JPS62258404A - Production of color filter - Google Patents
Production of color filterInfo
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- JPS62258404A JPS62258404A JP61102502A JP10250286A JPS62258404A JP S62258404 A JPS62258404 A JP S62258404A JP 61102502 A JP61102502 A JP 61102502A JP 10250286 A JP10250286 A JP 10250286A JP S62258404 A JPS62258404 A JP S62258404A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー撮像素子やカラー液晶ディスプレイの
色分解に用いられるカラーフィルターの各カラーフィル
ター要素間に設ける遮光部の製造方法に関するものであ
る。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for manufacturing a light shielding section provided between each color filter element of a color filter used for color separation of a color image sensor or a color liquid crystal display. .
本発明は、カラーフィルター要素間に異なる分光特性の
樹脂層を重ねることによって形成する樹脂層のうち少な
くとも一層を、カラーフィルター要素の樹脂層と同時に
形成することによって、工程数の低減を行なうものであ
る。The present invention reduces the number of steps by forming at least one of the resin layers formed by stacking resin layers with different spectral characteristics between color filter elements at the same time as the resin layer of the color filter element. be.
従来からの製造方法においては、カラーフィルター要素
間の遮光部の樹脂層の一層とカラーフィルター要素の樹
脂層の形成は、別々に行なわれていた。In conventional manufacturing methods, the formation of the resin layer of the light-shielding portion between the color filter elements and the resin layer of the color filter element were performed separately.
しかし、前述の従来技術では、遮光部のないカラーフィ
ルターに比べて遮光部を作るための工程数が増えるとい
う問題点を有する。そこで本発明は、このような問題点
を解決するもので、その目的とするところは、工程数の
増加をなるべく少なくして、カラーフィルター要素間の
遮光部を形成するところにある。However, the above-mentioned conventional technology has a problem in that the number of steps required to create the light-shielding portion is increased compared to a color filter without a light-shielding portion. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve these problems, and its purpose is to form a light-shielding portion between color filter elements while minimizing the increase in the number of steps.
本発明のカラーフィルターの製造方法は、複数種の分光
特性から成るカラーフィルター要素が複数と、各カラー
フィルター要素間の遮光部から成り、かつ各カラーフィ
ルター要素とカラーフィルター要素間の遮光部が染色さ
れた樹脂層によって形成され、カラーフィルター要素間
の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一層されて形成さ
れているカラーフィルターにおいて、遮光部の少なくと
モ一層の樹脂層を いずれかのカラーフィルター要素形
成時に同時に形成することを特徴とする。The method for producing a color filter of the present invention comprises a plurality of color filter elements each having a plurality of types of spectral characteristics and a light-shielding part between each color filter element, and each color filter element and the light-shielding part between the color filter elements are dyed. In a color filter in which the light-shielding parts between the color filter elements are formed by stacking resin layers with different spectral characteristics, at least one resin layer in the light-shielding part is formed by one of the color filters. It is characterized in that it is formed at the same time as the element is formed.
第１例として、本発明による、赤、青、緑の三色の樹脂
層から成るカラーフィルターにおいて、赤、青、緑の三
層を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を
第１図に示す。As a first example, FIG. 1 shows a method of manufacturing a color filter according to the present invention, which consists of resin layers of three colors red, blue, and green, in which the three layers of red, blue, and green are stacked to form a light-shielding part. Shown below.
第１図（ａ）は、基板上に染色性を持つ感光性樹脂層を
形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選択
的に総光したのち、これを現像して、赤色の分光特性を
持つカラーフィルター要素と各カラーフィルター要素間
の領域について樹脂層残して、これを染色し、ざらをこ
防染膜ないし防染剤によって防染処理を行なって、赤色
に染色された樹脂Ｎ１が形成されたところを示している
。Figure 1(a) shows that a dyeable photosensitive resin layer is formed on a substrate, a glass mask is used to selectively expose a predetermined area to total light, and then this is developed to obtain red spectral characteristics. A resin layer is left in the area between the color filter element and each color filter element, and this is dyed, and resist dyeing treatment is performed using a rough resist dyeing film or resist dye agent, and the red dyed resin N1 is dyed. It shows where it was formed.
第１図（ｂ）は、さらにこの上に 同様の工程絹よって
、緑色の分光特性を持つカラーフィルター要素と各カラ
ーフィルター要素間の領域に 緑色に染色された樹脂層
２が形成されたところを示している。Fig. 1(b) shows a state in which a resin layer 2 dyed green is further formed in the region between the color filter elements having green spectral characteristics and each color filter element using a similar process. It shows.
第１図（ｃ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
青色の分光特性を持つカラーフィルター要素と各カラ
ーフィルター要素間の領域に 青色に染色された樹脂層
３が形成されたところを示している。第１図（ｄ）に
そのときの断面図を示す。FIG. 1(c) shows that a resin layer 3 dyed blue is further formed on top of this by a similar process in the areas between color filter elements having blue spectral characteristics and each color filter element. There is. In Figure 1(d)
A cross-sectional view at that time is shown.
このとき 各カラーフィルター要素間は、赤。At this time, the space between each color filter element is red.
緑、青の三種の樹脂層が一層されている。三種の樹脂層
とそれらが重なった領域の分光特性を 第５図に示す。Three types of resin layers, green and blue, are layered. Figure 5 shows the spectral characteristics of the three types of resin layers and the area where they overlap.
赤、緑、青の三層が重なったときの分光特性１３より、
各カラーフィルター要ｘ間の領域は、遮光領域であると
いうことができる。From the spectral characteristics 13 when the three layers of red, green, and blue overlap,
The area between each color filter element x can be said to be a light-shielding area.
また、第１図に示した方法によりカラーフィルターを作
った場合には、遮光部を作るために増加する工程数はな
い。Further, when a color filter is made by the method shown in FIG. 1, there is no additional process step for making a light shielding part.
第２例として、本発明Ｇこよる、赤、青、緑の三色の樹
脂層から成るカラーフィルターにおいて、赤、青の二層
を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を第
２図に示す。As a second example, Fig. 2 shows a method of manufacturing a color filter according to the present invention, which is composed of three resin layers of red, blue, and green, and in which the two layers of red and blue are overlapped to form a light shielding part. Shown below.
第２図（α）は、基板上に染色性を持つ感光性樹脂層を
形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選択
的に露光したのち、これを現像して、赤色の分光特性を
持つカラーフィルター要素と各カラーフィルター要素間
の領域について樹脂層残して、これを染色し、ざらに防
染膜ないし防染剤によって防染処理を行なって、赤色に
染色された樹脂層１が形成されたところを示している。In Figure 2 (α), a photosensitive resin layer with dyeability is formed on a substrate, and predetermined areas are selectively exposed using a glass mask, and then this is developed to obtain red spectral characteristics. A resin layer is left in the area between the color filter element and each color filter element, this is dyed, and resist dyeing treatment is performed using a resist dyeing film or a resist dye agent to form a resin layer 1 dyed red. It shows where it was done.
第２図（ｂ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
緑色の分光特性を持つカラーフィルター要素の領域に
緑色に染色された樹脂層２が形成されたところを示し
ている。FIG. 2(b) shows that a resin layer 2 dyed green is further formed in the region of the color filter element having green spectral characteristics by a similar process.
第２図（Ｃ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
青色の分光特性を持つカラーフィルター！ｌｉｉ累と
各カラーフィルター要素間の領域に 青色に染色された
樹脂層３が形成されたところを示している。第２図（ｄ
）に そのときの断面図を示す。In Figure 2 (C), a color filter with blue spectral characteristics is added using the same process! It shows that a blue-dyed resin layer 3 is formed in the area between the lii layer and each color filter element. Figure 2 (d
) shows the cross-sectional view at that time.
このとき 各カラーフィルター要素間は、赤と青の二種
の樹脂層が一層されている。この二種の樹脂層とそれら
が重なった領域の分光特性を 第６図に示す。赤、青の
二層が重なったときの分光特性１４より、各カラーフィ
ルター要素間の領域は、遮光領域であると言うことがで
きる。At this time, two types of resin layers, red and blue, are layered between each color filter element. Figure 6 shows the spectral characteristics of these two types of resin layers and the area where they overlap. From the spectral characteristics 14 when the two layers of red and blue overlap, it can be said that the area between each color filter element is a light-blocking area.
また、第５図を第６図と比較すると、赤青の二層の一層
と赤青緑の三層の一層では遮光効果にほとんど差がない
。これにより 遮光効果は、赤と青の二層を重ねること
により十分得られることがわかる。Moreover, when FIG. 5 is compared with FIG. 6, there is almost no difference in the light-shielding effect between one layer of two layers of red and blue and one layer of three layers of red, blue and green. This shows that a sufficient light-shielding effect can be obtained by stacking two layers of red and blue.
第２例に示した方法によりカラーフィルターを作った場
合には、遮光部を作ること（こよる工程数の増り日はな
い。When a color filter is made by the method shown in the second example, there is no need to create a light shielding part (there is no increase in the number of steps due to this).
また、第２例に示した方法Ｑこよって作ったカラーフィ
ルターは、第１例に示した方法によって作ったカラーフ
ィルターに比べて 遮光部とカラーフィルター要素との
樹脂層の厚みの差が少ない特徴がある。Additionally, the color filter made using method Q shown in the second example has a feature that the difference in the thickness of the resin layer between the light shielding part and the color filter element is smaller than that of the color filter made using the method shown in the first example. There is.
第３例として、本発明による、シアンと黄色の二色の樹
脂層から成るカラーフィルターＱこおいて、赤とシアン
の二層を重ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方
法を第６図に示す。As a third example, FIG. 6 shows a method of manufacturing a color filter according to the present invention, in which two layers of red and cyan are overlapped to form a light shielding part in a color filter Q consisting of two resin layers of cyan and yellow. show.
第３図（α）は、基板上（こ染色性を持つ感光性樹脂層
を形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選
択的に露光したのち、これを現像しして、各カラーフィ
ルター要素間の領域について樹脂層残して、これを染色
し、さらに防染膜ないし防染剤による防染処理を行なっ
て、赤色に染色された樹脂層１が形成されたところを示
している第３図Ｃｂ＞は、さらにこの上に 同様の工程
によって シアンの分光特性を持つカラーフィルター要
素と各カラーフィルター要素間の領域にシアンに染色さ
れた樹脂層７が形成されたところを示している。Figure 3 (α) shows that a photosensitive resin layer with dyeing properties is formed on the substrate, and predetermined areas are selectively exposed using a glass mask, and then this is developed to form each color filter. The resin layer 1 is left in the area between the elements, is dyed, and is further subjected to resist dyeing treatment using a resist dyeing film or a resist dye agent to form a resin layer 1 dyed in red. Figure Cb> shows that a resin layer 7 dyed cyan is further formed on this in a similar process in the areas between color filter elements having cyan spectral characteristics and each color filter element.
第３図ＣＣ）は、さらにこの上に 同様の工程によって
黄色の分光特性を持つカラーフィルター要素の領域に
黄色に染色された樹脂ｆＷＪ ８が形成されたところ
を示している。第３図（ｄ）にそのときの断面図を示す
。Fig. 3 (CC) shows that a yellow-dyed resin fWJ 8 is further formed in the area of a color filter element having yellow spectral characteristics by a similar process. FIG. 3(d) shows a cross-sectional view at that time.
このとき 各カラーフィルター要素間は、シアンと赤の
二種の樹脂層が一層され、遮光領域となっている。At this time, two types of resin layers, cyan and red, are layered between each color filter element to form a light-shielding area.
また、第５図に示す方法によりカラーフィルターを作っ
た場合、遮光部を作るために樹脂層を所定の領域に形成
し、染色する工程が１回必斐であり、工程数の増加を招
く。Furthermore, when a color filter is made by the method shown in FIG. 5, the process of forming a resin layer in a predetermined area and dyeing the resin layer to create a light-shielding part must be carried out once, leading to an increase in the number of processes.
第４例として、従来の、樹脂層を重ねて遮光部とするカ
ラーフィルターの製造方法を第４図に示す。As a fourth example, FIG. 4 shows a conventional method of manufacturing a color filter in which resin layers are stacked to form a light shielding part.
第４図（ａ）は、基板上Ｇこ染色性を持つ感光性樹脂層
を形成し、ガラスマスクを用いて所定の領域について選
択的に露光したのち、これを現像して、各カラーフィル
ター要素間の領域について樹脂層残して、これを染色し
、さらに防染膜ないし防染剤によって防染処理を行なっ
て 赤色に染色された樹脂層１が形成されたところを示
している第４図Ｃｂ’）は、さらにこの上に 同様の工
程によって各カラーフィルター要素間の領域に 青色に
染色された樹脂層２が形成されたところを示している。FIG. 4(a) shows that a photosensitive resin layer with G dyeability is formed on a substrate, and predetermined areas are selectively exposed to light using a glass mask, and then this is developed to form each color filter element. Figure 4Cb shows the resin layer 1 dyed in red by leaving the resin layer in the area between the two, dyeing it, and then applying resist dyeing treatment using a resist dyeing film or a resist dye agent. ') shows that a resin layer 2 dyed blue is further formed in the area between each color filter element by the same process.
以上の工程により、遮光部が形成される。Through the above steps, a light shielding portion is formed.
第４図＜ｃ＞は、さらに各カラーフィルター要素に、赤
、緑、青の所定の色で染色された樹脂層１〜３が形成さ
れたところを示している。FIG. 4<c> shows that resin layers 1 to 3 dyed with predetermined colors of red, green, and blue are further formed on each color filter element.
第４図に示す方法によりカラーフィルターを作った場合
、遮光部を作るために樹脂層を所定の領域に形成し、染
色する工程が２回必髪であり、工程数の増加を招く。When a color filter is made by the method shown in FIG. 4, it is necessary to form a resin layer in a predetermined area in order to create a light-shielding portion and dye the filter twice, which results in an increase in the number of steps.
複数種の分光特性から成るカラーフィルター要素が複数
と各カラーフィルター要素間の遮光部から構成され、か
つ各カラーフィルター要素とカラーフィルター要素間の
遮光部が染色された樹脂層によって形成され、カラーフ
ィルター要素間の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一
層されることによって形成されているカラーフィルター
において、遮光部の少なくとも一層の樹脂層を いずれ
かのカラーフィルター要素形成時に同時に形成するよう
にしたため、遮光部の樹脂層を形成する工程数の低減が
図れるという効果がある。The color filter element is composed of a plurality of color filter elements each having a plurality of types of spectral characteristics and a light-shielding part between each color filter element, and each color filter element and the light-shielding part between the color filter elements are formed of a dyed resin layer. In a color filter in which the light-shielding portion between elements is formed by layering resin layers with different spectral characteristics, at least one resin layer of the light-shielding portion is formed at the same time when forming any of the color filter elements. This has the effect of reducing the number of steps for forming the resin layer of the light shielding part.
第１図（ｄ）〜（ｄ）は、本発明によるところの赤、青
、緑の三色の樹脂層から成るカラーフィルターにおいて
、赤、青、緑の三層を重ねて遮光部とするカラーフィル
ターの製造方法を示す図である。
第２図（α）〜（ｄ）は、本発明によるところの赤、青
、緑の三色の樹脂層から成るカラーフィルターにおいて
、赤、青の二層を重ねて遮光部とするカラーフィルター
の製造方法を示す図である第３図（（Ｚ）〜（ｄ）は、
本発明によるところのシアンと黄色の二色の樹脂層から
成るカラーフィルターにおいて、赤とシアンの二層を重
ねて遮光部とするカラーフィルターの製造方法を示す図
である。
第４図（α）〜（ｄ）は、従来の 樹脂層を重ねて遮光
部とするカラーフィルターの製造方法を示す図である。
第５図に 赤、緑、青それぞれに染色された樹脂層と
それら三層が重なったときの分光特性を示す図。
第６図に 赤、青それぞれに染色された樹脂層と それ
ら二層が重なったときの分光特性を示す図。
１・・・・・・赤色に染色された樹脂層２・・・・・・
緑 〃
３・・・・・・青
４・・・・・・赤色に染色された樹脂層と緑色に染色さ
れた樹脂層の重なり
５・・・・・・赤色に染色された樹脂層と緑色に染色さ
れた樹脂層と青色に染色された樹脂層との重なり
６・・・・・・赤色に染色された樹脂層と青色に染色さ
れた樹脂層との重なり
７・・・・・・シアンに染色された樹脂層８・・・・・
・黄色に染色された樹脂層９・・・・・・シアンに染色
された樹脂層と黄色に染色された樹脂層との重なり
１０・・・赤色に染色された樹脂層の分光特性１１・・
・緑色に染色された樹脂層の分光特性１２・・・青色に
染色された樹脂層の分光特性１３・・−赤、緑、青それ
ぞれに染色された樹脂層が三層型なったときの分光特性
１４・・・赤、青それぞれに染色された樹脂層が二層型
なったときの分光特性
以 上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士最上務（他１名）
４００ ５００
Ｂｏｏ ７００５皮長 （ｎ
ｍ）
５皮長 （ｎｍ）FIGS. 1(d) to (d) show a color filter in which the three layers of red, blue, and green are stacked to form a light-shielding part in a color filter according to the present invention consisting of three-color resin layers of red, blue, and green. It is a figure showing the manufacturing method of a filter. Figures 2 (α) to (d) show a color filter according to the present invention consisting of resin layers of three colors red, blue, and green, in which two layers of red and blue are overlapped to form a light-shielding part. FIG. 3 ((Z) to (d), which is a diagram showing the manufacturing method,
FIG. 3 is a diagram illustrating a method of manufacturing a color filter according to the present invention, in which two layers of red and cyan are stacked to form a light-shielding portion in a color filter consisting of resin layers of two colors, cyan and yellow. FIGS. 4(α) to 4(d) are diagrams showing a conventional method of manufacturing a color filter in which resin layers are stacked to form a light-shielding portion. Figure 5 shows resin layers dyed red, green, and blue.
A diagram showing the spectral characteristics when these three layers overlap. Figure 6 shows the resin layers dyed red and blue, and the spectral characteristics when these two layers overlap. 1...Resin layer dyed red 2...
Green 〃 3... Blue 4... Overlapping of red dyed resin layer and green dyed resin layer 5... Red dyed resin layer and green Overlap between the resin layer dyed in red and the resin layer dyed in blue 6...Overlap between the resin layer dyed in red and the resin layer dyed in blue 7...Cyan Resin layer 8 dyed...
・Yellow dyed resin layer 9... Overlap of cyan dyed resin layer and yellow dyed resin layer 10... Spectral characteristics of red dyed resin layer 11...
・Spectral characteristics of the resin layer dyed green 12...Spectral characteristics of the resin layer dyed blue 13...-Spectral characteristics when the resin layers dyed red, green, and blue form a three-layer structure Characteristic 14: Spectral characteristics when the resin layers dyed in red and blue form a two-layer structure Applicant Seiko Epson Corporation Representative Patent Attorney Mogami (1 other person) 400 500
Boo 7005 skin length (n
m) 5 skin length (nm)
Claims (1)
と各カラーフィルター要素間の遮光部から構成され、か
つ各カラーフィルター要素とカラーフィルター要素間の
遮光部が染色された樹脂層によって形成され、カラーフ
ィルター要素間の遮光部が分光特性の異なる樹脂層が一
層されることによって形成されているカラーフィルター
において、遮光部の少なくとも一層の樹脂層をいずれか
のカラーフィルター要素形成時に同時に形成することを
特徴とするカラーフィルターの製造方法。The color filter element is composed of a plurality of color filter elements each having a plurality of types of spectral characteristics and a light-shielding part between each color filter element, and each color filter element and the light-shielding part between the color filter elements are formed of a dyed resin layer. A color filter in which the light-shielding portions between the elements are formed by layering resin layers having different spectral characteristics, characterized in that at least one resin layer of the light-shielding portions is formed simultaneously when forming any of the color filter elements. A method for manufacturing color filters.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61102502A JPS62258404A (en) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | Production of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61102502A JPS62258404A (en) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | Production of color filter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62258404A true JPS62258404A (en) | 1987-11-10 |
Family
ID=14329180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61102502A Pending JPS62258404A (en) | 1986-05-02 | 1986-05-02 | Production of color filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
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