熱電対の如
き温度検出器４が取り付けられている。該温度検
出器４の出力信号は増幅器５を介してメーターの
如き表示装置６に供給されている。該表示装置６
の目盛りは予じめ実験した結果に基づいて温度値
表示の代わりに各温度値に対応する液体窒素の残
存量を表示するようなものになつている。
さて、前述したように液体窒素の容器内の残存
量は容器壁面の容器入口に近い部分の温度に比例
して小さくなるが、容器１の壁面の入口近くの温
度は温度検出器４によつて検出される。前記冷却
液の残存量と該温度検出器の出力信号値との間の
予め求められた関係に基づいて、この温度検出器
４の出力信号値は冷却液の残存量に変換して表示
装置６に表示されるため、表示装置６の表示値か
ら液体窒素の残存量を容易に知ることができ、液
体窒素の補給を適切なタイミングで行い得るため
実用上得るところ大である。
量は容器壁面の容器入口に近い部分の温度に比例
して小さくなるが、容器１の壁面の入口近くの温
度は温度検出器４によつて検出される。前記冷却
液の残存量と該温度検出器の出力信号値との間の
予め求められた関係に基づいて、この温度検出器
４の出力信号値は冷却液の残存量に変換して表示
装置６に表示されるため、表示装置６の表示値か
ら液体窒素の残存量を容易に知ることができ、液
体窒素の補給を適切なタイミングで行い得るため
実用上得るところ大である。
尚、上述した実施例は本案の一実施例に過ぎ
ず、実施にあたつては他の態様を取り得る。
ず、実施にあたつては他の態様を取り得る。
例えば液体窒素等の冷却液を入れた容器内に金
属等の良熱伝導体により形成された棒状部材を容
器の底部或はその近傍まで挿入し、この棒状部材
の容器の入口近くの部分に温度検出器を取り付
け、この温度検出器の出力信号の表示値から前記
残存量を知るようにしても良い。
属等の良熱伝導体により形成された棒状部材を容
器の底部或はその近傍まで挿入し、この棒状部材
の容器の入口近くの部分に温度検出器を取り付
け、この温度検出器の出力信号の表示値から前記
残存量を知るようにしても良い。
又、上述した実施例は冷却トラツプの液体窒素
容器内の冷却液の残存量を知る場合に本考案を適
用した例について記載したが、冷却トラツプに使
用される冷却液容器に限らず、他の冷却液容器に
対して本考案は適用できる。
容器内の冷却液の残存量を知る場合に本考案を適
用した例について記載したが、冷却トラツプに使
用される冷却液容器に限らず、他の冷却液容器に
対して本考案は適用できる。
第１図は時間の経過と液体窒素容器の上部の温
度との関係を示すための図、第２図は時間の経過
と液体窒素の残存量との関係を示すための図、第
３図は本考案の一実施例を示すための図である。 １：容器、２：液体窒素、３：真空排気管、
４：温度検出器、６：表示装置。
度との関係を示すための図、第２図は時間の経過
と液体窒素の残存量との関係を示すための図、第
３図は本考案の一実施例を示すための図である。 １：容器、２：液体窒素、３：真空排気管、
４：温度検出器、６：表示装置。
Claims (1)
- 冷却液を入れる為の容器と、該容器の壁によつ
て兼ねられるか或いは該容器にその底部近傍まで
挿入されて別個に設けられた良熱伝導体と、前記
容器の入口に近い上端部における該良熱伝導体の
温度を検出するための温度検出器と、前記冷却液
の残存量と該温度検出器の出力信号値との間の予
め求められた関係に基づいて前記温度検出器の出
力信号値を前記冷却液の残存量に変換して表示す
るための手段とより成る冷却液の残存量表示装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10249781U JPS5824034U (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 冷却液の残存量表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10249781U JPS5824034U (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 冷却液の残存量表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5824034U JPS5824034U (ja) | 1983-02-15 |
| JPS6227849Y2 true JPS6227849Y2 (ja) | 1987-07-17 |
Family
ID=29897140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10249781U Granted JPS5824034U (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 冷却液の残存量表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5824034U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS534879A (en) * | 1976-07-02 | 1978-01-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Measuring void in submarine coaxial cable |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP10249781U patent/JPS5824034U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS534879A (en) * | 1976-07-02 | 1978-01-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Measuring void in submarine coaxial cable |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5824034U (ja) | 1983-02-15 |
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