JPS62233731A - コラム型荷重変換器 - Google Patents
コラム型荷重変換器Info
- Publication number
- JPS62233731A JPS62233731A JP7649786A JP7649786A JPS62233731A JP S62233731 A JPS62233731 A JP S62233731A JP 7649786 A JP7649786 A JP 7649786A JP 7649786 A JP7649786 A JP 7649786A JP S62233731 A JPS62233731 A JP S62233731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- gauge
- load
- column
- sectional area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000002463 transducing effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(、) 技術分野
本発明は、コラム型荷重変換器に関し、より具体的には
、起歪柱の起歪部に荷重変換用のひずみゲージが添着さ
れ、前記起歪部の近傍に該ひずみゲージによる荷重変換
特性の非直線性を補償する半導体ゲージが添着され、前
記起歪柱に印加される荷重に対応した電気信号を得るコ
ラム型荷重変換器に関するものである。
、起歪柱の起歪部に荷重変換用のひずみゲージが添着さ
れ、前記起歪部の近傍に該ひずみゲージによる荷重変換
特性の非直線性を補償する半導体ゲージが添着され、前
記起歪柱に印加される荷重に対応した電気信号を得るコ
ラム型荷重変換器に関するものである。
(b) 従来技術
従来のコラム型荷重変換器は、第21i1(A)および
(B)に示すように略四角柱を呈する起歪柱としてのコ
ラムaの中間部の薄肉とされた起歪部すの外周面のうち
、互いに反対側を向いた一対の而CおよびCに、受感方
向が互いに直交するようにひずみゲージSGI、SG2
およびSG3.SG4が添着され、その4個のひずみゲ
ージSG1〜SG4により第3図に示すようなホイート
ストンブリッジが構成されており。
(B)に示すように略四角柱を呈する起歪柱としてのコ
ラムaの中間部の薄肉とされた起歪部すの外周面のうち
、互いに反対側を向いた一対の而CおよびCに、受感方
向が互いに直交するようにひずみゲージSGI、SG2
およびSG3.SG4が添着され、その4個のひずみゲ
ージSG1〜SG4により第3図に示すようなホイート
ストンブリッジが構成されており。
コラムaの軸方向に印加される荷重をそのホイートスト
ンブリッジの出力eoとして検出するようになっている
。BVはこのホイートストンブリッジにブリッジ電圧を
供給するブリッジ電源である。そして、コラムaの内部
は、丸穴が穿設されて中空にされ、その中空部dの径を
適宜に変えることによって荷重に対するひずみの大きさ
が調整される。
ンブリッジの出力eoとして検出するようになっている
。BVはこのホイートストンブリッジにブリッジ電圧を
供給するブリッジ電源である。そして、コラムaの内部
は、丸穴が穿設されて中空にされ、その中空部dの径を
適宜に変えることによって荷重に対するひずみの大きさ
が調整される。
ところで、このように、4個のひずみゲージSGI〜S
G4からなるホイートストンブリッジのみで回路構成し
たコラム型荷重変換器は。
G4からなるホイートストンブリッジのみで回路構成し
たコラム型荷重変換器は。
誤差が大きいので、第2図(C)に示すように非直線性
補償用半導体ゲージfを付加する場合がある。
補償用半導体ゲージfを付加する場合がある。
その理由とするところは、第3図に示すようなひずみゲ
ージ5GI−SG4からなるホイートストンブリッジは
、例えば第4図の実線で示すような荷重変換特性を有し
、その特性は非直線性を有しているためである。具体的
には、その非直線性(NL−)は、コラム型では0.1
〜′0.2%Ro (Ro :rajed out
put定格出力)にもなってしまい、より正確な荷重測
定を行なうにはその非直線性を補償する必要性があるか
らである。
ージ5GI−SG4からなるホイートストンブリッジは
、例えば第4図の実線で示すような荷重変換特性を有し
、その特性は非直線性を有しているためである。具体的
には、その非直線性(NL−)は、コラム型では0.1
〜′0.2%Ro (Ro :rajed out
put定格出力)にもなってしまい、より正確な荷重測
定を行なうにはその非直線性を補償する必要性があるか
らである。
一方、この非直線性補償用半導体ゲージfは。
回路的には、ブリッジ電源BVとホイートストンブリッ
ジの入力端との間に接続され、構造的には起歪柱たるコ
ラムaの起歪部すの外周面に添着されるにの半導体ゲー
ジfは、コラムaが荷重を受けてひずむと抵抗値が変化
する。そして、この半導体ゲージfのひずみによる抵抗
変化は、ホイートストンブリッジの非直線性を補償する
ような変化を呈するので半導体ゲージfを付加すること
によって荷重変換器の荷重変換特性の直線性を改善する
ことができるのである。
ジの入力端との間に接続され、構造的には起歪柱たるコ
ラムaの起歪部すの外周面に添着されるにの半導体ゲー
ジfは、コラムaが荷重を受けてひずむと抵抗値が変化
する。そして、この半導体ゲージfのひずみによる抵抗
変化は、ホイートストンブリッジの非直線性を補償する
ような変化を呈するので半導体ゲージfを付加すること
によって荷重変換器の荷重変換特性の直線性を改善する
ことができるのである。
尚、実際の製品においては、一度補償および出力調整の
ため第5図に示すように温度感度抵抗gおよび出力調!
!抵抗りが上記非直線性補償用半導体ゲージfと直列に
接続される。
ため第5図に示すように温度感度抵抗gおよび出力調!
!抵抗りが上記非直線性補償用半導体ゲージfと直列に
接続される。
このような非直線性補償用半導体ゲージfを備えたコラ
ム型荷重変換器は、直線性が良いので荷重の測定精度が
非常に高くなるという点で優れているが、しかし、半導
体ゲージが一般のひずみゲージに比較して疲労に弱いの
で半導体ゲージが破損し易いという欠点を有している。
ム型荷重変換器は、直線性が良いので荷重の測定精度が
非常に高くなるという点で優れているが、しかし、半導
体ゲージが一般のひずみゲージに比較して疲労に弱いの
で半導体ゲージが破損し易いという欠点を有している。
具体的には、半導体ゲージは、例えば荷重変換用ひずみ
ゲージSGI〜SG4に1000μεより大きなひずみ
が生じるとひずみの大きさに従って疲労寿命が短かくな
る。従って、半導体ゲージfをひずみゲージSGI〜S
G4と同じひずみを受けるようにコラムaの起歪部すに
添着した場合には、ひずみゲージSGl〜SG4に先ん
じて半導体ゲージfの方が破損してしまうことになり、
そのためコラム型荷重変換器の寿命が゛i導導体ゲージ
上より決定されてしまうという問題があった。
ゲージSGI〜SG4に1000μεより大きなひずみ
が生じるとひずみの大きさに従って疲労寿命が短かくな
る。従って、半導体ゲージfをひずみゲージSGI〜S
G4と同じひずみを受けるようにコラムaの起歪部すに
添着した場合には、ひずみゲージSGl〜SG4に先ん
じて半導体ゲージfの方が破損してしまうことになり、
そのためコラム型荷重変換器の寿命が゛i導導体ゲージ
上より決定されてしまうという問題があった。
(c) 目的
本発明は、」ユ記問題点を解決すべくなされたもので、
起歪部に添着された荷重変換用ひずみゲージの荷重変換
特性の非直線性を良好に補償し得ると共に、非直線性補
償用の半導体ゲージの疲労寿命を大幅に延長でき、延い
ては、荷重変換器の寿命を大幅に延長し得るコラム型荷
重変換器を提供することにある。
起歪部に添着された荷重変換用ひずみゲージの荷重変換
特性の非直線性を良好に補償し得ると共に、非直線性補
償用の半導体ゲージの疲労寿命を大幅に延長でき、延い
ては、荷重変換器の寿命を大幅に延長し得るコラム型荷
重変換器を提供することにある。
(d) 構成
本発明は、上記目的を達成させるため、起歪柱の起歪部
に荷重変換用のひずみゲージが添着され、前記起歪部の
近傍に該ひずみゲージによる荷重変換特性の非直線性を
補償する半導体ゲージが添着され、前記起歪柱に印加さ
れる荷重に対応した電気信号を得るコラム型荷重変換器
において、前記荷重変換用のひずみゲージが添着された
起歪部における断面積に対し前記半導体ゲージが添着さ
れた部位における断面積が大きく形成されてなることを
特徴とするものである。
に荷重変換用のひずみゲージが添着され、前記起歪部の
近傍に該ひずみゲージによる荷重変換特性の非直線性を
補償する半導体ゲージが添着され、前記起歪柱に印加さ
れる荷重に対応した電気信号を得るコラム型荷重変換器
において、前記荷重変換用のひずみゲージが添着された
起歪部における断面積に対し前記半導体ゲージが添着さ
れた部位における断面積が大きく形成されてなることを
特徴とするものである。
以下1本発明を、添付図面に示した実施例に従って詳細
に説明する。
に説明する。
第1図は、本発明の一実施例の構成を示す縦断面図であ
る。
る。
同図において、1は起歪柱としてのコラムで。
上端側には、剛性が大きく荷重を受けるに適するように
円弧状に形成された荷重印加部1aを有し、下端側には
同じく剛性が大きく、荷重に対する反力を受けるに適す
るように座面が形成された台座部1bを有し、中間部の
外形は、第2図(B)に示したものと同様に略四角柱状
に形成されている。中間部のうち1台座部りの下半部に
はその中心に大径穴2aが穿設され、また荷重印加部L
a寄りの上半部には上記大径穴2aと同軸上にその大径
穴2aよりも小さい(図においては1lI81/2.5
)小径穴2bが穿設される。従って、コラム1の中間
部のうち。
円弧状に形成された荷重印加部1aを有し、下端側には
同じく剛性が大きく、荷重に対する反力を受けるに適す
るように座面が形成された台座部1bを有し、中間部の
外形は、第2図(B)に示したものと同様に略四角柱状
に形成されている。中間部のうち1台座部りの下半部に
はその中心に大径穴2aが穿設され、また荷重印加部L
a寄りの上半部には上記大径穴2aと同軸上にその大径
穴2aよりも小さい(図においては1lI81/2.5
)小径穴2bが穿設される。従って、コラム1の中間
部のうち。
下半部は薄肉(小断面)とされて印加荷重に対し敏感に
感応してひずみを生じる起歪部3が設けられ、上半部は
厚肉(大断面)とされ印加荷重に対し少ないひずみを生
じる厚肉部4が設けられている。
感応してひずみを生じる起歪部3が設けられ、上半部は
厚肉(大断面)とされ印加荷重に対し少ないひずみを生
じる厚肉部4が設けられている。
ホイートストンブリッジを構成するひずみ変換用のひず
みゲージSG1〜SG4は、小なる断面積を有する起歪
部3の互いに180°ずれた外表面に、それぞれコラム
lの軸方向とこれに直交する方向に主軸方向が向けられ
て添着されている。これに対し非直線性補償用の半導体
ゲージ5は、大なる断面積を有する厚肉部4の互いに1
80°ずれた外表面に添着されている。
みゲージSG1〜SG4は、小なる断面積を有する起歪
部3の互いに180°ずれた外表面に、それぞれコラム
lの軸方向とこれに直交する方向に主軸方向が向けられ
て添着されている。これに対し非直線性補償用の半導体
ゲージ5は、大なる断面積を有する厚肉部4の互いに1
80°ずれた外表面に添着されている。
従って、このようなコラム型荷重変換器においては、半
導体ゲージ5が添着された厚内部4の断面積を、ひずみ
ゲージSGI〜SG4が添着された起歪部3の断面積よ
り大きく設定されているので、コラム1の荷重印加部1
aに軸方向の荷重が印加された場合における半導体ゲー
ジ5に生じるひずみは、ひずみゲージSGI〜SG4に
生じるひずみに比較して小さくなる。
導体ゲージ5が添着された厚内部4の断面積を、ひずみ
ゲージSGI〜SG4が添着された起歪部3の断面積よ
り大きく設定されているので、コラム1の荷重印加部1
aに軸方向の荷重が印加された場合における半導体ゲー
ジ5に生じるひずみは、ひずみゲージSGI〜SG4に
生じるひずみに比較して小さくなる。
依って、半導体ゲージ5に生じる疲労が少なくなり、疲
労寿命を長くすることができ、延いては、荷重変換器の
寿命を長くすることができる。
労寿命を長くすることができ、延いては、荷重変換器の
寿命を長くすることができる。
因みに、半導体ゲージ5に与えられるひずみが、100
0με (μg=10−’ひずみ)以下であれば、10
7程度の測定に充分に耐え得るので、t&大定格荷重時
によjいて半導体ゲージに生じるひずみが1000με
以下になるように大径穴2aと小径穴2bの直径の比を
設定すれば、半導体ゲージ5によって荷重変換器の寿命
が決定されてしまうことを回避することができる。具体
的には、起歪部3にかかるひずみが2000μεのとき
、ひずみゲージSGI〜SG4が添着された起歪部3に
おける断面積と半導体ゲージ5が添着された厚肉部4に
おける断面積との比を1=2以上になるように上記大径
穴2aと小径穴2bの直径比を設定すれば。
0με (μg=10−’ひずみ)以下であれば、10
7程度の測定に充分に耐え得るので、t&大定格荷重時
によjいて半導体ゲージに生じるひずみが1000με
以下になるように大径穴2aと小径穴2bの直径の比を
設定すれば、半導体ゲージ5によって荷重変換器の寿命
が決定されてしまうことを回避することができる。具体
的には、起歪部3にかかるひずみが2000μεのとき
、ひずみゲージSGI〜SG4が添着された起歪部3に
おける断面積と半導体ゲージ5が添着された厚肉部4に
おける断面積との比を1=2以上になるように上記大径
穴2aと小径穴2bの直径比を設定すれば。
半導体ゲージ5に生じるひずみの最大値を1000με
以乍にすることができ、荷重変換器の高寿命化を図るこ
とができる。
以乍にすることができ、荷重変換器の高寿命化を図るこ
とができる。
また、起歪部3と厚肉部4の断面積比を厳密に設定する
には、半導体ゲージ5のゲージ率や抵抗値によって非直
線性の補償量や、特性も異なることから、その半導体ゲ
ージ5として非直線性の補償が良好であると共に、荷重
変換用のひずみゲージSGI〜SG4の疲労寿命に匹敵
する疲労寿命となるように、設定すればよい。
には、半導体ゲージ5のゲージ率や抵抗値によって非直
線性の補償量や、特性も異なることから、その半導体ゲ
ージ5として非直線性の補償が良好であると共に、荷重
変換用のひずみゲージSGI〜SG4の疲労寿命に匹敵
する疲労寿命となるように、設定すればよい。
尚1本発明は、上述し且つ図面に示した実施例に何ら限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で
種々の変形実施が可能である。
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で
種々の変形実施が可能である。
例えば、起歪部3の外面形状としては、実施例のように
略四角柱状に限られるものではなく。
略四角柱状に限られるものではなく。
円柱状、その他の形状であってもよく、起歪部3の内部
に穿設される穴は、加工が困蔑でない限り、円形穴以外
の六であってもよい、また。
に穿設される穴は、加工が困蔑でない限り、円形穴以外
の六であってもよい、また。
実施例においては、下半部に起歪部3を、上半部に厚肉
部4を設けた例を示したが、逆に設けてもよい。
部4を設けた例を示したが、逆に設けてもよい。
また、荷重印加部1aは、ねじ部となっていてもよい。
(Q) 効果
以上に詳しく述べたところより明らかなように1本発明
によれば、n素な構成でコストの上昇を招くことなく、
起歪部に添着された荷重変換用ひずみゲージの荷重変換
特性の非直線性が良好に補償され、また、従来、実質的
に荷重変換器の寿命を決定していた非直線性補償用の半
導体ゲージの疲労寿命が大幅に延長化され、荷重変換器
全体として高寿命なコラム型荷重変換器を提供すること
ができる。
によれば、n素な構成でコストの上昇を招くことなく、
起歪部に添着された荷重変換用ひずみゲージの荷重変換
特性の非直線性が良好に補償され、また、従来、実質的
に荷重変換器の寿命を決定していた非直線性補償用の半
導体ゲージの疲労寿命が大幅に延長化され、荷重変換器
全体として高寿命なコラム型荷重変換器を提供すること
ができる。
第1図は、本発明の一実施例の構成を示す縦断面図、第
2図(A)および(B)は、従来例を示すもので、同図
(A)は縦断面図、同図(t3)は、同図(A)のX−
X線矢視方向断面図、第2図(C)は、同従来例に非直
線性補償用半導体ゲージを添着した一例を拡大して示す
側面図、第3図は、従来のひずみゲージにより構成され
たホイー1−ストンブリッジ回路を示す回路図、第4図
は、第3図に示す回路の荷重変換特性図で、実線が実際
の特性を示し、二点鎖線が理想特性を示すものであり、
第5図は、本発明に係るもので、非直線性補償用半導体
ゲージ等を付加した荷重変換器の回路図である。 1・・・・・・コラム、 1a・・・・・・荷重
印加部、1b・・・・・・台座部、 2a・・・
・・・大径穴、2b・・・・・・小径穴、 3・・・
・・・起歪部、4・・・・・・厚肉部、 5・・
・・・・半導体ゲージ。 5GI−5G4・・・・・・荷重変換用のひずみゲージ
、 BV・・・・・・ブリッジ電源。 “j・・ 1j 第1図 第 3 図 BV 第 4 図 負荷
2図(A)および(B)は、従来例を示すもので、同図
(A)は縦断面図、同図(t3)は、同図(A)のX−
X線矢視方向断面図、第2図(C)は、同従来例に非直
線性補償用半導体ゲージを添着した一例を拡大して示す
側面図、第3図は、従来のひずみゲージにより構成され
たホイー1−ストンブリッジ回路を示す回路図、第4図
は、第3図に示す回路の荷重変換特性図で、実線が実際
の特性を示し、二点鎖線が理想特性を示すものであり、
第5図は、本発明に係るもので、非直線性補償用半導体
ゲージ等を付加した荷重変換器の回路図である。 1・・・・・・コラム、 1a・・・・・・荷重
印加部、1b・・・・・・台座部、 2a・・・
・・・大径穴、2b・・・・・・小径穴、 3・・・
・・・起歪部、4・・・・・・厚肉部、 5・・
・・・・半導体ゲージ。 5GI−5G4・・・・・・荷重変換用のひずみゲージ
、 BV・・・・・・ブリッジ電源。 “j・・ 1j 第1図 第 3 図 BV 第 4 図 負荷
Claims (3)
- (1)起歪柱の起歪部に荷重変換用のひずみゲージが添
着され、前記起歪部の近傍に該ひずみゲージによる荷重
変換特性の非直線性を補償する半導体ゲージが添着され
、前記起歪柱に印加される荷重に対応した電気信号を得
るコラム型荷重変換器において、前記荷重変換用のひず
みゲージが添着された起歪部における断面積に対し前記
半導体ゲージが添着された部位における断面積が大きく
形成されてなることを特徴とするコラム型荷重変換器。 - (2)起歪部における断面積に対する半導体ゲージ添着
部位の断面積の比は、前記半導体ひずみゲージの疲労寿
命に対する前記荷重検出用のひずみゲージの疲労寿命の
比率に略対応させて設定されていることを特徴とするコ
ラム型荷重変換器。 - (3)前記半導体ゲージは、荷重検出用のひずみゲージ
で形成されるホイートストンブリッジ回路のブリッジ電
源供給路に直列に回路挿入されていることを特徴とする
コラム型荷重変換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61076497A JPH0715415B2 (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | コラム型荷重変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61076497A JPH0715415B2 (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | コラム型荷重変換器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62233731A true JPS62233731A (ja) | 1987-10-14 |
JPH0715415B2 JPH0715415B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=13606858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61076497A Expired - Lifetime JPH0715415B2 (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | コラム型荷重変換器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0715415B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260605A (ja) * | 1994-03-22 | 1995-10-13 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 車両用変速機のチェンジレバー操作力検出装置 |
JP2007303914A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 荷重センサ |
CN104931165A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-09-23 | 东莞市华兰海电子有限公司 | 一种高灵敏度应力传感器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59143929A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Tokyo Electric Co Ltd | ロ−ドセル秤 |
-
1986
- 1986-04-04 JP JP61076497A patent/JPH0715415B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59143929A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Tokyo Electric Co Ltd | ロ−ドセル秤 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07260605A (ja) * | 1994-03-22 | 1995-10-13 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 車両用変速機のチェンジレバー操作力検出装置 |
JP2007303914A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 荷重センサ |
CN104931165A (zh) * | 2015-06-29 | 2015-09-23 | 东莞市华兰海电子有限公司 | 一种高灵敏度应力传感器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0715415B2 (ja) | 1995-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4640138A (en) | Multiple axis load sensitive transducer | |
US3004231A (en) | Parallelogram beam type load cell | |
WO1988008521A1 (en) | Force and moment detector using resistor | |
US20150160081A1 (en) | Low profile multi-axis load cell | |
US4771640A (en) | Load introducing device | |
US3289134A (en) | Gaged diaphragm pressure transducer | |
JP4933838B2 (ja) | センタホール型荷重変換器 | |
JP4249735B2 (ja) | 力センサ | |
JPS62233731A (ja) | コラム型荷重変換器 | |
O'Dogherty | A dynamometer to measure the forces on a sugar beet topping knife | |
US3034346A (en) | Compensation of strain gauge transducer non-linearity | |
US3518886A (en) | Analog converter | |
JPS59184819A (ja) | 半導体圧力センサ | |
JPS6351488B2 (ja) | ||
JPH01262431A (ja) | 力覚センサ | |
US3320802A (en) | Device for measuring force | |
US3358501A (en) | Linearization of output signals from load cell bridge circuits | |
JPH03249530A (ja) | 分布型触覚センサ | |
JPH0194234A (ja) | 荷重変換器 | |
JPS62211526A (ja) | 曲げモ−メントが生じないように分割された板ばねを有する、力又は圧力を受容するための機構 | |
JPH04204060A (ja) | 半導体加速度検出装置 | |
JP4464005B2 (ja) | 高剛性荷重変換器 | |
JPH0339569B2 (ja) | ||
JP2683633B2 (ja) | ロードセル式電子秤の荷重検出回路 | |
JPS62242801A (ja) | 非直線性補償機能を備えた荷重変換器 |