JPS62235545A

JPS62235545A - 赤外線分析装置およびその赤外線源

Info

Publication number: JPS62235545A
Application number: JP61308991A
Authority: JP
Inventors: エリーザ　ツヴィ　ローゼンフェルト; ハナン　ボアソン
Original assignee: IRADO TEKUNOROJIISU Ltd
Current assignee: IRADO TEKUNOROJIISU Ltd
Priority date: 1986-01-01
Filing date: 1986-12-26
Publication date: 1987-10-15
Anticipated expiration: 2010-01-18
Also published as: ATE68881T1; CA1277507C; EP0231639A2; AU6699486A; BR8606609A; AU582290B2; IL77494A; EP0231639A3; US4755675A; DE3682188D1; EP0231639B1; JPH073387B2; ZA869540B

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（技術分野）本発明は、特に試料ガス中の選択されたガスの存在およ
び濃度の確認に赤外線を用いる赤外線ガス分析装置およ
びそれ用の赤外線源に関する。

（従来技術）赤外線ガス分析は、回転振動レベル間の遷移を受ける赤
外線活性ガス分子による、特定のスペクトル領域の放射
線の吸収を基礎とする。これらの各ガスは、その赤外サ
インとみなすことができる、ガスによりて異なる特定の
赤外を吸収する性質を有する。分析すべきガスを赤外線
源と検出器との間に置くと、その濃度は前記サインに対
応する波長での吸収量を測定す、ることにより決定する
ことができる。

赤外線吸収に基づくガス分析装置は公知であり、また、
それらの設計はそれぞれ異なるが、それらはいくつかの
共通の特徴を有する。その最も重要な一つは、多くの分
析装置が白熱に加熱された固体の形の黒体（ＢＢ）熱放
射器を有することである。このような放射器は、遠赤外
線（約２０μ）から可視領域（約０．５μ）にわたる全
領域をカバーする連続スペクトルを発生し、また、一般
にこの広いスペクトル範囲をターゲットガスの前記サイ
ン帯域の最大部を含む範囲に減少させるバンドパスフィ
ルタとともに使用される。吸収量の検出のために、黒体
放射器（白熱固体）自体が高温度容量ひいては熱的慣性
を有することから、通常の電気的処理用に充分に速い割
合で直接変調することができないので、装置に組み立て
られた前記黒体放射器には検出器に到達する放射線を変
調する機械的チョッパが組み込まれている。黒体放射器
を組み込んだガス分析装置は、その電力消費量が比較的
高＜（ＳＯＷ）、また放射線の濾波およびチッッピング
さらには精密に組み立てられた電気回路のために導入さ
れる付加的な複雑さを考慮すると、高価でもある。同程
度の充分な選択性および感受性を時折示す、大きく、静
止した実験室タイプのものについて、過去にこれらの特
性をさらに減少させることを犠牲にして携帯性をもたせ
ることがなされた。

英国特許ｉｆ、５９１，７０９号および米国第４．２７
４，０６３号明細書には、ガス放電管の形をした、黒体
放射器以外の赤外線源が記載されている。しかし、英国
特許第１，５９１，７０９号明細書は、放電により生じ
るガスの管内における解離のために密閉ガス放電灯の有
効寿命が短いことを明らかに述べており、これに対し電
流により加熱されたとき管内にＣＯまたはＣ０２の濃度
レベルを再生することが期待されるカーボン性フィラメ
ントを前記管内に設けている。一方、第４．２７４，０
６３号明細書の赤外線源では、人出口管を経て非密閉室
を通る未使用ガスの連続流により前記非密閉室内にガス
を連続的に充満させることにより解離を解決している。

両米国特許明細書では、管の内部に電極を配置している
ため、管の有効寿命が短い。

（発明の目的）本発明の目的は、従来の赤外線ガス分析装置の制限およ
び欠点を克服し、またターゲットガスのベクトルのサイ
ンを形成する吸収波長と本質的に同一とされた特定の分
離された波長だけを含む不連続スペクトルを発生する赤
外線源を組み込んだ赤外線ガス分析装置を提供すること
にある。従って、本発明の赤外線ガス分析装置は、非常
に特殊てあり、従来の黒体放射器を組み込んだ装置に比
べて雑音に対する信号の割合いが非常に高く、熱慣性を
実際に有さす、また、機械的よりもむしろ電気的に変調
することができ、密閉容器の外に電極を有し、さらにコ
ンパクトであり、携帯性があり、高選択性および高感度
を有し、従来の赤外線源に比べて非常に廉価である。

（発明の構成）本発明の赤外線ガス分析装置は、既知の分離されたスペ
クトル分布の赤外線を励起により発生することができる
少なくとも一つの赤外線活性ガスを収容する赤外線源と
、励起のためのエネルギーを供給するドライバと、分析
すべきガスが前記赤外線に露出されて前記赤外線の少な
くとも一部を吸収することができる分析空間部を規定す
る距離だけ少なくとも前記赤外線源から離されて配置さ
れ、前記空間のガスによる前記赤外線の吸収を測定する
ための少なくとも一つの検出器と、前記検出器の出力に
応答する手段とを含み、前記赤外線源は、存在および濃
度を確認するガスにより吸収される特定の分離された波
長だけを含む不連続スペクトルを発生し、前記ガスは密
閉容器内に収容され、前記励起は前記密閉容器内の制限
された部分においてだけ生じる放電によってもたらされ
、前記容器内の残部は前記ガスの貯留部として作用し・
前記容器の外周には前記放電を生じさせる電極が配置さ
れていることを特徴とする。

本発明の赤外線ガス分析装置は、また、赤外線を励起に
より発生することができる少なくとも赤外線活性の第１
および第２のガスを収容する赤外線源であって前記第２
のガスにより既知の分離されたスペクトル分布の前記赤
外線を発生する赤外線源と、前記励起のためのエネルギ
ーを供給するドライバと、分析すべきガスが前記第２の
ガスの前記赤外線に露出されて前記赤外線の少なくとも
一部を吸収することができる分析空間を規定する距離だ
け少なくとも前記赤外線源から離されて配置され、前記
空間の前記ガスにより前記赤外線の吸収を測定するため
の少なくとも一つの検出器と、前記検出器の出力に応答
する手段とを含む赤外線ガス分析装置であって、前記第
２のガスの前記赤外線は、存在および濃度を確認する前
記ガスにより吸収される特定の分離された複数の波長だ
けを含む不連続スペクトルを発生し、二種の前記ガスは
少なくとも前記第１のガスが収容された第１の室と少な
くとも前記第２のガスが収容された第２の室とに赤外線
が」過可能の隔壁により区画された密閉容器内に収容さ
れ、前記励起は前記第１の室の制限された部分においだ
け生じる放電によってもたらされ、前記容器内の残部は
前記ガスの貯留部として作用し、前記第１の室の外周に
は前記放電を生じさせる電極が配置され、前記第２の室
内の前記第２のガスは前記第１の室で発生されて前記隔
壁を経る赤外線により励起可能であることを特徴とする
。

本発明の赤外線源は、既知の分離されたスペクトル分布
の赤外線を励起により発生することができる少なくとも
一つの赤外線活性ガスが収容された密閉容器を含み、前
記励起は前記密閉容器内の制限された部分においだけ生
じる電気的放電によってもたらされ、前記容器内の残部
が前記ガスの貯蔵部として作用し、前記容器の外周部に
は前記放電を生じさせる電極が配置されていることを特
徴とする。

本発明の赤外線源は、また、赤外線が通過可能の隔壁に
より少なくとも第１の赤外線活性ガスが収容された第１
の室と少なくとも第２の赤外線活性ガスが収容された第
２の室とに区画され、前記第１のガスは励起されて赤外
線を発生し、それにより該赤外線は前記隔壁を透過して
前記第２のガスを励起させて既知の分離されたスペクト
ル分布の赤外線を発生させる、容器を含み、前記第１の
ガスの前記励起は前記容器の制限された部分だけにおけ
る放電により生じ、前記容器の残部は前記第１のガスの
貯留部として作用し、前記容器の外周には前記放電を生
じさせる電極が配置されていることを特徴とする。

（発明の作用、効果）黒体放射器を用いる従来の全ての赤外線ガス分析装置の
他の欠点は、たとえば普通の分子が僅かなアイソトープ
すなわちに希アイソトープよって置換されるときに生じ
る吸収された波長の小さい変化を検出することができな
い点にある。このような能力は分離して発生されるスペ
クトルを有する赤外線源を使用することにより達成され
、赤外線源内のガス分子は化学的に同じガスにより置換
されるが、その構成原子の少なくとも一つはその希アイ
ソトープにより置換される分子から成る。

このようにアイソトープで置換されたガスの発生スペク
トルは、多量のアイソトープから成る分子のそれに比べ
てわずかな変位を示し、またいくつかの希アイソトープ
の構成を持つ分子により主として吸収されるが、正規の
分子により吸収されない。代表例は、たとえば、レギュ
ラーＣＯ２゜（＋　２　ＣＩ　６０２　）すなわち１３
　Ｃ１６０２゜１２　ＣＩ　８　Ｑ２９重２　Ｃｌ１ｉ
０１８０の希アイソトープまたはレギュラーＨ２０すな
わちＤ２０゜ＨＤＯの希アイソトープである。

このように特殊な赤外線源を使用することができるので
、本発明の赤外線ガス分析装置は、アイソトープに置換
されたマーカー分子を識別しその濃度を測定することが
できる。

また、化学的に同一でありやがて等しく変化する互いに
異なりかつ区別可能の特殊な二種の放射線を一つの放射
線源から発生することができ、放射線の一つはシステム
の変動の理由から他の放射線に対する参照値として使用
することができる。

（実施例）以下、本発明をより明らかに理解するように、図面に示
す本発明の好しい実施例について説明する。

なお、図面に関して、図示の事項は、本発明の好ましい
実施例を説明する目的のためであり、また、本発明の原
理および概念上の態様を最も実用的かつ直ちに理解する
ように考えられることは何かを与える場合を表わすこと
を強調する。これに関して、本発明の基本を理解するた
、めに必要な事項以上に本発明の構造を詳細に示すもの
ではなく、本発明のいくつかの形態が実施において具体
化されるものが何かを当業者に明らかにする図面を利用
して説明する。

第１図のブロック図には、赤外線源４に電力を供給し、
該赤外線源を制御するドライバ２が示されている。赤外
線源４は、分析すべきガスが配置される分析空間部すな
わち分析セル６を経る赤外線を発生する。分析セル６の
下流の側には、赤外線が前記ガスにより吸収されたか否
かおよびその吸収量を感知する検出器８が配置されてい
る。検出器８の出力信号は、増幅器すなわち信号処理回
路１０に供給され、さらに該信号処理回路から、分析さ
れた試料ガス内のターゲットガスの濃度を表示する表示
装置１２に供給される。

本発明のガス分析装置の赤外線源４は、赤外線活性ガス
または一般には大気圧以下の混合ガスの分子を収容しか
つ気密に密閉されたチューブすなわちガラス瓶を備える
。高周波（にＨｚ。

ＭＨｚ）またはマイクロ波の電磁波により励起されたと
き、容器すなわち前記ガラス瓶は、赤外線を放射する放
電灯として作用する。該放電灯から放射される赤外線は
、分離され、充分に規定された線の帯域からなる不連続
のスペクトルの形を有する。全てのターゲットガスのた
めに赤外線源４は、特定のガスの吸収バンドに本質的に
等しいスペクトルの放射線を発生するように選択される
。

多くの場合、赤外線源４の前記瓶内には、赤外線活性ガ
スだけが収容される。その外に前記瓶内には、ノーベル
ガスのような非回転振動遷移を表わす付加的なガス、ま
たは、赤外線の放射を高め放電により分子の解離を減少
させるべくＮ２．０２、Ｈｚのような環核の二価の原子
が必要である。これらの赤外線源の有効寿命は、連続運
転で少なくとも数千時間である。

これらの赤外線源の注目すべき有効寿命はいくつかの原
因により得られる。

（１）赤外線源４の前記瓶内の一部においてだけで放電
が生じ、前記瓶内の残部は放電領域に正常なガス構成物
を維持するための実質的に貯蔵部として作用する。前記
放電領域の容積は前記貯留部のそれより数倍小さい。

（２）電極は赤外線源４の前記容器の外周に配置され、
それにより電極は劣化しにくく、従って内部のガスの臨
界純度を低下させ゛ない。また、電極のスパッタリング
がなく、それがガス容器の透明壁へ付着しない。励起は
、容量性、誘導性または放射性の結合部材のいずれかに
より生じる。電極は、一つの実施例の場合平坦な金属リ
ングすなわち赤外線源４の前記瓶の周りを伸びかつ前記
瓶の外表面に接触するリングのような部材であり、他の
実施例の場合ワイヤコイルのように配置された部材であ
る。

赤外線活性分子ガスは、低電力で励起する上で、原子ま
たは分子バッファガスとともに数十トルを越えない圧力
に維持される。

いくつかの場合、ガスが満たされた吸収セルを構成する
スペクトルフィルタを赤外線源に配置し、放電ゾーン内
にターゲットガスと異なる赤外線活性分子または基が存
在することに起因して放電ゾーンからから不本意に発す
る特定の放射線を前記フィルタにより除去するようにす
ると好適である。

ターゲットガスの帯域に重畳されがちな吸収帯域の特定
のガスがテストガスの混合物内に存在していそうなとき
も、類似の吸収手段を配置することができる。

赤外線源４の前記瓶は、任意な材料で作ることができる
が、放射線の検出およびその吸収の検出を許すべく充分
に重要な多量の放射線をターゲットガスに伝達すること
ができる出口窓として役立つ少なくとも一つの部位を有
することが必要である。ターゲットガスの種類に応じて
、ソーダガラス、耐熱性ガラス、サファイヤ、ベリリウ
ムふ化物等の異なる窓材料を選択する必要がある。赤外
線源は、その前記瓶から各種のガス用の放射線を発生し
、所定のフィルタで所定の放射線を選択するようにする
ことができる。

これらの赤外線源４を駆動させるのに必要な電力は、１
ワット未満から数ワットと非常に少なく、ターゲットガ
スにより吸収される放射線の発生された電力レベルのた
めに、従来の黒体放射器に必要な量より二指までの差で
低い。

第２図に示すように、本発明の分析器の赤外線源のスペ
クトルＡは、１２００度Ｃの黒体放射器の広い連続スペ
クトルＢと比較すると、狭く、分離され、そして不連続
である。スペクトルＡはＣｏ２の吸収帯域に匹敵する。

第３図には、本発明の赤外線ガス分析装置の基本的な実
施例が示される。ドライバ２は、電源１４と、選択可能
のデユーティ−サイクルおよびデユーティ−比の方形波
状のパルスを発生させる電気的チョッパとして作用する
変調器１６と、高周波源として作用する発振器１８とを
含む。

赤外線源４は、容量板として作用する金属リング２０と
、同軸ケーブル２２とによって高周波源１８に容量的に
接続されている。分析セルに放射線を指向させる光学手
段を使用することができる。

分析セル６は、入口２４と、出口２６と、赤外線源４に
より発生された特定の赤外線に対して少なくとも部分的
に透明な二つの窓２８とを有する。

しかし、多くのガスに適用するためには、試料ガスをセ
ル内に制限する必要がない。それ自体公知の光学手段に
より適度に集中または平行にされた赤外線を用いて、赤
外線源４と検出器８との間に介在する比較的大きい距離
の自由空間にわたって測定することができる。このよう
にして、自動車用トンネル、煙突等の内部のＣＯレベル
を測定すなわち監視することができる。

赤外線検出器８は、たとえばオプトエレクトロニクスに
よって製造された０Ｅ−１５−５４のような誘導セレン
化検出器を使用することができる。また、商品名”　Ｅ
ｌｔｅｃ　　４０８″のパイロタイプの検出器すなわち
光活性の検出器を用いることもできる。異なる原理の基
に作用する検出器は赤外線が透過可能の窓を有するセル
から成り、該セル内は吸収した放射線の量に依存して昇
温する赤外線吸収ガスで満たされ１．温度変化は熱転対
によフて測定される。

いくつかの場合、検出器８は異なる特定時にテストおよ
び参照信号を順次処理するように配置され、切り換えは
赤外線源４と検出器８との間の情報リンクによりなされ
る。

検出器の出力は、信号処理回路１０で処理および増幅さ
れ、最終的に表示装置１２に供給される。表示装置１２
は、濃度を表わす％、ｐｐｍをアナログまたはディジタ
ル的に表示する。絶対値すなわち高い正確さが必要でな
い場合には、測定された濃度が高いほど明るくなるよう
に複数のしＥＤにより濃度を表わしてもよい。他の表示
手段として、光学的、音響的警報装置を含むことができ
る。

第４図には、濃度が既知のターゲットガスすなわちＣ０
２でまたは透明な固体あるいはＮ２のようなガスで満た
された参照セル６′と、それ用の検出器８°とを使用す
る他の実施例が示されている。検出器８．８′の出力信
号はそれらを比較する電気回路ユニットすなわち信号処
理回路３０に供給され、そこで処理された信号は増幅さ
れた後、表示装置１２およびまたは制御ユニットすなわ
ち制御回路１３へ供給される。制御回路１３は、入力信
号を基にして、ターゲットガスの濃度を適正な値に維持
するように、ブロワ−１排出機、加湿機のような機器を
制御するのに使用される。

第５図に示すガス分析装置のさらに他の実施例は、呼吸
の吐き出し空気すなわち呼気のｃｏ２含有量の測定の臨
床プロセス用に使用される。病人の呼吸は筒状のセル６
を通る。セル６は、吸入期間Ｉの間は既知のｃｏ２含有
量の室内空気が通る参照セルとして使用し、排気期間Ｅ
の間は分析用セルとして用いる。排気期間Ｅの間、セル
６内の００２濃度は増大し、検出器はしたがって少ない
放射線を受ける。各期間後の検出信号は、比較器兼増幅
器すなわち信号処理回路３０で比較され、呼気時の値は
表示装置１２に供給される。

第６図に示す本発明の赤外線源４は、ガラス瓶と、一対
の電極２０とを備える。電極２０輪、この実施例ては前
記瓶に取り付けられかつ同軸ケーブル２２により第１図
のドライバ２の接続された金属箔のリングから成る。こ
の実施例における前記瓶は、高周波源に容量的に結合さ
れている。すでに述べたように、誘導結合は、二つの電
極２０をワイヤコイルに置換することによって可能であ
る。

放電は電極２０により規定されるゾーン３２だけで生じ
、前記瓶内の残部は放電ゾーン３２に正しいガス成分を
維持するのに使用するリザーバすなわち貯留部３４とし
て作用する。多くの適用において、赤外線は矢印Ａの方
向に発生される。しかし、適当な窓材料の選択と包囲材
料により、矢印Ｂ方向へ発生することができる。

第７図に示す赤外線源の実施例は、矢印で示すように、
赤外線を比較的幅広の前方へ発生する。

ここで、放電ゾーン３２の深さ方向の大きさは電極２０
の前記瓶の周方向の長さにより規定される。それ以外の
前記瓶の内部は貯留部３４を構成する。

第８図に示す赤外線源の実施例では、テスト信号と参照
信号とを同時に発生する。この実施例における赤外線源
４の前記瓶はＵ字状であり、Ｕの分岐された部分はそれ
ぞれ一対の電極２０と窓３６とを有する。前記瓶には二
つの異なる放射線Ｔ、Ｒを生じるガスが収容されている
。一方の放射線はテストガスにより吸収゛されるように
テスト期間に発生されるテスト放射線Ｔであり、他方の
放射線は前記ガスに吸収されない参照放射線Ｒである。

この実施例は、さらに二つのフィルタ３８．４０を備え
、一方のフィルタ３８はテスト放射線Ｔを除去して参照
放射線Ｒだけを通過させ、他方のフィルタ４０は参照放
射線Ｒを除去してテスト放射線Ｔだけを通過させる。放
射線Ｔ、Ｒの各強度は、既知であり、また、たとえエー
ジング、サージング等に起因して前記瓶からの出力が変
化しても時間的に変動しない比に固定されている。前記
瓶は一対の電極を同時にかつ対を交互に励起させるドラ
イバに接続され、それにより赤外線源４はその異なる部
分から異なるスペクトルの放射線を交互に発生する。

第９図に示す実施例は、放電において一般に行なわれて
いる活動的な電子の存在により破壊されかつこれまでの
実施例では再結合の充分な割合いが提供されない分子ガ
スＰの問題を解決する。

第９図から明らかなように、赤外線源４の前記瓶は赤外
線透過性の隔壁４２により第１の室４４と第２の室４６
との二つの室に区画されている。

室４４は赤外線活性ガスＡを収容し、上記のように多く
の線源として作用する。これに対し、室４６は適宜な比
の少なくともガスＡ、Ｐの混合物を収容する。

ガスＡにより室４４から室４６へ発生された共鳴赤外線
は室４６内のガスＡにより吸収され、励起された振動状
態を分子Ａに生じさせる。ｖ−ｖ転送により、エネルギ
ーは分子Ａから分子Ｐに伝達され、基底状態に衰退する
ときその特定の赤外線を放射する。この活性化は光ボン
ピングとして公知である。

分子Ａ、Ｐ間の能率的なり−ｖ転送を有するために、分
子Ａは分子Ｐの適切なエネルギーレベルに匹敵する閉鎖
エネルギーを有するように選択される。

本発明は、上記の実施例に限定されず、特許請求の範囲
に記載された特徴を逸脱することなく上記の実施例を変
更することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の赤外線ガス分析装置の一実施例を示す
ブロック図、第２図は黒体放射器からの放射スペクトル
と本発明のガス分析装置の赤外線源からの分離した放射
スペクトルとを比較するグラフを示す図、第３図は本発
明のガス分析装置の基本的な実施例を示す図、第４図は
試料セルを含む分析装置の他の実施例を示す図、第５図
は本発明の分析装置のさらに他の実施例を示す図、第６
図は本発明の赤外線源の実施例を示す図、第７図は赤外
線源の他の実施例を示す図、第８図はテストおよび参照
信号を発生する赤外線源の実施例を示す図、第９図は非
破壊ガスによる光学的ポンピングにより励起される破壊
性赤外線ガスを有する混成赤外線源を示す図である。２：ドライバ、　　　４：赤外線源、６．６’　　：分析空間部、８．８’　　：検出器、１
０．３０：信号処理回路、１２：表示装置、１３：制御
回路、　　１４：電源、１６：変調器、　　　１８：発振器、２０：電極、　　　　２２：ケーブル、２４．２６：ガ
スの出入口、２８．３６：赤外線用の窓、３２：放電領域、３４：貯
留部、　　　３８，４０：フィルタ、４２：隔壁。代理人　弁理士　松　永　宣　行口」伐ｇＲ壜　　　　亦外狽壜

Claims

【特許請求の範囲】

（１）既知の分離されたスペクトル分布の赤外線を励起
により発生することができる少なくとも一つの赤外線活
性ガスを収容する赤外線源と、励起のためのエネルギー
を供給するドライバと、分析すべきガスが前記赤外線に
露出されて前記赤外線の少なくとも一部を吸収すること
ができる分析空間部を規定する距離だけ少なくとも前記
赤外線源から離されて配置され、前記空間のガスによる
前記赤外線の吸収を測定するための少なくとも一つの検
出器と、前記検出器の出力に応答する手段とを含み、前
記赤外線源は、存在および濃度を確認するガスにより吸
収される特定の分離された波長だけを含む不連続スペク
トルを発生し、前記ガスは密閉容器内に収容され、前記
励起は前記密閉容器内の制限された部分においてだけ生
じる放電によってもたらされ、前記容器内の残部は前記
ガスの貯留部として作用し、前記容器の外周には前記放
電を生じさせる電極が配置されていることを特徴とする
、赤外線分析装置。
（２）前記分析空間は、前記赤外線源と前記検出器との
間に配置され、かつ、前記赤外線源により発生された放
射線に対して本質的に透明な少なくとも入口窓および出
口窓を有し、さらに、分析すべき前記ガスが到達可能の
分析セルにより規定される、特許請求の範囲第（１）項
に記載の赤外線分析装置。
（３）前記分析空間は、分析すべきガスおよび参照ガス
が交互に供給され、かつ、前記赤外線源により発生され
た放射線に対して本質的に透明な少なくと入口窓および
出口窓を有する、筒状のダクトにより規定される、特許
請求の範囲第（１）項に記載の赤外線分析装置。
（４）既知の濃度の既知のガスを収容し、かつ、前記赤
外線源により発生された放射線に対して本質的に透明な
少なくと入口窓および出口窓を有する、閉鎖された参照
セルをさらに含む、許請求の範囲第（１）項に記載の赤
外線分析装置。
（５）前記参照セルの下流の側に配置された第２の検出
器をさらに含む、特許請求の範囲第（４）項に記載の赤
外線分析装置。
（６）前記ドライバは、電力源と、変調器と、発振器と
を含む、特許請求の範囲第（１）項に記載の赤外線分析
装置。
（７）前記応答手段は表示装置である、特許請求の範囲
第（１）項に記載の赤外線分析装置。
（８）前記応答手段は、前もって調節可能の臨界値内に
濃度を維持するように適合された機器を制御するための
制御回路である、特許請求の範囲第（１）項に記載の赤
外線分析装置。
（９）前記赤外線源は、分析すべき前記ガスにより吸収
されるテスト放射線および前記ガスにより吸収されない
参照放射線を含む少なくとも異なる二種の放射線を発生
するように適合され、また前記参照放射線を発生させる
べく前記二つの異なる放射線から少なくとも前記テスト
放射線を除去するフィルタをさらに備える、特許請求の
範囲第（１）項に記載の赤外線分析装置。
（１０）赤外線を励起により発生することができる少な
くとも赤外線活性の第１および第２のガスを収容する赤
外線源であって前記第２のガスにより既知の分離された
スペクトル分布の前記赤外線を発生する赤外線源と、前
記励起のためのエネルギーを供給するドライバと、分析
すべきガスが前記第２のガスの前記赤外線に露出されて
前記赤外線の少なくとも一部を吸収することができる分
析空間を規定する距離だけ少なくとも前記赤外線源から
離されて配置され、前記空間の前記ガスにより前記赤外
線の吸収を測定するための少なくとも一つの検出器と、
前記検出器の出力に応答する手段とを含む赤外線ガス分
析装置であって、前記第２のガスの前記赤外線は、存在
および濃度を確認する前記ガスにより吸収される特定の
分離された複数の波長だけを含む不連続スペクトルを発
生し、二種の前記ガスは少なくとも前記第１のガスが収
容された第１の室と少なくとも前記第２のガスが収容さ
れた第２の室とに赤外線が通過可能の隔壁により区画さ
れた密閉容器内に収容され、前記励起は前記第１の室の
制限された部分においだけ生じる放電によってもたらさ
れ、前記容器内の残部は前記ガスの貯留部として作用し
、前記第１の室の外周には前記放電を生じさせる電極が
配置され、前記第２の室内の前記第２のガスは前記第１
の室で発生されて前記隔壁を経る赤外線により励起可能
であることを特徴とする、赤外線分析装置。
（１１）既知の分離されたスペクトル分布の赤外線を励
起により発生することができる少なくとも一つの赤外線
活性ガスが収容された密閉容器を含み、前記励起は前記
密閉容器内の制限された部分においだけ生じる電気的放
電によってもたらされ、前記容器内の残部が前記ガスの
貯蔵部として作用し、前記容器の外周部には前記放電を
生じさせる電極が配置されていることを特徴とする、赤
外線ガス分析装置用赤外線源。
（１２）赤外線が通過可能の隔壁により少なくとも第１
の赤外線活性ガスが収容された第１の室と少なくとも第
２の赤外線活性ガスが収容された第２の室とに区画され
、前記第１のガスは励起されて赤外線を発生し、それに
より該赤外線は前記隔壁を透過して前記第２のガスを励
起させて既知の分離されたスペクトル分布の赤外線を発
生させる、容器を含み、前記第１のガスの前記励起は前
記容器の制限された部分だけにおける放電により生じ、
前記容器の残部は前記第１のガスの貯留部として作用し
、前記容器の外周には前記放電を生じさせる電極が配置
されていることを特徴とする、赤外線ガス分析装置用赤
外線源。