JPS62277527A - 回折格子を用いた分光器 - Google Patents
回折格子を用いた分光器Info
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- JPS62277527A JPS62277527A JP12182786A JP12182786A JPS62277527A JP S62277527 A JPS62277527 A JP S62277527A JP 12182786 A JP12182786 A JP 12182786A JP 12182786 A JP12182786 A JP 12182786A JP S62277527 A JPS62277527 A JP S62277527A
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
［産業上の利用分野］
本発明はホログラフィ法によって製作された収差補正型
回折格子を用いた分光器に関する。
回折格子を用いた分光器に関する。
［従来の技術］
（第１の従来例）
機械切りなどによって製作した等間隔の直線格子（以下
、平面回折格子とよぶ。）を用いた、いわゆるツエルニ
−・ターナ−型分光器の一例を第３図に示す。
、平面回折格子とよぶ。）を用いた、いわゆるツエルニ
−・ターナ−型分光器の一例を第３図に示す。
ここで、２および３は球面鏡である。入射スリット４か
らの入射光を、距離ｒ１だけ離机たコリメータ鏡として
作用する球面鏡２で入射光と反射光の角度θ１で反射せ
しめて、はぼ平行光として距離ｒ２のところにある平面
回折格子１１で回折せしめ、その回折光は入射光とのな
す角度はθ２であり、距離ｒ３のところにおるカメラ鏡
として作用する球面鏡３で入射光と反射光とのなす角度
θ で反射せしめて、回折光を距離ｒ４のところにある
結像面５に収束している。
らの入射光を、距離ｒ１だけ離机たコリメータ鏡として
作用する球面鏡２で入射光と反射光の角度θ１で反射せ
しめて、はぼ平行光として距離ｒ２のところにある平面
回折格子１１で回折せしめ、その回折光は入射光とのな
す角度はθ２であり、距離ｒ３のところにおるカメラ鏡
として作用する球面鏡３で入射光と反射光とのなす角度
θ で反射せしめて、回折光を距離ｒ４のところにある
結像面５に収束している。
第３図から明らかなように、球面鏡２および３のそれぞ
れの入射光と反射光は、それぞれの光軸から、それぞれ
θ１／２およびθ３／２だけずれている。
れの入射光と反射光は、それぞれの光軸から、それぞれ
θ１／２およびθ３／２だけずれている。
ざらに、ここに用いられる平面回折格子は、それ自体は
収差を有するものではないが、球面鏡２および３の球面
収差があるために、出射スリットである結像面５におい
て像のボケを生じ、波長分解能を劣化せしめていた。
収差を有するものではないが、球面鏡２および３の球面
収差があるために、出射スリットである結像面５におい
て像のボケを生じ、波長分解能を劣化せしめていた。
（第２の従来例）
第１の従来例における波長分解能劣化の原因を除去する
ために、第３図における球面鏡２および３をそれぞれ軸
はずしの放物面鏡（放物面鏡の軸以外の部分を用いるも
の）を用いたものがある。
ために、第３図における球面鏡２および３をそれぞれ軸
はずしの放物面鏡（放物面鏡の軸以外の部分を用いるも
の）を用いたものがある。
これは理論的に光学系の収差は零であり、高分解能を実
現することが可能ではあるが、軸はすしの放物面鏡を精
度よく製作することは極めて困難である。また、それら
を分光器として組込む場合の配置の精度および光軸を高
精度におわせることが極めて困難であり、これらの加工
精度および組立て精度が１ｑられない場合には、かえっ
て分解能が悪くなり、理論値通りの分解能を得ることは
困難であり、高価であった。
現することが可能ではあるが、軸はすしの放物面鏡を精
度よく製作することは極めて困難である。また、それら
を分光器として組込む場合の配置の精度および光軸を高
精度におわせることが極めて困難であり、これらの加工
精度および組立て精度が１ｑられない場合には、かえっ
て分解能が悪くなり、理論値通りの分解能を得ることは
困難であり、高価であった。
（第３の従来例）
第２の従来例に示した軸はずし放物面鏡の製作および組
立ての困難性に鑑み、第３図における球面鏡２および３
はそのまま用いて、非球面披露光法により製作した収差
補正型回折格子を第３図の平面回折格子１１に換えて用
いる分光器が提案されている（昭和６０年度社団法人
日本分光学会秋季講演会・シンポジウム 昭和６０年１
１月１３日発表 Ｎｏ、７“新型ホログラフィック回折
格子を用いたツエルニ−・ターナ−型モノクロメータの
性能″野日英行はか）。
立ての困難性に鑑み、第３図における球面鏡２および３
はそのまま用いて、非球面披露光法により製作した収差
補正型回折格子を第３図の平面回折格子１１に換えて用
いる分光器が提案されている（昭和６０年度社団法人
日本分光学会秋季講演会・シンポジウム 昭和６０年１
１月１３日発表 Ｎｏ、７“新型ホログラフィック回折
格子を用いたツエルニ−・ターナ−型モノクロメータの
性能″野日英行はか）。
ここにおける収差補正型回折格子の製作方法を第４図に
よって説明する。
よって説明する。
球面鏡６には、その先軸と角度θ４をなして距離Ｐ、離
れた位置から、レーザ点光源２１が入射し、反射して距
離００１れたところにあるホト・レジスト８を塗付され
た回折格子基板１をその垂線に対して角度θ５をなして
照射している。一方、球面鏡７には、その先軸と角度θ
６をなして距離Ｐｏ離れた位置から、レーザ点光源２２
が入射して距離Ｑ。Ｍれたところにあるホト・レジスト
８を塗付された回折格子基板１をその垂線に対して角度
θ７をなして照射している。
れた位置から、レーザ点光源２１が入射し、反射して距
離００１れたところにあるホト・レジスト８を塗付され
た回折格子基板１をその垂線に対して角度θ５をなして
照射している。一方、球面鏡７には、その先軸と角度θ
６をなして距離Ｐｏ離れた位置から、レーザ点光源２２
が入射して距離Ｑ。Ｍれたところにあるホト・レジスト
８を塗付された回折格子基板１をその垂線に対して角度
θ７をなして照射している。
第４図に示す構成で回折格子基板１を非球面披露光法で
露光せしめて、ホログラフィック回折格子を製作した基
板を、第３図における平面回折格子１１に換えて用い、
コンピュータにより最適設計したときの各波長における
結像特性でめるスポット・ダイアグラムおよび各波長に
対する光強度分布（波長分散）を第５図に示す。
露光せしめて、ホログラフィック回折格子を製作した基
板を、第３図における平面回折格子１１に換えて用い、
コンピュータにより最適設計したときの各波長における
結像特性でめるスポット・ダイアグラムおよび各波長に
対する光強度分布（波長分散）を第５図に示す。
第５図において、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）。
（ｄ）は、それぞれ中心波長が、６００．０ｑｍ。
９３３．３ｑｍ、 １２６６．７ｑｍ。
１５００．０ｑｍ のときのスポット・ダイアグラム
であり、横軸は波長分散、すなわら、第３図の結像面５
のＹ軸方向の分散をあられしている。
であり、横軸は波長分散、すなわら、第３図の結像面５
のＹ軸方向の分散をあられしている。
縦軸は第３図の結像面５における実空間のＹ軸方向への
分散をあられしている。
分散をあられしている。
第５図にあける（ｅ）、（ｆ＞、ｌ）、（ｈ）はそれぞ
れ（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に対応する光強度分
布を示すものであり、その縦軸は光強度を示している。
れ（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に対応する光強度分
布を示すものであり、その縦軸は光強度を示している。
（ｅ）、（ｆ）、（ＣＩ＞。
（ｈ）のそれぞれは、それらの横軸のＯ−０，１ｑｍに
おける裾の部分に、サイド・ピーク（光強度が再び強く
なる部分）を示しており、補正しきれない球面収差とコ
マ収差が残存し、ボケを生じていることがわかる。また
光強度分布の半値幅、すなわちＦＷＨＭは、各波長にお
いて、第５図に示された値となっている。これは、波長
分解能の目安となる値である。
おける裾の部分に、サイド・ピーク（光強度が再び強く
なる部分）を示しており、補正しきれない球面収差とコ
マ収差が残存し、ボケを生じていることがわかる。また
光強度分布の半値幅、すなわちＦＷＨＭは、各波長にお
いて、第５図に示された値となっている。これは、波長
分解能の目安となる値である。
第５図に示したデータは、第３図において、平面回折格
子１１に換えて、中心部付近の格子の溝本数Ｎ＝９５０
／ｍｍの収差補正型回折格子を用い、球面鏡２および３
には、ともに曲率半径が６００ｍｍのものを用いた。ま
た、マウント条件は、 ｒｌ ＝２９９．３４８ｍｍ ｒ ２ ＝ ｒ ３ ＝ ２５０ ｍｍｒ４ ＝２９７
．２２４ｍｍ θ１＝１０．２６４゜ θ２＝１５゜ θ３＝１２．２９゜ とした。収差補正型回折格子を製作した第４図に示す露
光光学系は、レーデ点光源２１および２２として波長が
４５７．９３ｎｍのアルゴン・レーザ光を用い球面鏡６
および７は、ともに曲率半径６００ｍｍのものを用い、 ＰＣ＝３００．９８８ｍｍ Ｐ□−３００，９６４ｍｍ ＱＣ＝４９１．７５３ｍｍ Ｑ □ ＝ ６７８ 、９８ ｎ ｍ θ４＝８．３３６゜ θ５＝１０．８３゜ θ６＝８．５゜ なるマウント条件であった。このようにして製作された
収差補正型回折格子が、第５図に示したデータを得るた
めに用いられた。
子１１に換えて、中心部付近の格子の溝本数Ｎ＝９５０
／ｍｍの収差補正型回折格子を用い、球面鏡２および３
には、ともに曲率半径が６００ｍｍのものを用いた。ま
た、マウント条件は、 ｒｌ ＝２９９．３４８ｍｍ ｒ ２ ＝ ｒ ３ ＝ ２５０ ｍｍｒ４ ＝２９７
．２２４ｍｍ θ１＝１０．２６４゜ θ２＝１５゜ θ３＝１２．２９゜ とした。収差補正型回折格子を製作した第４図に示す露
光光学系は、レーデ点光源２１および２２として波長が
４５７．９３ｎｍのアルゴン・レーザ光を用い球面鏡６
および７は、ともに曲率半径６００ｍｍのものを用い、 ＰＣ＝３００．９８８ｍｍ Ｐ□−３００，９６４ｍｍ ＱＣ＝４９１．７５３ｍｍ Ｑ □ ＝ ６７８ 、９８ ｎ ｍ θ４＝８．３３６゜ θ５＝１０．８３゜ θ６＝８．５゜ なるマウント条件であった。このようにして製作された
収差補正型回折格子が、第５図に示したデータを得るた
めに用いられた。
［発明が解決しようとする問題点］
第３の従来例においては、収差補正型回折格子の採用に
より、球面鏡２および３の非点収差およびコマ収差を打
消すことができ、良好な特性を示しているが、球面鏡２
および３を使用しているために、球面収差と残存コマ収
差を十分に除去することができず、第５図に示したよう
に、分光器として十分な分解能を得ることができないと
いう問題点がめった。
より、球面鏡２および３の非点収差およびコマ収差を打
消すことができ、良好な特性を示しているが、球面鏡２
および３を使用しているために、球面収差と残存コマ収
差を十分に除去することができず、第５図に示したよう
に、分光器として十分な分解能を得ることができないと
いう問題点がめった。
［問題点を解決するための手段］
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
ので、コリメータ鏡およびカメラ鏡として球面鏡を用い
ると、この球面収差と残存コマ収差を完全には除去し得
ないことに鑑み、コリメータ鏡およびカメラ鏡として、
ともに放物面、境を軸はずしでない状態で用い、これら
放物面鏡のコマ収差、非点収差を打ち消すために、これ
らの放物面鏡の中心部付近の曲率半径と実質的に等しい
曲率半径を有する球面鏡を用いた露光光学系により、収
差補正型の回折格子を製作して用いた。
ので、コリメータ鏡およびカメラ鏡として球面鏡を用い
ると、この球面収差と残存コマ収差を完全には除去し得
ないことに鑑み、コリメータ鏡およびカメラ鏡として、
ともに放物面、境を軸はずしでない状態で用い、これら
放物面鏡のコマ収差、非点収差を打ち消すために、これ
らの放物面鏡の中心部付近の曲率半径と実質的に等しい
曲率半径を有する球面鏡を用いた露光光学系により、収
差補正型の回折格子を製作して用いた。
［作用］
コリメータ鏡およびカメラ鏡として用いる放物鏡は、軸
はずしではない部分を用いるから、第２の従来例のごと
く、軸はずしの放物面鏡を用いる場合に較べて、製作が
容易でおり、マウントもしやすく、また収差補正型回折
格子の採用との相乗効果によって、極めて高い分解能を
得ることが可能となった ［実施例］ 本発明に関わる分光器の一実施例を第１図に示し、これ
を用いて説明する。
はずしではない部分を用いるから、第２の従来例のごと
く、軸はずしの放物面鏡を用いる場合に較べて、製作が
容易でおり、マウントもしやすく、また収差補正型回折
格子の採用との相乗効果によって、極めて高い分解能を
得ることが可能となった ［実施例］ 本発明に関わる分光器の一実施例を第１図に示し、これ
を用いて説明する。
入射スリット４からの入射光を距離ｒ１離れて設けられ
たコリメータ鏡として作用する軸はずしではない放物面
鏡９に入射せしめて、入射光と角度θ１をなして反射し
て、放物面鏡９からの距離ｒ２離れて設けられた収差補
正型の回折格子１２に入射せしめ、この入射光と角度０
２をなして回折格子１２で反射し、回折して、回折格子
１２から距離ｒ３離れたところに設けたカメラ鏡として
作用する軸はずしではない放物面鏡１０に入射し、この
入射光と角度θ３をなして反射して放物面鏡１０からの
距離ｒ４離れて設けられた出射スリットである結像面５
に結像するようになっている。
たコリメータ鏡として作用する軸はずしではない放物面
鏡９に入射せしめて、入射光と角度θ１をなして反射し
て、放物面鏡９からの距離ｒ２離れて設けられた収差補
正型の回折格子１２に入射せしめ、この入射光と角度０
２をなして回折格子１２で反射し、回折して、回折格子
１２から距離ｒ３離れたところに設けたカメラ鏡として
作用する軸はずしではない放物面鏡１０に入射し、この
入射光と角度θ３をなして反射して放物面鏡１０からの
距離ｒ４離れて設けられた出射スリットである結像面５
に結像するようになっている。
一方、収差補正型の回折格子１２は、第４図に示した構
成により製作されるが、球面鏡６および７の曲率半径は
、放物面鏡で発生するコマ収差、非点収差を効果的に補
正するために、放物面鏡９および１０の中心部付近の曲
率半径と実質的に等しい値となっている。このような収
差補正型の回折格子１２を用いることにより、好結果を
ｊすることが可能である。
成により製作されるが、球面鏡６および７の曲率半径は
、放物面鏡で発生するコマ収差、非点収差を効果的に補
正するために、放物面鏡９および１０の中心部付近の曲
率半径と実質的に等しい値となっている。このような収
差補正型の回折格子１２を用いることにより、好結果を
ｊすることが可能である。
第１図に示す構成により、各波長における結象持避であ
るスポット・ダイアグラムおよび波長に対する光強度弁
＠（波長分散）を第２図に示す。
るスポット・ダイアグラムおよび波長に対する光強度弁
＠（波長分散）を第２図に示す。
第２図は、第３の従来例において示した第５図に対応し
たものである。すなわち、第２図の（ａ）、（ｂ）、（
ｃ）、（ｄ＞はそれぞれ中心波長が、６００．０ｎｍ、
９３３．３ｎｍ。
たものである。すなわち、第２図の（ａ）、（ｂ）、（
ｃ）、（ｄ＞はそれぞれ中心波長が、６００．０ｎｍ、
９３３．３ｎｍ。
１２６６．７ｎｍ、 １５００．０ｎｍ のときの
スポット・ダイアグラムであり、横軸は波長分散、すな
わら、第１図の結像面５における実空間のＺ軸方向の分
散をあられしている。
スポット・ダイアグラムであり、横軸は波長分散、すな
わら、第１図の結像面５における実空間のＺ軸方向の分
散をあられしている。
第２図の（ｅ）、（ｆ）、（１，（ｈ）はそれぞれ（ａ
＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に対応する光強度分布を示
すものであり、その縦軸は光強度を示している。（ｈ）
は、その横軸の０−０゜１ｎｍにおける裾の部分にサイ
ド・ピークを示しているが（ｅ）、（ｆ）、ｌ）では、
それは除去されている。ざらに、光強度分布の半値幅で
あるＦＷＨＭは、第２図に示すように著しく小さな値を
示している。
＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に対応する光強度分布を示
すものであり、その縦軸は光強度を示している。（ｈ）
は、その横軸の０−０゜１ｎｍにおける裾の部分にサイ
ド・ピークを示しているが（ｅ）、（ｆ）、ｌ）では、
それは除去されている。ざらに、光強度分布の半値幅で
あるＦＷＨＭは、第２図に示すように著しく小さな値を
示している。
第５図に示した従来例と第２図に示した本発明の場合の
Ｆ Ｗ ＨＭを対比すると、つぎのようになる。
Ｆ Ｗ ＨＭを対比すると、つぎのようになる。
波 長（ｎｍ） ６００．０ ９３３．３ １２６６
．７ １５００．０従来例 のＦシＪＨＨ（ｎｍ） ０．０４１６ ０．０３
２２ ０．０１５６ ０．０１６１本発明 のＦＷＩＩＨ（ｎｍ） ０．０１８２ ０．０１９２
０．０１２４ ０．０１４０この対比から明らかなよ
うに、従来例に対して分光器としての性能をあられす波
長分解能は、波長が短かくなる程顕著な改善効果がみら
れる。
．７ １５００．０従来例 のＦシＪＨＨ（ｎｍ） ０．０４１６ ０．０３
２２ ０．０１５６ ０．０１６１本発明 のＦＷＩＩＨ（ｎｍ） ０．０１８２ ０．０１９２
０．０１２４ ０．０１４０この対比から明らかなよ
うに、従来例に対して分光器としての性能をあられす波
長分解能は、波長が短かくなる程顕著な改善効果がみら
れる。
第２図に示したデータは、第１図に−おいて中心部付近
の曲率半径が、ともに６００ｍｍの放物面ｖＡ９および
１０のものを用いて得たものである。
の曲率半径が、ともに６００ｍｍの放物面ｖＡ９および
１０のものを用いて得たものである。
ざらに、分光系のマウント条件は、
ｒｌ ＝２９８．３９７ｍｍ
ｒ２ ＝ｒ３ ＝２５０ｍｍ
ｒ４ ＝２９８．８６３ｍｍ
θ１＝１０．１８゜
θ２ ＝１９．０８６゜
θ３＝１１．６４１゜
であった。収差補正型の回折格子１２を製作するために
、第４図に示した構成が用いられたが、球面ＩＪｔ６お
よび７は、ともに曲率半径６００ｍｍのものを用い、そ
の他の露光系のマウント条件は、ＰＣ＝２９９．９８７
ｍｍ Ｐ、＝２９９．８２７ｍｍ ＱＣ＝４７０．０５４ｍｍ ＱＤ＝２２７．７９５ｍｍ θ４＝７．３７゜ θ５＝７．１５２゜ θ６＝７．４９８゜ でめった。
、第４図に示した構成が用いられたが、球面ＩＪｔ６お
よび７は、ともに曲率半径６００ｍｍのものを用い、そ
の他の露光系のマウント条件は、ＰＣ＝２９９．９８７
ｍｍ Ｐ、＝２９９．８２７ｍｍ ＱＣ＝４７０．０５４ｍｍ ＱＤ＝２２７．７９５ｍｍ θ４＝７．３７゜ θ５＝７．１５２゜ θ６＝７．４９８゜ でめった。
［発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明によるならば、
分光系には、球面収差、コマ収差のすくない軸はずしで
はない放物面鏡をコリメータ鏡およびカメラ鏡として用
い、この放物面鏡のコマ収差と、非点収差を補正するよ
うな収差補正型の回折格子を製作して、これを分光系に
用いたから、製作が容易な軸はずしではない放物面鏡を
使用でき、組立上のマウント精度も十分なものが容易に
得られ、波長分解能力極めて勝れた分光器を安価に実現
することができるものであり、本発明の効果は極めて大
きい。
分光系には、球面収差、コマ収差のすくない軸はずしで
はない放物面鏡をコリメータ鏡およびカメラ鏡として用
い、この放物面鏡のコマ収差と、非点収差を補正するよ
うな収差補正型の回折格子を製作して、これを分光系に
用いたから、製作が容易な軸はずしではない放物面鏡を
使用でき、組立上のマウント精度も十分なものが容易に
得られ、波長分解能力極めて勝れた分光器を安価に実現
することができるものであり、本発明の効果は極めて大
きい。
第１図は本発明の一実施例を示す分光光学系の配置図、
第２図は本発明の分光器の各波長における結像特性を示
す図、 第３図は従来の分光光学系の配置図、 第４図は従来例および本発明において用いられた収差補
正型の回折格子を製作するための露光系の配置図、 第５図は従来例の分光器の各波長における結像特性を示
す図である。 １・・・回折格子基板 ２，３．６．７・・・球面
鏡４・・・入射スリット ５・・・結像面８・・・
ホト・レジスト ９．１０・・・放物而鏡１１．１２
・・・回折格子 ２１．２２・・・レーザ点光源。
す図、 第３図は従来の分光光学系の配置図、 第４図は従来例および本発明において用いられた収差補
正型の回折格子を製作するための露光系の配置図、 第５図は従来例の分光器の各波長における結像特性を示
す図である。 １・・・回折格子基板 ２，３．６．７・・・球面
鏡４・・・入射スリット ５・・・結像面８・・・
ホト・レジスト ９．１０・・・放物而鏡１１．１２
・・・回折格子 ２１．２２・・・レーザ点光源。
Claims (2)
- （１）、すくなくとも１つの球面鏡に反射させて得た非
球面波と、前記非球面波と可干渉性を有する光とを干渉
させて得た干渉縞を格子パターン溝とする回折格子と、 分光されるべき光束を反射するための軸はずしではない
放物面鏡であるコリメータ鏡と、 前記コリメータ鏡で反射された光束が前記回折格子に当
たり回折せしめられた回折光を結像するための放物面鏡
であるカメラ鏡とを具備したことを特徴とする回折格子
を用いた分光器。 - （２）前記コリメータ鏡と前記カメラ鏡のうちのすくな
くとも１つの放物面鏡の中心部付近の曲率半径が、実質
的に前記球面鏡の曲率半径に等しいものである特許請求
の範囲第１項記載の回折格子を用いた分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12182786A JPS62277527A (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 | 回折格子を用いた分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12182786A JPS62277527A (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 | 回折格子を用いた分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62277527A true JPS62277527A (ja) | 1987-12-02 |
Family
ID=14820909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12182786A Pending JPS62277527A (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 | 回折格子を用いた分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62277527A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5831729A (en) * | 1997-02-14 | 1998-11-03 | Nec Corporation | Spectrometer |
| JP2001356404A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-26 | Mitsubishi Electric Corp | 画像表示装置 |
-
1986
- 1986-05-27 JP JP12182786A patent/JPS62277527A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5831729A (en) * | 1997-02-14 | 1998-11-03 | Nec Corporation | Spectrometer |
| JP2001356404A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-26 | Mitsubishi Electric Corp | 画像表示装置 |
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