JPS62246687A - 管継手及びその製造方法 - Google Patents
管継手及びその製造方法Info
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- JPS62246687A JPS62246687A JP61090849A JP9084986A JPS62246687A JP S62246687 A JPS62246687 A JP S62246687A JP 61090849 A JP61090849 A JP 61090849A JP 9084986 A JP9084986 A JP 9084986A JP S62246687 A JPS62246687 A JP S62246687A
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Landscapes
- Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は気体、液体等の流体移送のための配管における
合流部分、或いは分岐部分に用いられる管継手及びその
製造方法に関するものである。
合流部分、或いは分岐部分に用いられる管継手及びその
製造方法に関するものである。
ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉ
ｔｉｏｎ）装置等にてウェーハ上にＳＩその他の半導体
層を積層形成する場合、高真空の反応室内に各種原料ガ
スを導入し、その気相化学反応により各層をエピタキシ
ャル成長せしめるようになっている。
ｔｉｏｎ）装置等にてウェーハ上にＳＩその他の半導体
層を積層形成する場合、高真空の反応室内に各種原料ガ
スを導入し、その気相化学反応により各層をエピタキシ
ャル成長せしめるようになっている。
この種半導体製造装置における原料ガスの供給は反応室
と各原料ガスタンクとを連結するステンレス鋼製の小径
パイプによって行われるが、原料ガスは混合状態で反応
室内に供給する場合が多いため、通常は反応室に連なる
メインパイプから複数の枝管を分岐し、夫々の原料ガス
タンクに連結する構成が採られている。
と各原料ガスタンクとを連結するステンレス鋼製の小径
パイプによって行われるが、原料ガスは混合状態で反応
室内に供給する場合が多いため、通常は反応室に連なる
メインパイプから複数の枝管を分岐し、夫々の原料ガス
タンクに連結する構成が採られている。
ところでこのようなメインパイプと枝管との接続は枝管
の接続部位置毎にメインパイプに′ｒ型竹管継手介装し
、Ｔ型管継手の各枝管部に枝管を接続して、メインパイ
プと連結する構成が採られている。
の接続部位置毎にメインパイプに′ｒ型竹管継手介装し
、Ｔ型管継手の各枝管部に枝管を接続して、メインパイ
プと連結する構成が採られている。
ところが上述した如きＴ型継手では主管部に対して枝管
部が直交する向きに連結されているため、接続地点での
圧力損失が太き（、各原料ガスの分圧調節が難しく、ま
た原料ガスの種類によっては接続部分に原料物質が析出
することがあり、析出した粒子がまま剥離して反応室内
に侵入するなどの問題があった。その上Ｔ型継手でＵ枝
管部の直径によっては枝管側への分流は難しくＹ型継手
等に交換する必要があり、異なる継手を用意せねばなら
ないという煩わしさもあった。
部が直交する向きに連結されているため、接続地点での
圧力損失が太き（、各原料ガスの分圧調節が難しく、ま
た原料ガスの種類によっては接続部分に原料物質が析出
することがあり、析出した粒子がまま剥離して反応室内
に侵入するなどの問題があった。その上Ｔ型継手でＵ枝
管部の直径によっては枝管側への分流は難しくＹ型継手
等に交換する必要があり、異なる継手を用意せねばなら
ないという煩わしさもあった。
この対策として第７図に示す如く主管部４１に対して９
０″よりも小さい角度で枝管部４２が交叉するようにし
たＹ型継手を用いることも考えられるがこの場合は分岐
した枝管部４２の先端に適切な角度に曲げたエルボ４３
等を溶接し、その先にパイプ４４を接続する構成を採ら
ざるを得ず、また溶接部分の内面手入れも欠かせないな
どの問題があった。
０″よりも小さい角度で枝管部４２が交叉するようにし
たＹ型継手を用いることも考えられるがこの場合は分岐
した枝管部４２の先端に適切な角度に曲げたエルボ４３
等を溶接し、その先にパイプ４４を接続する構成を採ら
ざるを得ず、また溶接部分の内面手入れも欠かせないな
どの問題があった。
本発明はかかる事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは主管部に対する枝管部の接続部分に
おける流体の合流５分流点での圧力損失が少なく、しか
も製造も容易な管継手及び□ その製造方法を提供す
るにある。
目的とするところは主管部に対する枝管部の接続部分に
おける流体の合流５分流点での圧力損失が少なく、しか
も製造も容易な管継手及び□ その製造方法を提供す
るにある。
本発明にあっては主管部に対して非直角で連通し、且つ
この連通部分以外の他の部分は、これとは異なる角度と
なるよう湾曲成形した枝管部を設ける。
この連通部分以外の他の部分は、これとは異なる角度と
なるよう湾曲成形した枝管部を設ける。
また本発明にあっては中実の主体部に非直角で枝体部を
交叉させた金属製素材の主体部、枝体部に穿孔して管状
に形成した後、管状に形成された枝体部、即ち枝状管部
を湾曲成形する。
交叉させた金属製素材の主体部、枝体部に穿孔して管状
に形成した後、管状に形成された枝体部、即ち枝状管部
を湾曲成形する。
本発明にあってはこれによって流体の合流１分流点にお
ける圧力損失を極めて小さくすることができ、また製造
上も溶接工程を全く必要とせず、内面手入れが不要とな
り、その上流体の分流２合流方向に応じて枝管部を所望
の方向に延在せしめ得ることとなる。
ける圧力損失を極めて小さくすることができ、また製造
上も溶接工程を全く必要とせず、内面手入れが不要とな
り、その上流体の分流２合流方向に応じて枝管部を所望
の方向に延在せしめ得ることとなる。
以下本発明をその実施例を示す図面に基づき具体的に説
明する。第１図は本発明に係る管継手（以下本発明品と
いう）の平面図、第２図は横断面図、第３図は同じく上
面図、第４図は左側面図であり、図中１は主管部、２は
枝管部を示している。主管部１．枝管部２は金属製であ
って一体構造に形成されており、その内径は等しく、ま
た主管部１はその軸心線が一直線となるように、一方杖
管部２は主管部１との接続部分ではその軸心線に対し非
直角（θ）であり、且つ他の部分はこれとは異なる角度
で交叉するよう湾曲され、枝管部２の端末は主管部ｌと
直交する向きに設定されてい主管部１と枝管部２との接
続部分及びその近傍はいずれも外周面は断面四角形に形
成され、他の部分、即ち主管部１の両端部及び枝管部２
の端末はいずれも夫々所要長にわたって外周面も円形を
なすパイプ部１ｂ、１ｃ、２ｂに切削加工されており、
ここに夫々パイプ３，４．５の一端部が外嵌され、先端
面を突き当てた状態で溶接等の手段で一体的に連結され
るようになっている。
明する。第１図は本発明に係る管継手（以下本発明品と
いう）の平面図、第２図は横断面図、第３図は同じく上
面図、第４図は左側面図であり、図中１は主管部、２は
枝管部を示している。主管部１．枝管部２は金属製であ
って一体構造に形成されており、その内径は等しく、ま
た主管部１はその軸心線が一直線となるように、一方杖
管部２は主管部１との接続部分ではその軸心線に対し非
直角（θ）であり、且つ他の部分はこれとは異なる角度
で交叉するよう湾曲され、枝管部２の端末は主管部ｌと
直交する向きに設定されてい主管部１と枝管部２との接
続部分及びその近傍はいずれも外周面は断面四角形に形
成され、他の部分、即ち主管部１の両端部及び枝管部２
の端末はいずれも夫々所要長にわたって外周面も円形を
なすパイプ部１ｂ、１ｃ、２ｂに切削加工されており、
ここに夫々パイプ３，４．５の一端部が外嵌され、先端
面を突き当てた状態で溶接等の手段で一体的に連結され
るようになっている。
次に本発明品の製造工程の一例を第５図に基づき説明す
る。先ず第５図（イ）に示す如（中実であって、真直な
四角柱の棒状をなす主体部１１ （辺の中さ：１１〜１
７ｍ、長さニア０〜９０鶴）とその長手方向の略中央に
おいて、この主体部１１と非直角（略４５″程度）で交
叉してこれと一体となった同じく真直な四角柱の棒状を
なす枝体部１２（１辺の長さ＋１１〜１７ｍ、長さ：
４０〜５０ｍｍ） とからなる鍛造品Ｍ１を形成し、次
いで第５図（ロ）に示す如く主体部１１、次いで枝体部
１２に夫々の軸心線に沿うよう穿孔を行って交叉部分で
相互に連通ずる孔ｌａ （内径：４〜］１鰭）、２ａ
（内径；４〜１１鰭）を有する主管状部２１．枝管状部
２２からなる中間品Ｍ２を形成する。
る。先ず第５図（イ）に示す如（中実であって、真直な
四角柱の棒状をなす主体部１１ （辺の中さ：１１〜１
７ｍ、長さニア０〜９０鶴）とその長手方向の略中央に
おいて、この主体部１１と非直角（略４５″程度）で交
叉してこれと一体となった同じく真直な四角柱の棒状を
なす枝体部１２（１辺の長さ＋１１〜１７ｍ、長さ：
４０〜５０ｍｍ） とからなる鍛造品Ｍ１を形成し、次
いで第５図（ロ）に示す如く主体部１１、次いで枝体部
１２に夫々の軸心線に沿うよう穿孔を行って交叉部分で
相互に連通ずる孔ｌａ （内径：４〜］１鰭）、２ａ
（内径；４〜１１鰭）を有する主管状部２１．枝管状部
２２からなる中間品Ｍ２を形成する。
そしてこの中間品Ｍ！における枝管状部２２にその端末
部において主管状部２１と略直交するよう冷間、又は熱
間にて曲げ加工（曲げ半径＝２５〜２８ｍｍ）を施す。
部において主管状部２１と略直交するよう冷間、又は熱
間にて曲げ加工（曲げ半径＝２５〜２８ｍｍ）を施す。
この曲げ加工方法自体は従来知られた方法を採択すれば
よいが、以下に例えばロールを用いた曲げ加工の１ｌＪ
ｔを示すと第５図（ハ）に示す如くになる。
よいが、以下に例えばロールを用いた曲げ加工の１ｌＪ
ｔを示すと第５図（ハ）に示す如くになる。
即ち、枝管状部２２内、更に必要な場合は主管状部２１
内全体に砂、或いは微細な氷、ウッドメタルを詰め、砂
等を詰めた場合には各孔１ａ、２ａの開口端を適宜栓体
等にて閉鎖した後、主管状部２１に対する枝管状部２２
の接続部分近傍であって、湾曲方向の内側面、外側面と
なる部分を、夫々溝付ロール２３．２４にて、その溝内
に枝管状部２２を嵌め合わせた状態で挟持し、枝管状部
２２の端末にチャック２５を装着し、この状態でチャッ
ク２５を曲げ中心に対し一定の円弧を描くよう略４５″
移動せしめる。
内全体に砂、或いは微細な氷、ウッドメタルを詰め、砂
等を詰めた場合には各孔１ａ、２ａの開口端を適宜栓体
等にて閉鎖した後、主管状部２１に対する枝管状部２２
の接続部分近傍であって、湾曲方向の内側面、外側面と
なる部分を、夫々溝付ロール２３．２４にて、その溝内
に枝管状部２２を嵌め合わせた状態で挟持し、枝管状部
２２の端末にチャック２５を装着し、この状態でチャッ
ク２５を曲げ中心に対し一定の円弧を描くよう略４５″
移動せしめる。
これによって第５図（ハ）に想像線で示す如く枝管状部
２２の端末部は軸心線が主管状部２１の軸心線と直交す
る位置まで湾曲せしめられ、しかも主管状部２１との接
続部分は主管状部２１の軸心線に対し予め設定した非直
角の角度（４５” ）で接続することとなる。
２２の端末部は軸心線が主管状部２１の軸心線と直交す
る位置まで湾曲せしめられ、しかも主管状部２１との接
続部分は主管状部２１の軸心線に対し予め設定した非直
角の角度（４５” ）で接続することとなる。
次いで第１図に示す如く主管状部２１の両端部、並びに
枝管状部２２の端末部の各周面を夫々所要長（２０〜２
５ｆｉ）にわたって切削加工し、内、外径とも一様なパ
イプ部ｔｂ、 １ｃ、２ｂを形成して主管部１゜枝管部
２からなる本発明品を得る。
枝管状部２２の端末部の各周面を夫々所要長（２０〜２
５ｆｉ）にわたって切削加工し、内、外径とも一様なパ
イプ部ｔｂ、 １ｃ、２ｂを形成して主管部１゜枝管部
２からなる本発明品を得る。
上述の実施例では主管部１．枝管部２の内径は長手方向
に一様で、且つ同一とした場合を示したが、主管部１０
両端、技管部２の夫々において内径、更には外径、外面
形状が異なっていてもよい。
に一様で、且つ同一とした場合を示したが、主管部１０
両端、技管部２の夫々において内径、更には外径、外面
形状が異なっていてもよい。
また主管部１に対する枝管部２の接続部分の角度は非直
角（４５＠程度）に、また他の部分はこれと異なる角度
とし、端末は主管部ｌと直交する向きとした場合を示し
たが、このような相互の交叉角度については何らこれに
限るものではなく、必要に応じて設定すればよい。更に
主管部１．枝管部２はその軸心線が同一平面上に位置す
るよう形成した場合を示したが、主管部１に対し枝管部
２を３次元的に湾曲成形してもよい。
角（４５＠程度）に、また他の部分はこれと異なる角度
とし、端末は主管部ｌと直交する向きとした場合を示し
たが、このような相互の交叉角度については何らこれに
限るものではなく、必要に応じて設定すればよい。更に
主管部１．枝管部２はその軸心線が同一平面上に位置す
るよう形成した場合を示したが、主管部１に対し枝管部
２を３次元的に湾曲成形してもよい。
第６図は本発明の他の実施例を示す模式的断面図であり
、主管部３１に対してその周方向の同側に複数の枝管部
３２，３３．３４を形成した場合を示している。
、主管部３１に対してその周方向の同側に複数の枝管部
３２，３３．３４を形成した場合を示している。
各枝管部３２．３３．３４は主管部３１に対し、接続部
分においては略４５″の角度で、また、端末側は主管部
３１に対して直角に交叉するよう湾曲成形されている。
分においては略４５″の角度で、また、端末側は主管部
３１に対して直角に交叉するよう湾曲成形されている。
なお、各枝管部３２．３３．３４はその内径、或いは主
管部３１に対する交叉角度８周方向の接続位置は夫々異
なっていてもよく、また主管部３１の軸心線に対し互い
に反対側の位置に反対側方向に延在するよう複数の枝管
部を接続するＹ型状の構成としてもよいことは勿論であ
る。
管部３１に対する交叉角度８周方向の接続位置は夫々異
なっていてもよく、また主管部３１の軸心線に対し互い
に反対側の位置に反対側方向に延在するよう複数の枝管
部を接続するＹ型状の構成としてもよいことは勿論であ
る。
このような本発明品の製造方法は実質的に前記第５図（
イ）〜（ハ）に示したのと同じ工程で行ねれるのでその
詳細は省略する。
イ）〜（ハ）に示したのと同じ工程で行ねれるのでその
詳細は省略する。
このような本発明品にあっては、複数種の流体を合流さ
せ、また流体を複数に分流させる場合等に用いて取扱い
が容易となる効果がある。
せ、また流体を複数に分流させる場合等に用いて取扱い
が容易となる効果がある。
以上の如く本発明品にあっては、主管部に対する接続部
分では非直角に接続され、しかも他の部分はこれと異な
る角度で交叉するよう湾曲成形せしめた枝管部を備える
から、主管部に対する通流流体の合流、或いは主管部か
らの通流流体の分流に際しての圧力損失が極めて少なく
、流体の通流を円滑に行い得る。また本発明方法は穿孔
工程と、曲げ加工工程とで製造し得るから、従来の如く
溶接、内面手入れ等の工程が不要となり、工数の低減も
図れるなど本発明は優れた効果を奏するものである。
分では非直角に接続され、しかも他の部分はこれと異な
る角度で交叉するよう湾曲成形せしめた枝管部を備える
から、主管部に対する通流流体の合流、或いは主管部か
らの通流流体の分流に際しての圧力損失が極めて少なく
、流体の通流を円滑に行い得る。また本発明方法は穿孔
工程と、曲げ加工工程とで製造し得るから、従来の如く
溶接、内面手入れ等の工程が不要となり、工数の低減も
図れるなど本発明は優れた効果を奏するものである。
第１図は本発明品の平面図、第２図は同じく横断面図、
第３図は上面図、第４図は左側面図、第５図（イ）、（
ロ）、（ハ）は本発明品の製造工程を示す説明図、第６
図は本発明の他の実施例を示す断面図、第７図は従来の
管継手の構成を示す模式図である。 １・・・主管部 １ａ・・・孔 １ｂ、 ｌｃ・・・パ
イプ部２・・・枝管部 ２ａ・・・孔 ２ｂ・・・パイ
プ部 ３，４．５・・・パイプ １１・・・主体部 １
２・・・枝体部 ２１・・・主管状部 ２２・・・枝管
状部 特 許 出願人 株式会社 フジキン代理人 弁理士
河 野 登 夫第３図 第４０
第３図は上面図、第４図は左側面図、第５図（イ）、（
ロ）、（ハ）は本発明品の製造工程を示す説明図、第６
図は本発明の他の実施例を示す断面図、第７図は従来の
管継手の構成を示す模式図である。 １・・・主管部 １ａ・・・孔 １ｂ、 ｌｃ・・・パ
イプ部２・・・枝管部 ２ａ・・・孔 ２ｂ・・・パイ
プ部 ３，４．５・・・パイプ １１・・・主体部 １
２・・・枝体部 ２１・・・主管状部 ２２・・・枝管
状部 特 許 出願人 株式会社 フジキン代理人 弁理士
河 野 登 夫第３図 第４０
Claims (6)
- １． 主管部と、該主管部に対し非直角で連通し、且つ
この連通部分を除く他の部分は主管部に対し前記連通部
分とは異なる角度をなすよう湾曲成形された枝管部とを
具備することを特徴とする管継手。 - ２． 前記枝管部の端末部は主管部に対し直交する向き
に延在されている特許請求の範囲第１項記載の管継手。 - ３． 前記枝管部は複数個設けられている特許請求の範
囲第１項記載の管継手。 - ４． 中実の直線状をなす主体部及びこれと非直角に交
叉させて主体部と一体に形成された中実の直線状をなす
枝体部とを備える金属製素材の前記主体部及び枝体部に
夫々相互に連通する孔を穿孔する工程と、穿孔後主体部
に対する枝体部の接続部近傍を湾曲加工する工程とを含
む管継手の製造方法。 - ５． 前記湾曲加工は冷間で行われる特許請求の範囲第
４項記載の管継手の製造方法。 - ６． 前記湾曲加工は熱間で行われる特許請求の範囲第
４項記載の管継手の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61090849A JPS62246687A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 管継手及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61090849A JPS62246687A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 管継手及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62246687A true JPS62246687A (ja) | 1987-10-27 |
Family
ID=14010027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61090849A Pending JPS62246687A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 管継手及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62246687A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4832918B1 (ja) * | 1968-02-23 | 1973-10-09 | ||
| JPS5136123B2 (ja) * | 1971-09-17 | 1976-10-06 | ||
| JPS55123085A (en) * | 1979-03-12 | 1980-09-22 | Japan Steel Works Ltd | Piping member and its manufacture |
| JPS56154243A (en) * | 1980-04-30 | 1981-11-28 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Forming method for t-joint |
-
1986
- 1986-04-18 JP JP61090849A patent/JPS62246687A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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