JPS62251609A - 超音波表面測定方法 - Google Patents
超音波表面測定方法Info
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- JPS62251609A JPS62251609A JP61096157A JP9615786A JPS62251609A JP S62251609 A JPS62251609 A JP S62251609A JP 61096157 A JP61096157 A JP 61096157A JP 9615786 A JP9615786 A JP 9615786A JP S62251609 A JPS62251609 A JP S62251609A
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Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、起伏や粗さ等の表面状態を測定する超音波表
面測定方法に関する。
面測定方法に関する。
材料等の表面状態を測定することは、その表面の摩耗性
、潤滑性、反応性、密着性などを評価する上に１！！で
ある。表面状態を表わす値のうち特に表面粗さに代表さ
れる表面の形状指標は実用的な観点から非常に重要な特
性値となる。そこで、従来、材料等の表面粗さを測定す
る方法としては、触針子を材料の表面に接触させて移動
させる接触式のものがある。つまり、触針子を表面上に
移動させたときの触針子の上下移動を電気信号に変換し
、この電気信号を増幅することによって材料表面の起伏
を記録するものである。また、非接触式の測定方法とし
ては、レーザ光を使用したものが実用化されている。
、潤滑性、反応性、密着性などを評価する上に１！！で
ある。表面状態を表わす値のうち特に表面粗さに代表さ
れる表面の形状指標は実用的な観点から非常に重要な特
性値となる。そこで、従来、材料等の表面粗さを測定す
る方法としては、触針子を材料の表面に接触させて移動
させる接触式のものがある。つまり、触針子を表面上に
移動させたときの触針子の上下移動を電気信号に変換し
、この電気信号を増幅することによって材料表面の起伏
を記録するものである。また、非接触式の測定方法とし
ては、レーザ光を使用したものが実用化されている。
しかしながら上記各方法では次のような問題がある。
触針子を使用する方法では、触針子の素材がダイヤモン
ドであるため軟質の材料表面に対しては材料表面に破損
等が生じて正確な表面粗さの測定ができない。また、触
針子の上下移動を電気信号に変換するので、高精度の測
定結果を得るために触針子の移動速度を速くすることが
困難で測定に時間が掛ってしまう。さらに、触針子は測
定するとき支点を中心として円軌道を描いて移動するた
めに、鋭角な表面粗さのピーク値や急俊な起伏に対して
は十分な精度をもって測定することができない。一方、
レーザ光を使用する方法は、大きな表面起伏に対しては
十分測定できるが、表面粗さのような高精度を必要とす
る測定に対しては今だ十分でないのが実情である。
ドであるため軟質の材料表面に対しては材料表面に破損
等が生じて正確な表面粗さの測定ができない。また、触
針子の上下移動を電気信号に変換するので、高精度の測
定結果を得るために触針子の移動速度を速くすることが
困難で測定に時間が掛ってしまう。さらに、触針子は測
定するとき支点を中心として円軌道を描いて移動するた
めに、鋭角な表面粗さのピーク値や急俊な起伏に対して
は十分な精度をもって測定することができない。一方、
レーザ光を使用する方法は、大きな表面起伏に対しては
十分測定できるが、表面粗さのような高精度を必要とす
る測定に対しては今だ十分でないのが実情である。
そこで本発明は上記問題点を解決すめために、表面状態
を非接触状態で高精度に測定できる超音波表面測定方法
を提供することを目的とする。
を非接触状態で高精度に測定できる超音波表面測定方法
を提供することを目的とする。
本発明は、被測定面形状の測定に必要な分解能を得るた
めの周波数以上の超音波を被測定面に送信するとともに
その反射波を受信する超音波送受信センサと、この超音
波送受信センサを被測定面に対してスキャンさせるスキ
ャン機構とを備え、超音波送受信センサで受信される反
射波の最大反射音圧レベルの分布を求めて上記目的を達
成しようとする超音波表面測定方法である。
めの周波数以上の超音波を被測定面に送信するとともに
その反射波を受信する超音波送受信センサと、この超音
波送受信センサを被測定面に対してスキャンさせるスキ
ャン機構とを備え、超音波送受信センサで受信される反
射波の最大反射音圧レベルの分布を求めて上記目的を達
成しようとする超音波表面測定方法である。
このような手段を備えたことにより、超音波送受信セン
サから送信される超音波の収束位置が被測定面の垂直方
向に対して変化されるとともに超音波送受信センサが被
測定面上の所望方向にスキャンされ、このスキャンによ
り得られる最大反射音圧レベルの分布から被測定面形状
が求められる。
サから送信される超音波の収束位置が被測定面の垂直方
向に対して変化されるとともに超音波送受信センサが被
測定面上の所望方向にスキャンされ、このスキャンによ
り得られる最大反射音圧レベルの分布から被測定面形状
が求められる。
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は超音波表面測定方法を適用した超音波表面測定
装置の構成図である。１は超音波顕微装置であって、こ
れは被測定面としての材料表面２を有する材料３の内部
組織を非破壊により観察するものであるが、本発明では
この装置１で得られる反射波音圧レベルを利用する。そ
の構成は、周波数３００ＭＨ２以上の発振信号を出力す
る高周波発振器４と、この高周波発振器４から出力され
る発振信号を圧電１１１５に導くとともに、この圧電膜
５からの電気信号を信号処理部６へ送るサーキュレータ
７を有している。圧電膜５は、発振信号が加えられるこ
とにより超音波８に電気音響変換し、かつ材料表面２か
らの反射波を受信してその音圧レベルに応じた電気信号
に音響電気変換するものである。そうして、超音波８の
平面波は音響レンズ９により収束され、さらに音波伝搬
媒体（例えば、水）１０を通して材料表面２に照射され
るようになっている。なお、高周波発振器４、圧電膜５
および音響レンズ９により超音波送受信センサが構成さ
れ、このセンサはスキャン機構１１により材料表面２の
垂直方向（深さ方向）を２軸方向とすると、このＺ軸方
向と互いに直交するＸ軸方向およびｙ軸方向に移動可能
となっている。具体的にこのスキャン方向は、例えばＺ
軸方向に対する音圧レベルを得る毎に所定距離づつＸ軸
方向に移動させたり、又２軸方向に対する音圧レベルを
得る毎に所定距離づつＸ軸方向に移動させ、このＸ軸方
向に対する移動が終了するとｙ軸方向に所定距離移動さ
せて再びＸ軸方向に移動させたりするものとなっている
。信号処理部６は、圧電膜５から送られてくる反射波の
電気信号を受け、その反射波の音圧レベルの差をコント
ラストとする１画素に変換して超音波画像データを得る
機能をもったものである。従って、超音波８の収束位置
をＺ軸方向に、対して変化させると、そのときの超音波
画像データの各画素から第２図に示すように材料３の深
さ位置に対する反射波の音圧レベルＶの分布が得られる
。さて、この信号処理部６により求められる音圧レベル
の超音波画像データは計測演算部１２に送られるように
なっている。この計測演算部１２は取り込んだ超音波画
像データから最大反射音圧レベルの分布を抽出し、この
最大反射音圧レベルの分布を材料表面２の形状として求
める機能を持ったものである。
装置の構成図である。１は超音波顕微装置であって、こ
れは被測定面としての材料表面２を有する材料３の内部
組織を非破壊により観察するものであるが、本発明では
この装置１で得られる反射波音圧レベルを利用する。そ
の構成は、周波数３００ＭＨ２以上の発振信号を出力す
る高周波発振器４と、この高周波発振器４から出力され
る発振信号を圧電１１１５に導くとともに、この圧電膜
５からの電気信号を信号処理部６へ送るサーキュレータ
７を有している。圧電膜５は、発振信号が加えられるこ
とにより超音波８に電気音響変換し、かつ材料表面２か
らの反射波を受信してその音圧レベルに応じた電気信号
に音響電気変換するものである。そうして、超音波８の
平面波は音響レンズ９により収束され、さらに音波伝搬
媒体（例えば、水）１０を通して材料表面２に照射され
るようになっている。なお、高周波発振器４、圧電膜５
および音響レンズ９により超音波送受信センサが構成さ
れ、このセンサはスキャン機構１１により材料表面２の
垂直方向（深さ方向）を２軸方向とすると、このＺ軸方
向と互いに直交するＸ軸方向およびｙ軸方向に移動可能
となっている。具体的にこのスキャン方向は、例えばＺ
軸方向に対する音圧レベルを得る毎に所定距離づつＸ軸
方向に移動させたり、又２軸方向に対する音圧レベルを
得る毎に所定距離づつＸ軸方向に移動させ、このＸ軸方
向に対する移動が終了するとｙ軸方向に所定距離移動さ
せて再びＸ軸方向に移動させたりするものとなっている
。信号処理部６は、圧電膜５から送られてくる反射波の
電気信号を受け、その反射波の音圧レベルの差をコント
ラストとする１画素に変換して超音波画像データを得る
機能をもったものである。従って、超音波８の収束位置
をＺ軸方向に、対して変化させると、そのときの超音波
画像データの各画素から第２図に示すように材料３の深
さ位置に対する反射波の音圧レベルＶの分布が得られる
。さて、この信号処理部６により求められる音圧レベル
の超音波画像データは計測演算部１２に送られるように
なっている。この計測演算部１２は取り込んだ超音波画
像データから最大反射音圧レベルの分布を抽出し、この
最大反射音圧レベルの分布を材料表面２の形状として求
める機能を持ったものである。
ところで、最大反射音圧レベルの分布が材料表面２の形
状（起伏、粗さ）を正確に反映するためには、信号処理
部６で得られる超音波画像データに十分な方位分解能お
よび深度分解能が要求される。これら方位分解能および
深度分解能は理論的に次式により表わされ、超音波８の
波長に比例する。つまり、 方位分解能−Ｆ・λ 深度分解能−２・Ｆ２・λ である。ここで、λは波長、Ｆは定数（、０，７）であ
る。
状（起伏、粗さ）を正確に反映するためには、信号処理
部６で得られる超音波画像データに十分な方位分解能お
よび深度分解能が要求される。これら方位分解能および
深度分解能は理論的に次式により表わされ、超音波８の
波長に比例する。つまり、 方位分解能−Ｆ・λ 深度分解能−２・Ｆ２・λ である。ここで、λは波長、Ｆは定数（、０，７）であ
る。
また、材料３の内部においては超音波の屈折、吸収、散
乱等の問題により理論的な分解能は得られないのが一般
的であるが、最大反射音圧レベルは材料表１ｉｉ２から
の反射波に係わるので以上のような問題は生じない。そ
のうえ、材料３の音波伝搬媒体１０に対する音速差によ
る屈折が無いためにＺ軸方向に対する測定精度はスキャ
ナ機構１１の機械精度と一致するようになる。
乱等の問題により理論的な分解能は得られないのが一般
的であるが、最大反射音圧レベルは材料表１ｉｉ２から
の反射波に係わるので以上のような問題は生じない。そ
のうえ、材料３の音波伝搬媒体１０に対する音速差によ
る屈折が無いためにＺ軸方向に対する測定精度はスキャ
ナ機構１１の機械精度と一致するようになる。
そこで、周波数に対する方位分解能および深度分解能を
示すと第３図の如くとなる。つまり、Ｑｌが方位分解能
であり、Ｑ２が深度分解能を示している。ところで、材
料表１１ｊ２の起伏を測定する場合、有効に情報として
得られる精度の限界は約５μｍである。このことは表面
粗さや表面のうねり等の有効な指標とするためである。
示すと第３図の如くとなる。つまり、Ｑｌが方位分解能
であり、Ｑ２が深度分解能を示している。ところで、材
料表１１ｊ２の起伏を測定する場合、有効に情報として
得られる精度の限界は約５μｍである。このことは表面
粗さや表面のうねり等の有効な指標とするためである。
従って、本発明では理論分解能５μｍ以下とすることを
必須条件とし、この必須条件を方位分解能Ｑ１および深
度分解能Ｑ２のいずれもが満たす超音波の周波数として
３００ＭＨ２を下限とする。
必須条件とし、この必須条件を方位分解能Ｑ１および深
度分解能Ｑ２のいずれもが満たす超音波の周波数として
３００ＭＨ２を下限とする。
次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
。超音波顕微装置１が第４図に示す始点「Ｏ′」に位置
して高周波発振器４から３００ＭＨ２以上の発振信号が
出力されると、この発振信号はサーキュレータ７を通っ
て圧電！Ｉ１５に加えられる。そうすると、この圧１ｍ
１１５から超音波８が送信され音響レンズ９により収束
されて材料表面２に照射される。このとき、音響レンズ
９が調節されて超音波８の収束位置が２軸方向に対して
変化される。従って、圧電膜５に受信される材料表面２
からの反射波は２軸方向に対する収束位置の変化に対応
した音圧レベルとなっている。これにより、圧電［１５
からは反射波の音圧レベルに応じた電気信号が出力され
、この電気信号がサーキュレータ７を通って信号処理部
６に送られる。そして、信号処理部６は、超音波８の収
束位置を変化させたときの各電気信号をこの電気信号レ
ベルに応じたコントラストを示す１画素に変換して始点
「０′」における第２図に示すような超音波画像データ
を作成する。そうして、スキャナ機構１１により超音波
送受信センサをＸ軸方向に所定距離づつ移動させ、第５
図に示すようにその移動毎、例えばＸ軸位ＩＡ１Ｂに２
軸方向に超音波の収束位置を調節して超音波画像データ
を作成する。
。超音波顕微装置１が第４図に示す始点「Ｏ′」に位置
して高周波発振器４から３００ＭＨ２以上の発振信号が
出力されると、この発振信号はサーキュレータ７を通っ
て圧電！Ｉ１５に加えられる。そうすると、この圧１ｍ
１１５から超音波８が送信され音響レンズ９により収束
されて材料表面２に照射される。このとき、音響レンズ
９が調節されて超音波８の収束位置が２軸方向に対して
変化される。従って、圧電膜５に受信される材料表面２
からの反射波は２軸方向に対する収束位置の変化に対応
した音圧レベルとなっている。これにより、圧電［１５
からは反射波の音圧レベルに応じた電気信号が出力され
、この電気信号がサーキュレータ７を通って信号処理部
６に送られる。そして、信号処理部６は、超音波８の収
束位置を変化させたときの各電気信号をこの電気信号レ
ベルに応じたコントラストを示す１画素に変換して始点
「０′」における第２図に示すような超音波画像データ
を作成する。そうして、スキャナ機構１１により超音波
送受信センサをＸ軸方向に所定距離づつ移動させ、第５
図に示すようにその移動毎、例えばＸ軸位ＩＡ１Ｂに２
軸方向に超音波の収束位置を調節して超音波画像データ
を作成する。
このようにしてＸ輪方向のスキャンが終了すると、Ｘ軸
方向に対する超音波画像データが得られる。
方向に対する超音波画像データが得られる。
この超音波画像データは計測演算部１２に送られ、この
計測演算部１２により超音波画像データから最大反射音
圧レベルの分布Ｗが求められる。つまり第６図に示すよ
うに超音波画像データをスキャン（Ｎ−１，・・・ｍ、
ｎ・・・）することにより求められる。言替えれば超音
波画像データにおける最大反射音圧レベル位置をトレー
スしたものが、最大反射音圧レベルの分布Ｗとなる。従
って、この最大反射音圧レベル分布Ｗが材料表面２の形
状として記録出力等される。
計測演算部１２により超音波画像データから最大反射音
圧レベルの分布Ｗが求められる。つまり第６図に示すよ
うに超音波画像データをスキャン（Ｎ−１，・・・ｍ、
ｎ・・・）することにより求められる。言替えれば超音
波画像データにおける最大反射音圧レベル位置をトレー
スしたものが、最大反射音圧レベルの分布Ｗとなる。従
って、この最大反射音圧レベル分布Ｗが材料表面２の形
状として記録出力等される。
さて、以上のようにＸ軸方向に対する測定が終了の後、
スキャン機構１１により超音波送受信センサをｙ軸方向
に所定距離だけ移動して再びＸ軸方向に対して平行方向
にスキャンさせると、３次元の超音波画像データが得ら
れる。従って、ｙ軸方向に対するスキャンが終了すると
、材料表面２の形状が３次元で記録出力される。ところ
で、本発明方法での表面測定結果を触針子での測定方法
と比較すると、第８図（ａ）に本発明での周波数６００
Ｍ ＨＺを用いたときの表面粗さ標準試験片に対する最
大反射音圧レベル分布を示し、同図（ｂ）に一般の冷延
鋼板に対する最大反射音圧レベル分布を示しである。ま
た、第７図（ａ）に触針子による表面粗さ標準試験片に
対する測定結果を示し、同図（ｂ）に一般の冷延鋼板に
対する測定結果を示しである。これら図から本発明方法
による測定精度は触針子による方法とほぼ同一で非接触
方式で高ｒ４度となることが分る。
スキャン機構１１により超音波送受信センサをｙ軸方向
に所定距離だけ移動して再びＸ軸方向に対して平行方向
にスキャンさせると、３次元の超音波画像データが得ら
れる。従って、ｙ軸方向に対するスキャンが終了すると
、材料表面２の形状が３次元で記録出力される。ところ
で、本発明方法での表面測定結果を触針子での測定方法
と比較すると、第８図（ａ）に本発明での周波数６００
Ｍ ＨＺを用いたときの表面粗さ標準試験片に対する最
大反射音圧レベル分布を示し、同図（ｂ）に一般の冷延
鋼板に対する最大反射音圧レベル分布を示しである。ま
た、第７図（ａ）に触針子による表面粗さ標準試験片に
対する測定結果を示し、同図（ｂ）に一般の冷延鋼板に
対する測定結果を示しである。これら図から本発明方法
による測定精度は触針子による方法とほぼ同一で非接触
方式で高ｒ４度となることが分る。
このように上記一実施例においては、超音波送受信セン
サから送信される超音波８の収束位置を変化されるとと
もに超音波送受信センサを材料表面２に対してＸ軸方向
さらにはｙ軸方向に対してスキャンさせ、このスキャン
により得られる最大反射音圧レベルの分布から材料表面
形状を求めるので、非接触状態でかつ正確に材料表面２
の形状を測定できる。従って、材料３が軟質のものであ
っても材料を破損せずに正確に表面２の起伏や粗さを測
定でき、さらに超音波送受信センサをスキャナさせるの
で高速でしかも３次元で表面形状が測定できる。また、
その測定精度も触針子と同一となり鋭角な粗さを有する
表面のピーク値や急俊の表面でも高精度に表面形状の測
定ができる。
サから送信される超音波８の収束位置を変化されるとと
もに超音波送受信センサを材料表面２に対してＸ軸方向
さらにはｙ軸方向に対してスキャンさせ、このスキャン
により得られる最大反射音圧レベルの分布から材料表面
形状を求めるので、非接触状態でかつ正確に材料表面２
の形状を測定できる。従って、材料３が軟質のものであ
っても材料を破損せずに正確に表面２の起伏や粗さを測
定でき、さらに超音波送受信センサをスキャナさせるの
で高速でしかも３次元で表面形状が測定できる。また、
その測定精度も触針子と同一となり鋭角な粗さを有する
表面のピーク値や急俊の表面でも高精度に表面形状の測
定ができる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではなく
、その主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば
、超音波送受信センサにより超音波画像データを得る方
法としては、超音波８の収束位置を一定のまま超音波送
受信センサをＸ軸方向にスキャンさせ、この後、超音波
の収束位置を変化させて再びＸ軸方向にスキャンさせる
ことを繰り返してＸ軸方向に対する超音波画像データを
得るようにし、ざらにＸ軸方向に対する超音波画像デー
タが得られた後、超音波送受信センサをｙ軸方向に移動
させて３次元の超音波画像データを得るようにしてもよ
い。また、超音波画像データから最大反射音圧レベル分
布を得る演算処理も適宜変更してもよく、この演算処理
により測定制動を向上させることも可能である。
、その主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば
、超音波送受信センサにより超音波画像データを得る方
法としては、超音波８の収束位置を一定のまま超音波送
受信センサをＸ軸方向にスキャンさせ、この後、超音波
の収束位置を変化させて再びＸ軸方向にスキャンさせる
ことを繰り返してＸ軸方向に対する超音波画像データを
得るようにし、ざらにＸ軸方向に対する超音波画像デー
タが得られた後、超音波送受信センサをｙ軸方向に移動
させて３次元の超音波画像データを得るようにしてもよ
い。また、超音波画像データから最大反射音圧レベル分
布を得る演算処理も適宜変更してもよく、この演算処理
により測定制動を向上させることも可能である。
以上詳記したように本発明によれば、表面状態を非接触
状態で高精度に測定できる超音波表面測定方法を提供で
きる。
状態で高精度に測定できる超音波表面測定方法を提供で
きる。
第１図は本発明の超音波表面測定方法を適用した超音波
表面測定装置の一実施例を示す構成図、第２図は超音波
の反射波音圧レベルの分布を示す図、第３図は周波数対
理論分解能の関係を示す図、第４図ないし第６図は本発
明方法の測定作用を説明するための因、第７図は触、針
子による測定結果を示す図、第８図は本発明方法による
測定結果を示す図である。 １・・・超音波顕微装置、２・・・材料表面、３・・・
材料、４・・・高周波発振器、５・・・圧電膜、６・・
・信号処理部、７・・・サーキュレータ、９・・・音響
レンズ、１０・・・水、１１・・・スキャン曙橋、１２
・・・計測演算部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 ７１Ｑ坂製（Ｍセ） 第３図 第４図 ０′ 第５図 （ａ） 第７ （ａ） 第８ （ｂ） 図 （ｂ） 図
表面測定装置の一実施例を示す構成図、第２図は超音波
の反射波音圧レベルの分布を示す図、第３図は周波数対
理論分解能の関係を示す図、第４図ないし第６図は本発
明方法の測定作用を説明するための因、第７図は触、針
子による測定結果を示す図、第８図は本発明方法による
測定結果を示す図である。 １・・・超音波顕微装置、２・・・材料表面、３・・・
材料、４・・・高周波発振器、５・・・圧電膜、６・・
・信号処理部、７・・・サーキュレータ、９・・・音響
レンズ、１０・・・水、１１・・・スキャン曙橋、１２
・・・計測演算部。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 ７１Ｑ坂製（Ｍセ） 第３図 第４図 ０′ 第５図 （ａ） 第７ （ａ） 第８ （ｂ） 図 （ｂ） 図
Claims (2)
- （１）被測定面形状の測定に必要な分解能を得るための
周波数以上の超音波を前記被測定面に送信するとともに
その反射波を受信する超音波送受信センサと、この超音
波送受信センサを前記被測定面に対してスキャンさせる
スキャン機構とを備え、前記超音波送受信センサから送
信される超音波の収束位置を前記被測定面の垂直方向に
対して変化させるとともに前記超音波送受信センサを前
記被測定面上の所望方向にスキャンさせ、このスキャン
により得られる最大反射音圧レベルの分布から前記被測
定面形状を求めることを特徴とする超音波表面測定方法
。 - （２）スキャン機構は、超音波送受信センサをｘ軸方向
に移動させる毎に順次ｙ軸方向に移動させる特許請求の
範囲第（１）項記載の超音波表面測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61096157A JPS62251609A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 超音波表面測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61096157A JPS62251609A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 超音波表面測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62251609A true JPS62251609A (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=14157521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61096157A Pending JPS62251609A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | 超音波表面測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62251609A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106168470A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-30 | 吴立滨 | 一种车站站台限界测量装置及方法 |
| CN109855578A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-06-07 | 长沙理工大学 | 一种基于表面形貌粗糙度的工件内部缺陷检测方法 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP61096157A patent/JPS62251609A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106168470A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-30 | 吴立滨 | 一种车站站台限界测量装置及方法 |
| CN106168470B (zh) * | 2016-08-25 | 2018-08-31 | 吴立滨 | 一种车站站台限界测量装置及方法 |
| CN109855578A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-06-07 | 长沙理工大学 | 一种基于表面形貌粗糙度的工件内部缺陷检测方法 |
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