JPS62262476A - 高速軸流ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
高速軸流ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS62262476A JPS62262476A JP10478286A JP10478286A JPS62262476A JP S62262476 A JPS62262476 A JP S62262476A JP 10478286 A JP10478286 A JP 10478286A JP 10478286 A JP10478286 A JP 10478286A JP S62262476 A JPS62262476 A JP S62262476A
- Authority
- JP
- Japan
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- electrode
- discharge
- glass tube
- laser oscillator
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は高速軸流ガスレーザ発振器、詳しくは連続放
電時およびパルス放電時に安定な放電な得ることができ
る高速軸流ガスレーザ発振器に関するものである。
電時およびパルス放電時に安定な放電な得ることができ
る高速軸流ガスレーザ発振器に関するものである。
（従来の技術）
従来、高速軸流ガスレーザの放電は第１電極、第２電極
のうちの一方の電極をグランド電位あるいは低電位にし
、他方の電極に高電圧を印加することにより行われてき
た。又、パルス放電は高″ＩＩＥ圧の印加を開閉するこ
とにより行われてきた。
のうちの一方の電極をグランド電位あるいは低電位にし
、他方の電極に高電圧を印加することにより行われてき
た。又、パルス放電は高″ＩＩＥ圧の印加を開閉するこ
とにより行われてきた。
一方、低電位あるいはグランド電位の′ｉヒ極近くに高
周波電極を設け、低電位あるいはグランド電位の電極端
より微弱な高周波放電を起こし、放゛心開始電圧を下げ
る技術も従来より存在していた。
周波電極を設け、低電位あるいはグランド電位の電極端
より微弱な高周波放電を起こし、放゛心開始電圧を下げ
る技術も従来より存在していた。
また、本発明者は、第４電極を低電位に接続して放電に
対し静電容量を持たせ、静電容量を通じて微少なパルス
電流を第４電極側にも流すことによりガラス管の内容積
はぼ全域にわたり一様なパルスグロー放電をさせること
ができる高速軸流ガスレーザ発振器を特願昭６１−２４
０４９として既に提案済みである。
対し静電容量を持たせ、静電容量を通じて微少なパルス
電流を第４電極側にも流すことによりガラス管の内容積
はぼ全域にわたり一様なパルスグロー放電をさせること
ができる高速軸流ガスレーザ発振器を特願昭６１−２４
０４９として既に提案済みである。
（発明か解決しようとする問題点）
しかし、従来の装置では、ＣＷ（連続放電）時放電入力
が大きく、電流を多く流している場合には安定な放電を
得ることができるか、放電久方を小さくすると不安定な
放電となり、放電消失をおこしやすい欠点かあった。
が大きく、電流を多く流している場合には安定な放電を
得ることができるか、放電久方を小さくすると不安定な
放電となり、放電消失をおこしやすい欠点かあった。
一方、パルス放電の際には電流を多く流してもパルス幅
が短く、繰り返しか遅いとｃｗあるいは僅り返しの速い
パルスの場合と比べ、イオン化した分子の一部が高速ガ
ス流で運び去られ、イオンが減少するため放電管内にイ
ンピーダンスの低い部分と高い部分が生じ、インピーダ
ンスの低い部分に放電か集中してアークになりゃすい欠
点があった。また、放電管近傍にグランド電位に近い金
属があると、静電容量を通じて電流が流れようとする為
、放電かその方向にかだむく現象も知られている。
が短く、繰り返しか遅いとｃｗあるいは僅り返しの速い
パルスの場合と比べ、イオン化した分子の一部が高速ガ
ス流で運び去られ、イオンが減少するため放電管内にイ
ンピーダンスの低い部分と高い部分が生じ、インピーダ
ンスの低い部分に放電か集中してアークになりゃすい欠
点があった。また、放電管近傍にグランド電位に近い金
属があると、静電容量を通じて電流が流れようとする為
、放電かその方向にかだむく現象も知られている。
この発明は、これらの従来の高速軸流ガスレーザ発振器
の欠点を除去することを目的とするものであり、ＣＷ放
電時の′ｉ！流を下げた状態またパルス放電時にも安定
した放電を得ることができる高速軸流ガスレーザ発振器
を提供せんとするものである。
の欠点を除去することを目的とするものであり、ＣＷ放
電時の′ｉ！流を下げた状態またパルス放電時にも安定
した放電を得ることができる高速軸流ガスレーザ発振器
を提供せんとするものである。
（問題点を解決するための手段）
この発明は、一方の端面な全反射鏡、他方の端面な半透
過鏡でそれぞれ閉塞した筒状のガラス管の一方の鏡寄り
の管壁にガス導入口を、他方の鏡寄りの管壁にガス排出
口をそれぞれ設け、前記ガス導入口寄りに第２電極を、
ガス導入口とガス排出口の間でガス排出口寄りに第１電
極をそれぞれ配置し、更に第１電極と第２電極の間のガ
ラス管外周壁を一様に囲繞する第３電極を第２電極寄り
に設けた高速軸流型ガスレーザ発振器において、高周波
を印加する第４電極を第１電極寄りに設けることにより
、上記目的を達成せんとするものである。
過鏡でそれぞれ閉塞した筒状のガラス管の一方の鏡寄り
の管壁にガス導入口を、他方の鏡寄りの管壁にガス排出
口をそれぞれ設け、前記ガス導入口寄りに第２電極を、
ガス導入口とガス排出口の間でガス排出口寄りに第１電
極をそれぞれ配置し、更に第１電極と第２電極の間のガ
ラス管外周壁を一様に囲繞する第３電極を第２電極寄り
に設けた高速軸流型ガスレーザ発振器において、高周波
を印加する第４電極を第１電極寄りに設けることにより
、上記目的を達成せんとするものである。
（作 用）
この発明におけるガスレーザ発振器の第４電極９は第１
電極７との間で高周波放電をさせるものであり、ガラス
管の外周壁をとりまいている。そして、このガラス管３
内を第２電極から第１ＴＬ極の方向に向って混合ガスＧ
を流す。第３電極に高周波電圧を印加し、微弱なグロー
放電を発生させて放電開始電圧を下げ、第１電極に直流
の高圧を印加すると、第１電極と第２電極で直流の主放
電が開始されると共に第１電極と第４電極の間で弱い高
周波放電が始まる。したがって、主放電の電流を下げて
も第４電極からの高周波放電によって安定な放電を維持
することができるようになる。
電極７との間で高周波放電をさせるものであり、ガラス
管の外周壁をとりまいている。そして、このガラス管３
内を第２電極から第１ＴＬ極の方向に向って混合ガスＧ
を流す。第３電極に高周波電圧を印加し、微弱なグロー
放電を発生させて放電開始電圧を下げ、第１電極に直流
の高圧を印加すると、第１電極と第２電極で直流の主放
電が開始されると共に第１電極と第４電極の間で弱い高
周波放電が始まる。したがって、主放電の電流を下げて
も第４電極からの高周波放電によって安定な放電を維持
することができるようになる。
また、第１電極に高圧パルスを印加したときはガラス管
の外周壁を同じ電位でとりまいている第４電極によって
、従来技術の静電容量による一様なグロー放電を助長す
る効果をそこなうことなく連続放電特性をも改良させる
ことができる。
の外周壁を同じ電位でとりまいている第４電極によって
、従来技術の静電容量による一様なグロー放電を助長す
る効果をそこなうことなく連続放電特性をも改良させる
ことができる。
（実施例）
第１図はこの発明にかかる高速軸流ガスレーザ発振器の
断面図てあり、一方の端面な全反射鏡１、他方の端面な
半透過鏡２でそれぞれ閉塞した筒状のガラス管３の一方
の鏡寄りの管壁にはガス導入口４が、他方の鏡寄りの管
壁にはガス排出口５がそれぞれ設けられており、ガラス
管３内にＣＯ２、Ｎ２ 、Ｈｅの混合ガスＧを流通させ
る様になっている。そして、前記ガス導入口４内には第
２電極６か位置されており、この第２電極６はクランド
電位又は低電位に接続されている。一方、ガス導入口４
とガス排出口５の間てガス排出口５富りのガラス管３の
内周壁には第１電極７か位置しており、この第１電極７
にはマイナスの高電圧か印加される様になっている。
断面図てあり、一方の端面な全反射鏡１、他方の端面な
半透過鏡２でそれぞれ閉塞した筒状のガラス管３の一方
の鏡寄りの管壁にはガス導入口４が、他方の鏡寄りの管
壁にはガス排出口５がそれぞれ設けられており、ガラス
管３内にＣＯ２、Ｎ２ 、Ｈｅの混合ガスＧを流通させ
る様になっている。そして、前記ガス導入口４内には第
２電極６か位置されており、この第２電極６はクランド
電位又は低電位に接続されている。一方、ガス導入口４
とガス排出口５の間てガス排出口５富りのガラス管３の
内周壁には第１電極７か位置しており、この第１電極７
にはマイナスの高電圧か印加される様になっている。
また、第１電極と第２電極の間で第２電極寄りの外周壁
には第３電極８か位置されており、高周波か印加される
様になっている。
には第３電極８か位置されており、高周波か印加される
様になっている。
なお、これらは従来の高速軸流タイプのガスレーザ発振
器で採用されてきたものである。
器で採用されてきたものである。
更に、第１電極７から第２電極６側へ約５０ｍｍ離れた
位置の外周壁には、このガラス管を囲繞する様に一様な
円周状の第４電極９か設けられている。第４１ｒＬ極９
はこの実施例においてはシリコン被覆した導線をガラス
ｌ７Ｆ３の外周壁に２回巻き付けたものである。そして
、この第４ＴｒＬ極９は高周波′ｊ［源に接続されてい
る。この実施例においては、グランド電位に対し高周波
が印加される様になっているが、第１電極７に対し高周
波が印加されても同様の効果を有する。なお、この第４
電極９は、ガラス管３の外周壁を一様にとりまくことの
できる導電性を有するリング等を用いても良い。
位置の外周壁には、このガラス管を囲繞する様に一様な
円周状の第４電極９か設けられている。第４１ｒＬ極９
はこの実施例においてはシリコン被覆した導線をガラス
ｌ７Ｆ３の外周壁に２回巻き付けたものである。そして
、この第４ＴｒＬ極９は高周波′ｊ［源に接続されてい
る。この実施例においては、グランド電位に対し高周波
が印加される様になっているが、第１電極７に対し高周
波が印加されても同様の効果を有する。なお、この第４
電極９は、ガラス管３の外周壁を一様にとりまくことの
できる導電性を有するリング等を用いても良い。
この第４電極９は、第１電極７との間で高周波放電させ
ることにより第１電極７と第２電極６の主放電が従来は
不安定となるときも放電を安定させる為のものである。
ることにより第１電極７と第２電極６の主放電が従来は
不安定となるときも放電を安定させる為のものである。
また、一様なグロー放電の得−にくい第１電極７に高圧
パルス電圧を印加するという条件の場合にもガラス管の
外周を同電位でとりまいている第４電極が存在すること
により、かたよりのない均一なグロー放電を得ることが
できる。
パルス電圧を印加するという条件の場合にもガラス管の
外周を同電位でとりまいている第４電極が存在すること
により、かたよりのない均一なグロー放電を得ることが
できる。
なお、高圧印加特性は第１電極７と第２電極６の電位を
逆にしても同様の効果が得られる。又。
逆にしても同様の効果が得られる。又。
図中１０はバラスト抵抗、１１はスイッチである。
（発明の効果）
この発明に係るガスレーザ発振器は上述の通りガラス管
の外周壁に第１電極との間で高周波放電する第４′准極
を設けたのでＣＷ時放電入力を下げても安定して放電さ
せることができ、パルス放電時にはかたよりのない安定
な放電を得ることがてきるすぐれた効果を有する。
の外周壁に第１電極との間で高周波放電する第４′准極
を設けたのでＣＷ時放電入力を下げても安定して放電さ
せることができ、パルス放電時にはかたよりのない安定
な放電を得ることがてきるすぐれた効果を有する。
第１図はこの発明に係る高速軸流ガスレーザ発振器の一
実施例の断面図である。 ｌ・・・全反射鏡、２・・・半透過鏡、３・・・ガラス
管、４・・・ガス導入口、５・・・ガス排出口、６・・
・第２電極、７・・・第１電極、８・・・第３電極、９
・・・第４電極、１０・・・バラスト抵抗、１１・・・
スイッチ、Ｇ・・・混合ガス。
実施例の断面図である。 ｌ・・・全反射鏡、２・・・半透過鏡、３・・・ガラス
管、４・・・ガス導入口、５・・・ガス排出口、６・・
・第２電極、７・・・第１電極、８・・・第３電極、９
・・・第４電極、１０・・・バラスト抵抗、１１・・・
スイッチ、Ｇ・・・混合ガス。
Claims (1)
- 一方の端面を全反射鏡、他方の端面を半透過鏡でそれぞ
れ閉塞した筒状のガラス管の一方の鏡寄りの管壁にガス
導入口を、他方の鏡寄りの管壁にガス排出口をそれぞれ
設け、前記ガス導入口寄りに第２電極を、ガス導入口と
ガス排出口の間でガス排出口寄りに第１電極をそれぞれ
配置し、更に第１電極と第２電極の間のガラス管外周壁
を一様に囲繞する第３電極を第２電極寄りに設けた高速
軸流型ガスレーザ発振器において、高周波を印加する第
４電極を第１電極寄りに設けたことを特徴とする高速軸
流ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10478286A JPS62262476A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 高速軸流ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10478286A JPS62262476A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 高速軸流ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262476A true JPS62262476A (ja) | 1987-11-14 |
Family
ID=14390039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10478286A Pending JPS62262476A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 高速軸流ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62262476A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5839396A (ja) * | 1981-08-13 | 1983-03-08 | アライド・コ−ポレ−シヨン | 非晶質の盗難防止用標識 |
| JPS5963785A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6114780A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発生器 |
-
1986
- 1986-05-09 JP JP10478286A patent/JPS62262476A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5839396A (ja) * | 1981-08-13 | 1983-03-08 | アライド・コ−ポレ−シヨン | 非晶質の盗難防止用標識 |
| JPS5963785A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6114780A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発生器 |
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