JPS62243987A - 真空装置の非常電源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔腫業上の利用分野〕 この発明は、真空装置の非常電源装置に関し。

とりわけ、ターボ分子ポンプで真空引きする真空装置の
非常電源装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、半導体工業のウエノ・−製造ライン等では高真空
を必要とするので、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプを
利用している。また、かかる真空装置で使用される機器
はコダ時間連続運転で、かつ。

高精度の加工を行うため、電気系に瞬停、または停電が
起こると、製造ラインでの作業工程メモリの破壊１作業
時間変動などにより、製造ラインでの不良品が続出する
に至る、一方、瞬停、停電等は、落雷、電路切換等によ
り、日常よく起こっていることである。

よって従来より、このような重要機器には、蓄電器など
による非常電源が設備されていた。

第３図は従来のこの種の非常電源装置を示し、電力会社
から供給される商用電源（ハに、スイッチＭＣ／を介し
−て、蓄電器等でなる非常電源（２）、高真空容器（６
）内での作業用制御装置（３）、ターボ分子ポンプ（７
）の制御装置（ダ１．荒引ポンプ（１０）の制御装置＋
ｊ＋が接続されている。

ターボ分子ポンプ（７１は、特公昭Ｓ２−コｊｔＩ？７
号公報に示されたようなもので１回転部（ｔ）、モータ
（ワ）からなっている。

第ｑ図は、ターボ分子ポンプ（７）の回転部（ｆｆｌと
モータ（？）の関係を示している。

なお、第３図において、平行２本線による接続は真空の
配管系、７本線によるものは電気系をあられしている。

以上の構成により、商用電源（１）がＯＮのときは。

スイッチ（ＭＣ／　）がＯＮ、（ＭＣコ）がＯＦＦで、
商用電源（ハより供給されるエネルギーで非常電源Ｃコ
１を充電し、また容器内での作業用制御装置（Ｊｌ、高
真空容器（６１の内部での作業、ターボ分子ポンプ制御
装置（り）％ターボ分子ポンプ（７）の動作、荒引ポン
プ制御装置【ｊ）、荒引ポンプ（１０）の動作等が全て
商用電源（ハのエネルギーでまかなわれる、ところが、
商用電源（ハが瞬停、停電等でＯＦＦすると、スイ”）
チ（ＭＣＩ）がＯＦＦ、　（ＭＣ＃’）がＯＮとなり、
非常電源−）にたくわえられたエネルギーを上記の各機
器へ供給し、商用電源（／１のトラブルをバックアンプ
するようになっている。

〔発明が解決しようとする問題点１ 以上のような従来の真空装置の非常電源装置では、非常
′ｆＩｔ源が高価であるうえに大きな設置スペースを要
するという問題点があった。、また、非常電源が蓄電器
でなる場合は、蓄電器よりの水素ガス発生の危険および
半導体ウニハーニ場内のクリーンルームの汚せん等のた
め、設置場所が限定され、配線設備が高価になるなどの
問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、蓄電器などを必要とせず、設置場所の問題、
価格問題も・解消でき、汚せん性のない真空装置の非常
電源装置を得ることを目的とする。

ｃ問題点を解決するための手段〕 この発明に係る真空装置の非常電源装置は、ターボ分子
ポンプを慣性エネルギー源とし、その慣性体にジェネレ
ータを装着して慣性エネルギーをジェネレータにより電
気エネルギーに変換するようにしたものである。

〔作　用〕

この発明においては、ターボ分子ポンプの回転部が、商
用電源ＯＮのときは真空ポンプとして作用し、商用電源
ＯＦＦのときは慣性エネルギー蓄積部となる。

〔実施例〕

第１図、第２図はこの発明の一実施例を示し、第１図に
おいて、ターボ分子ポンプ（り１のモータ（デ）にジェ
ネレータ（／／）が結合されており、ジェネレータ（／
／）にスイッチ（ＭＣ２）を介して接続されたジェネレ
ータ制御袋ｆｌｊｆ（ｉ２）は商用電源（ハに接続され
ている、その他、第３図におけると同一符号は同一部分
を示している、 第一図はジェネレータ（ｌ／）を設けたターボ分子ポン
プ（７１を示している。

以上の構成により、商用電源（ハがＯＮのときは、スイ
ッチＣＭＣＩ）がＯＮ、（ＭＣ’コ）がＯＦＦ’で、商
用電源（ハより供給されるエネルギーで、容器内での作
業用制御装置（、ｙｌ、高真空容器（Ｘｌ内での作業、
ターボ分子ポンプ制御装置（り１．ターボ分子ポンプ本
体（７）のモータ（デ１が動作し、かつ、荒引ポンプ制
御装置（ｊｌ、荒引ポンプ（１０）も動作している、た
だし、スイッチ（ＭＣＩがＯＦＦであるため、ターボ分
子ポンプ（７１内のジェネレータ（ｙｌ）からはエネル
ギーが出ていない。

ところが、商用電源（ハが瞬停、停電等でＯＦＦとなっ
たときは、スイッチ（ＭＣＩ）がＯＦＦ、（ＭＣコ）が
ＯＮとなり、真空装置は商用電源（ハから切り離される
。また、（ＭＣＩ）ＯＦＦのため、ターボ分子ポンプ（
７１内のモータ（デ）もＯＦＦとなる。この状態で。

ターボ分子ポンプ（７１内の回転部（す１は、充分な慣
性エネルギーをもっているため、その慣性エネルギーを
ジェネレータ（／／）により電気エネルギーに変換し、
この電気エネルギーをジェネレータ制御装置（／２）へ
送り、ジェネレータ制御装置（／コ）で商用電源（ハと
同じ波形等に変換し、上記の各機器へ電気エネルギーを
供給し、商用電源のトラブル（瞬停、停電）をカバーす
る。

ここで、ターボ分子ポンプ（り）のもっている慣性エネ
ルギーについて考察する。−例として、半導体工場で良
く使われるターボ分子ポンプ／５ｏｏｔ／Ｓのものの慣
性エネルギーは、高速回転、高慣性であるため、充分非
常電源として利用できる。すなわち、／！００１／Ｂ　
　ターボ分子ポンプ（り１の慣性エネルギー（Ｆｔ、’
）は。

となり、また、ターボ分子ポンプ（７１自体が真空中で
回転しているため、回転損失等はほとんどなく。

ちなみに／５ｏＯｔ／ｓターボ分子ポンプは、電源ＯＦ
Ｆのフリーランでは、２１時間後も回転継続している。

したがって、ターボ分子ポンプＣり）を非常電源の代用
として十分利用することができる。

なお、商用電源Ｃハが復帰したら、もとの商用電源ＯＮ
にもどり、常態となる。ただし、ターボ分子ポンプ（７
）は、停電時のエネルギー損失分スピードダウンしてい
るので所定のスピードまで加速する。

なお、上記実施例ではモータ（テ）とジェネレータ（／
／）を別々に配設したが、モータとジェネレータが一体
となった発電電動機としても良い。

また、第１図のジェネレータ制御装置（／２）をターボ
分子ポンプ制御装置（り）の中に組込むことも可能であ
る。

〔発明の効果〕

この発明は１以上の説明から明らかなように。

非常電源をターボ分子ポンプの慣性エネルギー源で代用
したので、装置が安価にでき、特別な設備スペースを要
せず、環境汚染もない本のが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の回路図、第２図は同じく
ターボ分子ポンプの正断面図、第３図は従来の真空装置
の非常電源装置の回路図、ｆａ４＝図は同じくターボ分
子ポンプの正断面図である、（ハ・０商用電源、（６）
・・高真空容器、（７１・・ターボ分子ポンプ、　（ｆ
ｆｌ−・回転部、　（９１−−モータ。 （ｌ／）・・ジェネレータ、（／コ）・ｅジェネレータ
制御装置。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 尾１図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）商用電源と、回転部とモータからなり高真空容器
   に接続されたターボ分子ポンプと、前記モータに結合さ
   れたジェネレータと、常時は前記商用電源側に接続され
   前記商用電源が断のときは前記ジェネレータに接続され
   るジェネレータ制御装置とを備えてなる真空装置の非常
   電源装置。
2. （２）モータとジェネレータを一体にして発電電動機を
   形成した特許請求の範囲第１項記載の真空装置の非常電
   源装置。
3. （３）ジェネレータ制御装置が、ターボ分子ポンプの制
   御装置に組込まれている特許請求の範囲第１項記載の真
   空装置の非常電源装置。