JPS62234585A - Washer - Google Patents

Washer

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Publication number
JPS62234585A
JPS62234585A JP7424286A JP7424286A JPS62234585A JP S62234585 A JPS62234585 A JP S62234585A JP 7424286 A JP7424286 A JP 7424286A JP 7424286 A JP7424286 A JP 7424286A JP S62234585 A JPS62234585 A JP S62234585A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaned
cleaning
liquid
cleaning device
gap
Prior art date
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Pending
Application number
JP7424286A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
勇 秋葉
誠司 藤倉
大越 智義
芳治 滝沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS62234585A publication Critical patent/JPS62234585A/en
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は洗浄装置、特に、ジェットノズルより液体を噴
射して被洗浄物を洗浄する洗浄装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a cleaning device, and particularly to a cleaning device that sprays liquid from a jet nozzle to clean an object to be cleaned.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の洗浄装置は、上面に開口を有する外囲体内に被洗
浄を配置する支持台を設け、この被洗浄物の上面に液体
を噴射するジェットノズルを設けたものが公知であり、
前記支持台上に、被洗浄物を直接載置するか、或いはト
レイ等を介して被洗浄物を載置し、ジ−エツトノズルか
ら洗浄用液体を多量に噴射して、その噴射力により被洗
浄物の表面の塵埃を吹飛ばして除去するものであった。
A conventional cleaning device is known to include a support base on which the object to be cleaned is placed inside an outer enclosure having an opening on the upper surface, and a jet nozzle for spraying liquid onto the upper surface of the object to be cleaned.
The object to be cleaned is placed directly on the support table or placed on a tray or the like, and a large amount of cleaning liquid is jetted from the jet nozzle, and the jetting force is used to clean the object to be cleaned. It was used to remove dust by blowing it away from the surface of objects.

尚。still.

この種装置に関連するものとしては、特開昭56−67
926号、特願昭60−20862号等が挙げられる。
Regarding this type of device, Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-67
No. 926, Japanese Patent Application No. 60-20862, etc.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

かかる洗浄装置は、ジェットノズルから噴射された洗浄
用液体が被洗浄物等に衝突した際に、霧状になって浮遊
し、外囲体の上面開口より外部へ流出して洗浄装置の周
囲を汚染するという問題があった。
In such a cleaning device, when the cleaning liquid jetted from the jet nozzle collides with the object to be cleaned, it floats in the form of a mist, flows out from the upper opening of the outer envelope, and surrounds the cleaning device. There was a problem of contamination.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、上面に開口(50)を有する外囲体(1)内に被洗
浄物(4)を配置する支持台(6)を設け、この被洗浄
物(4)上面に液体を噴射するジェットノズル(13)
を設けてなる洗浄装置において、前記外囲体(1)の開
口(50)を筒状部(1a)にて形成してその筒状部(
1a)の下端部と前記被洗浄物(4)側との間隙(1b
)を狭くすると共に、前記開口(50)から前記間隙(
1b)を通して空気を吸引するように吸引装置(30)
に接続した吸引口(20)を設けたことを特徴とする洗
浄装置としたものである。
The present invention has been made to solve this problem, and includes a support base (6) on which the object to be cleaned (4) is placed inside an envelope (1) having an opening (50) on the top surface. A jet nozzle (13) that sprays liquid onto the top surface of the object to be cleaned (4)
In the cleaning device, the opening (50) of the outer envelope (1) is formed by a cylindrical portion (1a), and the cylindrical portion (1a)
The gap (1b) between the lower end of 1a) and the object to be cleaned (4)
) is narrowed, and the gap ( ) is narrowed from the opening (50).
1b) to suck air through the suction device (30);
The cleaning device is characterized by being provided with a suction port (20) connected to the cleaning device.

〔作用〕[Effect]

かかる洗浄装置において、ジェットノズル(13)から
洗浄用液体を被洗浄物(4)に噴射し、その噴射力によ
り被洗浄物の表面の塵埃を吹飛ばして除去する。この場
合、被洗浄物(4)に噴射された洗浄用液体は被洗浄物
(4)等に衝突した際に霧状になって浮遊する。この霧
は、開口(50)から吸引される空気に乗って筒状部(
1a)の下端部と被洗浄物(4)側との間隙(1b)を
通って吸引口(20)に吸引される。
In such a cleaning device, a cleaning liquid is jetted from a jet nozzle (13) onto an object to be cleaned (4), and dust on the surface of the object to be cleaned is blown off and removed by the jetting force. In this case, the cleaning liquid sprayed onto the object to be cleaned (4) becomes a mist and floats when it collides with the object to be cleaned (4), etc. This mist rides on the air sucked in from the opening (50) and travels through the cylindrical part (
It is sucked into the suction port (20) through the gap (1b) between the lower end of 1a) and the object to be cleaned (4).

即ち、開口(50)を筒状部(1a)にて形成したので
、空気流はこの筒状部(1a)において上方から下方へ
の流れを生じ、霧が外囲体(1)の外部へ流出するのを
阻止すると共に、開口(50)を筒状部(1a)にて形
成してその筒状部(1a)の下端部と被洗浄物(4)側
との間隙(1b)を狭くしたので、開口(50)から吸
引される空気がこの間隙(1b)を狭くしたので、開口
(50)から吸引される空気がこの間隙(1b)の全周
からほぼ均一に吸引されるようになり、霧をその間隙(
1b)の全周から吸引口(20)へ導くことができる。
That is, since the opening (50) is formed in the cylindrical part (1a), the airflow occurs from the upper side to the lower part in the cylindrical part (1a), and the mist flows to the outside of the outer envelope (1). In addition to preventing the outflow, an opening (50) is formed in the cylindrical part (1a) to narrow the gap (1b) between the lower end of the cylindrical part (1a) and the object to be cleaned (4). Therefore, the air sucked from the opening (50) narrows this gap (1b), so that the air sucked from the opening (50) is sucked almost uniformly from the entire circumference of this gap (1b). The mist fills the gap (
1b) can be led to the suction port (20) from the entire circumference.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を、第1図〜第4図により説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 4.

支持台6の周囲に筒状の外囲体1が設けられている。さ
らに、その外囲体1の底壁傾斜面に超音波振動子7a、
7b、7cが取付けられている。
A cylindrical envelope 1 is provided around the support base 6. Furthermore, an ultrasonic transducer 7a is mounted on the bottom inclined surface of the outer enclosure 1.
7b and 7c are attached.

そして、前記外囲体1中に超音波のエネルギーを伝達さ
せる液3を充填する注液ノズル2、その液3を排出しブ
ラシスクラバ洗浄を行うための、ブラシアーム10aを
有するブラシ10、ブラシスクラバ洗浄時及びリンス時
に必要な液11aを供給するリンスノズル11、さらに
、高圧ジェット洗浄を行うためのジェットノズル13、
支持台6を高速回転させ、トレイ5及び被洗浄物に係る
被洗浄物4上に残留した液を遠心力で除去する際に乾燥
効果を高めるガス噴射ノズル12などが、外囲体1の上
部もしくは支持台6の付近に設置され、必要時に、支持
台6の上部に移動し、洗浄。
A liquid injection nozzle 2 for filling the liquid 3 for transmitting ultrasonic energy into the outer envelope 1, a brush 10 having a brush arm 10a for discharging the liquid 3 and cleaning the brush scrubber, and a brush scrubber. A rinse nozzle 11 that supplies liquid 11a necessary for cleaning and rinsing, and a jet nozzle 13 for performing high-pressure jet cleaning.
A gas injection nozzle 12 and the like, which enhances the drying effect when the support base 6 is rotated at high speed and liquid remaining on the tray 5 and the object to be cleaned 4 is removed by centrifugal force, is installed in the upper part of the outer envelope 1. Alternatively, it can be installed near the support stand 6 and moved to the top of the support stand 6 for cleaning when necessary.

乾燥を行うようになっている。It is designed to dry.

しかして、例えば、被洗浄物4は、平滑な表面上に微細
な加工が施されたようなものであり、被洗浄物4を載せ
固定するトレイ5は、適宜、被洗浄体4の形状に合った
受は加工が施されて被洗浄物4の固定ができるようにな
っており、そのトレイ5の裏面は、トレイ5と被洗浄物
4ごと、真空で支持台6に固定できるよう真空経路溝5
aが設けられている。
For example, the object to be cleaned 4 has a smooth surface that has been finely processed, and the tray 5 on which the object to be cleaned 4 is placed and fixed may be adapted to the shape of the object to be cleaned 4 as appropriate. The matching receiver is machined so that the object to be cleaned 4 can be fixed thereon, and the back side of the tray 5 has a vacuum path so that the tray 5 and the object to be cleaned 4 can be fixed to a support stand 6 using vacuum. Groove 5
A is provided.

また、支持台6は、真空吸引孔6aが中央部にあり、さ
らに、回転用シャフト9及び真空用シャフト9aと、液
密にシール及び嵌合されているものである。
Further, the support base 6 has a vacuum suction hole 6a in the center thereof, and is further sealed and fitted with the rotation shaft 9 and the vacuum shaft 9a in a liquid-tight manner.

上記の外囲体1は、上下駆動用シャフト8に固定され、
各洗浄種類により、回転用シャフト9と液密にシールさ
れながら上下移動をするように形成されているものであ
る。
The above-mentioned outer enclosure 1 is fixed to the vertical drive shaft 8,
Depending on the type of cleaning, it is formed to move up and down while being sealed liquid-tightly with the rotating shaft 9.

更には、筒状部1aより外方で、且つ、この筒状部1a
の下端より上方に位置して吸引口(20)を設けている
。この吸引口20aは吸引装置3゜に連通管20aを介
して連通されている。吸引装置!!30には、ファン3
0aとフィルタ31を有しており、ファン30aにて吸
引した空気中に含まれる洗浄用液体はフィルタ31に捕
集され、フィルタ31より滴下して貯留液32となって
溜められる。
Furthermore, outside the cylindrical portion 1a, and this cylindrical portion 1a
A suction port (20) is provided above the lower end of. This suction port 20a is communicated with the suction device 3° via a communication pipe 20a. Suction device! ! 30 has fan 3
0a and a filter 31, the cleaning liquid contained in the air sucked by the fan 30a is collected by the filter 31, drips from the filter 31, and is stored as a stored liquid 32.

なお、2a、13aは洗浄液を示し、14は液排出口で
ある。
Note that 2a and 13a represent cleaning liquids, and 14 is a liquid outlet.

次に、上記の構成に係るものの作動を説明する。Next, the operation of the device having the above configuration will be explained.

まず、超音波による洗浄においては、外囲体1を上方へ
移動し、液排出口14に接続される排出バルブを閉じ、
注液ノズル2から洗浄液2aを被洗浄物4の上方まで充
たすよう吐出する。この際。
First, in ultrasonic cleaning, the envelope 1 is moved upward, the discharge valve connected to the liquid discharge port 14 is closed,
The cleaning liquid 2a is discharged from the liquid injection nozzle 2 so as to fill the cleaning liquid 2a above the object 4 to be cleaned. On this occasion.

予め真空吸引で被洗浄物4を固定しておくものである。The object to be cleaned 4 is fixed in advance by vacuum suction.

さらに超音波振動子7a、7b、7cを起動させ、液3
を介し超音波エネルギーにより被洗浄物4の洗浄を行う
ものである。
Furthermore, the ultrasonic transducers 7a, 7b, and 7c are activated, and the liquid 3
The object 4 to be cleaned is cleaned using ultrasonic energy.

ここで、超音波のエネルギーが被洗浄物4に均等に伝達
されるよう、支持台6を回転させ、もしくは外囲体1を
上下させることは、少しも洗浄効率を阻害するものでは
ない。
Here, rotating the support base 6 or moving the envelope 1 up and down so that the ultrasonic energy is evenly transmitted to the object 4 to be cleaned does not impede the cleaning efficiency in the slightest.

上記のようにして、超音波による洗浄を行ったのち、液
排出口14に接続された排出バルブを開き、液3を排出
し、外囲体1を下方へ移動する。
After performing ultrasonic cleaning as described above, the discharge valve connected to the liquid discharge port 14 is opened, the liquid 3 is discharged, and the envelope 1 is moved downward.

そして、被洗浄物4は、まだ支持台6にトレイ5ごと真
空によって固定されたままとし、外囲体1の上部もしく
は支持台6の付近に設置されたブラシ10を、ブラシア
ーム10aにより被洗浄物4上に密着させる。
Then, the object to be cleaned 4 is still fixed to the support stand 6 together with the tray 5 by vacuum, and the brush 10 installed on the top of the outer enclosure 1 or near the support stand 6 is moved by the brush arm 10a. Place it tightly on object 4.

この際、被洗浄物4は、支持台6を回転させることによ
り、ブラシ1oと、その全数が全面接触し、被洗浄物4
の表面平滑部の洗浄を主に行うものである。
At this time, by rotating the support base 6, the object to be cleaned 4 comes into full contact with the brush 1o, and the object to be cleaned 4
It is mainly used to clean the smooth surface of the machine.

ブラシ10の回転と同時あるいは、適宜短い時間的間隔
をおき、リンスノズル11より洗浄用の液11aを被洗
浄物4上に吐出する。
The cleaning liquid 11a is discharged onto the object to be cleaned 4 from the rinse nozzle 11 simultaneously with the rotation of the brush 10 or at appropriately short intervals.

次に、ブラシ10を被洗浄物4上より引きはなし、液1
1の吐出を止める。
Next, remove the brush 10 from above the object 4 to be cleaned, and remove the liquid 1.
Stop dispensing 1.

さらに、高圧ジェット用に係るジェットノズル13を被
洗浄物4の上方部に位置させ、支持台6を回転させたま
ま、洗浄液13aを高圧で噴射させ、被洗浄物4上を洗
浄する。この場合、支持台6の回転数は限定されるもの
でもなく、ジェットノズル13をトレイ5上に全面もし
くは半回分だけ、装置上部で反復動作をくり返すことに
より、洗浄効果を上げることが可能である。
Further, a jet nozzle 13 for high-pressure jetting is positioned above the object to be cleaned 4, and while the support base 6 is kept rotating, the cleaning liquid 13a is jetted at high pressure to clean the object to be cleaned 4. In this case, the number of rotations of the support base 6 is not limited, and the cleaning effect can be improved by repeatedly moving the jet nozzle 13 onto the tray 5 over the entire surface or half a time at the top of the device. be.

高圧ジェット洗浄後、場合によっては、リンスノズル1
1からリンス用の液11aを吐出しながら、最終すすぎ
を行うものである。
After high-pressure jet cleaning, in some cases, rinse nozzle 1
The final rinse is performed while discharging the rinsing liquid 11a from the rinsing liquid 11a.

次に、リンス用の液11aを止め、支持台6を高速回転
させ、被洗浄物4及びトレイ5上に残った液を遠心力で
除去し、乾燥を行うものである。
Next, the rinsing liquid 11a is stopped, the support stand 6 is rotated at high speed, and the liquid remaining on the object to be cleaned 4 and the tray 5 is removed by centrifugal force, and drying is performed.

この際、乾燥効率を上げるため1回転数をさらに上げる
ことや、ガス噴射ノズル12から乾燥したガスを被洗浄
物4及びトレイ5上に吹き付けることも有効な手段であ
る。
At this time, in order to increase the drying efficiency, it is effective to further increase the number of rotations or to spray dry gas from the gas injection nozzle 12 onto the object to be cleaned 4 and the tray 5.

乾燥終了後、支持台6の回転を止め、さらに真空吸引を
止め、一連の当該洗浄装置による洗浄を終了するもので
ある。
After the drying is completed, the rotation of the support base 6 is stopped, and furthermore, the vacuum suction is stopped, and the series of cleaning by the cleaning device is completed.

而して、高圧ジェット用に係るジェットノズル13にて
洗浄液13aを高圧で噴射させ、被洗浄物4を洗浄する
点を更に詳しく説明する。ジェットノズル13から噴射
された洗浄用液体が被洗浄物4およびトレイ5に衝突し
た際に霧状になって浮遊するが、開口50から吸引され
る空気によって前記霧が外囲体1の外部へ流出すること
なく。
Now, the point in which the cleaning liquid 13a is jetted at high pressure by the jet nozzle 13 for high-pressure jets to clean the object 4 to be cleaned will be explained in more detail. When the cleaning liquid injected from the jet nozzle 13 collides with the object to be cleaned 4 and the tray 5, it floats in the form of mist, but the mist is transferred to the outside of the envelope 1 by the air sucked through the opening 50. without spilling.

この吸引空気流に乗って筒状部1aの下端部とトレイ5
との間隙1bを通って吸引口20に吸引される。この点
を更に詳しく説明すると、開口50を筒状部1aにて形
成したので、この筒状部1aの高さにわたって上から下
方への空気流を発生させることができる。この空気流に
よって霧が外囲体1の外部へ流出しようとするのを効果
的に阻止できる。又、開口50を筒状部1aにて形成し
てその筒状部1aの下端部と被洗浄物4側(トレイ5の
外周端)との間隙1bを狭くしたので、開口50から吸
引される空気がこの間隙1bの全周からほぼ均一に吸引
されるようになり、前記霧をその間隙全周から吸引口2
0へ導くことができる。
Riding this suction air flow, the lower end of the cylindrical portion 1a and the tray 5
It is sucked into the suction port 20 through the gap 1b. To explain this point in more detail, since the opening 50 is formed in the cylindrical portion 1a, it is possible to generate an air flow from above to below over the height of the cylindrical portion 1a. This air flow can effectively prevent the mist from flowing out of the envelope 1. In addition, since the opening 50 is formed in the cylindrical part 1a and the gap 1b between the lower end of the cylindrical part 1a and the object to be cleaned 4 side (the outer peripheral edge of the tray 5) is narrowed, the suction from the opening 50 is Air is sucked almost uniformly from the entire circumference of the gap 1b, and the mist is sucked from the entire circumference of the gap to the suction port 2.
It can lead to 0.

従って、霧が外囲体1の外部へ流出しようとするのを全
周にわたって阻止できる。
Therefore, it is possible to prevent the mist from flowing out of the envelope 1 over the entire circumference.

更に、筒状部1aを外囲体1の上面から垂下にするよう
に形成し、その外方で、且つ、その下端より上方に吸引
口20を設けたことにより、超音波洗浄の際の液3が吸
引口20に流入しないようにすることができると共に、
筒状部1aを外囲体1との空隙を通して吸引空気を導く
ことができる。
Furthermore, the cylindrical part 1a is formed to hang down from the upper surface of the outer envelope 1, and the suction port 20 is provided outside the cylindrical part 1a and above the lower end of the cylindrical part 1a, so that liquid during ultrasonic cleaning can be removed. 3 from flowing into the suction port 20, and
Suction air can be guided through the gap between the cylindrical portion 1a and the outer envelope 1.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、次の効果を有する洗浄装置を提供する
ことができる。
According to the present invention, a cleaning device having the following effects can be provided.

■外囲体(1)の筒状部(1a)にて上方から下方への
空気流を発生させ、ジェットノズル(13)から洗浄用
液体を被洗浄物(4)に噴射した際に発生する霧をこの
空気流に乗せて確実に吸引口(20)に吸引できるので
、この霧を外囲体(1)の外部へ流出することを阻止で
きる。
■ Occurs when the cylindrical part (1a) of the envelope (1) generates an air flow from above to below and the cleaning liquid is sprayed onto the object to be cleaned (4) from the jet nozzle (13). Since the mist can be carried by this air flow and reliably sucked into the suction port (20), it is possible to prevent this mist from flowing out to the outside of the envelope (1).

■外囲体(1)の筒状部(1a)の下端部と被洗浄物(
4)側との間隙(1b)を狭くして。
■The lower end of the cylindrical part (1a) of the outer envelope (1) and the object to be cleaned (
4) Narrow the gap (1b) with the side.

開口(50)から吸引される空気がこの間隙(1b)の
全周からほぼ均一に吸引されるので。
This is because the air sucked through the opening (50) is sucked almost uniformly from the entire circumference of this gap (1b).

前記震をその間隙(1b)全周から吸引口(20)へ導
くことができ、この点からも霧が外囲体(1)の外部へ
流出するのを確実に阻止できる。
The vibrations can be guided from the entire circumference of the gap (1b) to the suction port (20), and the mist can be reliably prevented from flowing out of the envelope (1) from this point as well.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の洗浄装置の超音波洗浄時の縦断面図、
第2図は同洗浄装置のブラシ洗浄、ジェット洗浄時の縦
断面図、第3図は同洗浄装置の横断面図、第4図は同洗
浄装置のジェット洗浄説明図である。 1・・・外囲体、la・・・筒状部、1b・・・間隙、
4・・・被洗浄物、6・・・支持台、13・・・ジェッ
トノズル、第30
FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of the cleaning device of the present invention during ultrasonic cleaning;
FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the same cleaning device during brush cleaning and jet cleaning, FIG. 3 is a cross-sectional view of the same cleaning device, and FIG. 4 is an explanatory diagram of jet cleaning of the same cleaning device. 1... Outer envelope, la... Cylindrical part, 1b... Gap,
4...Object to be cleaned, 6...Support stand, 13...Jet nozzle, 30th

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、上面に開口(50)を有する外囲体(1)内に被洗
浄物(4)を配置する支持台(6)を設け、この被洗浄
物(4)上面に液体を噴射するジェットノズル(13)
を設けてなる洗浄装置において、前記外囲体(1)の開
口(50)を筒状部(1a)にて形成してその筒状部(
1a)の下端部と前記被洗浄物(4)側との間隙(1b
)を狭くすると共に、前記開口(50)から前記間隙(
1b)を通して空気を吸引するように吸引装置(30)
に接続した吸引口(20)を設けたことを特徴とする洗
浄装置。 2、特許請求の範囲第1項において、外囲体(1)の上
面から垂下する筒状部(1a)としてなる洗浄装置。 3、特許請求の範囲第1項において、被洗浄物(4)を
トレイ(5)上に載置してこのトレイ(5)と筒状部(
1a)の下端部との間隙(1b)を狭くしてなる洗浄装
置。 4、特許請求の範囲第2項において、筒状部(1a)よ
り外方で、且つ、この筒状部(1a)の下端より上方に
位置して吸引口(20)を設けてなる洗浄装置。
[Claims] 1. A support base (6) on which an object to be cleaned (4) is placed is provided in an outer enclosure (1) having an opening (50) on the upper surface, and a support base (6) is provided on which the object to be cleaned (4) is placed Jet nozzle (13) that sprays liquid
In the cleaning device, the opening (50) of the outer envelope (1) is formed by a cylindrical portion (1a), and the cylindrical portion (1a)
The gap (1b) between the lower end of 1a) and the object to be cleaned (4)
) is narrowed, and the gap ( ) is narrowed from the opening (50).
1b) to suck air through the suction device (30);
A cleaning device characterized by being provided with a suction port (20) connected to. 2. The cleaning device according to claim 1, which is formed as a cylindrical portion (1a) hanging from the upper surface of the outer envelope (1). 3. In claim 1, the object to be cleaned (4) is placed on the tray (5) and the tray (5) and the cylindrical part (
A cleaning device formed by narrowing the gap (1b) between the lower end portion of (1a) and the lower end portion (1b). 4. A cleaning device according to claim 2, comprising a suction port (20) located outside the cylindrical part (1a) and above the lower end of the cylindrical part (1a). .
JP7424286A 1986-04-02 1986-04-02 Washer Pending JPS62234585A (en)

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JP (1) JPS62234585A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0568952A (en) * 1991-09-11 1993-03-23 U S Chem:Kk Method and apparatus for cleaning material to be cleaned

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0568952A (en) * 1991-09-11 1993-03-23 U S Chem:Kk Method and apparatus for cleaning material to be cleaned

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