JPS62232974A - 光電変換膜の作製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、ファクシミリや文字画像の読み取り入力装置
に用いられる例えば密着型イメージセンサ−等を構成す
る光電変換膜の作製方法に関するものである。

〈従来の技術〉 一般にラインセンサを用いた画像読取り装置では、螢光
管や発光ダイオード（ＬＥＤ）アレイなどで照明された
原稿の情報を光学レンズや口・ノドレンズアレイを通し
てセンサ上に結像し、原稿またはセンサを移動させるこ
とにより、２次元情報を読み取る様に構成されている。

従来この種の受光センサとしては、−次元の固体イメー
ジ素子（ＣＣＤまたはＭＯＳ型）を用い、原稿像をスリ
、ット露光かつ縮少結像することにより、対応した画像
情報信号を得ている。この−次元イメージ素子はＩＣ技
術を使って作製される３０瓢程度の大きさの素子であり
、このため原稿からの反射光を縮小して受光部へ導くに
は光路長の長い光学系を用いざるを得す、装置の小型化
が困難である。更にこの様な装置では光学系の複雑な調
節が必要であり、また画面周辺部の光量低下、分解能の
劣化と８°＊Ｉ”Ｊ［４’４Ｅｌｌ・　　　　　８これ
らの問題点の改善のために原稿幅１同一寸法の長さの長
尺イメージ素子を用い、ファイバーレンズアレイを用い
て密着結像するいわゆる密着型イメージ素子が提案され
ている。この様な素子では大型の光電変換部が必要で大
面積に渡る均一な光電変換膜の形成が要求される。

現在長尺のイメージセンサを作るため非晶質シリコン薄
膜等が提案されているが、長尺に渡る光電変換特性の均
一化が困難であり、異常結晶生長等による画素欠陥が生
じやすい等、歩留まり及び再現性が悪く、まだ、ＣＶＤ
装置等の設備投資が莫〆大でコスト面でも問題がある。

この様な長尺の光電変換素子を歩留り良く低コストで得
るため、ＩＩ−ＩＶ族化合物半導体粉末を融剤であるＣ
ｄのハロゲン化物の一種以上及び低融点ガラスフリット
を有機オイルと共に調合し、サンドグラインダー装置に
て混練粉砕しペーストを作製したものを基板に塗布し該
基板を熱処理して光電変換を作製する方法が提案されて
いる。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかし、上記のような方法においては、サンドグライン
ダー分散時にペースト中に気泡が多量に取り込まれ、基
板への塗布時に膜表面に気泡が発生し、その部分の膜厚
が薄くなったり、ピンホールが生じ、読取り画素間の出
力のバラツキまたは欠陥となる等の問題点があった。

本発明は、上記の点に鑑みて創案されたものであり、上
述の技術的課題を解決し、サンドグラインダー分散時に
取り込まれた気泡を除去すること作製できる光電変換膜
の作製方法を提供することを目的としている。

〈問題点を解決するための手段〉 上記の目的を達成するため、本発明はＩＩ−ＩＶ族化合
物半導体粉末を融剤であるＣｄのハロゲン化物の一種以
上及び低融点ガラスフリットを有機オイルと共に調合し
、サンドグラインダー装置にて混練、粉砕し、ペースト
状にしだものを基板に塗布し、この基板を熱処理して光
電変換膜を作製する光電変換膜の作製方法であって、サ
ンドグラインダー分散前まだは直後に消泡剤を添加する
ように構成している。

即ち、本発明は、ペーストの原料調合時またはサンドグ
ラインダー分散後に例えばシリコンオイルを主成分とす
る消泡剤をペースト中に混入し、サンドグラインダー分
散時にペースト中に取り込まれる気泡を除去することに
より優れた光電変換膜を得られるように成したことを特
徴としている。

〈作　用〉 本発明に従えば、ペースト中にシリコンオイル等の消泡
剤を添加することにより、ペースト中の気泡を脱泡作用
により除去し、このペーストラ基板に塗布するときに生
じる光電変換膜のペースト中の気泡に起因する膜の陥没
及び平坦性の悪化、膜の欠落（ピンホール）をなくし、
光電変換膜の特性の均−化及び歩留りの向上が計られる
。

〈実施例〉 次に本発明を実施例を挙げて、更に詳細に説明するが、
以下に示す実施例はあくまでも一例であって、これらの
実施例により本発明の技術的範囲を限定するものではな
い。

まず、化学析出法で得たＣｕＣｌ２を２５０ｐｐｍ含有
するＣｄＳｅ生粉及びＣｄＳ生粉をそれぞれ窒素中８０
０℃で焼成し得られた平均粒径３．５μｍのＣｄＳｅ粉
末及び粒子径（平均粒径）２．５μｍのＣｄＳ粉末を（
ＣｄＳｅ　）ｏ、ｇ　（ＣｄＳ）ｏ、２の割合で秤量し
、ＣｄＣｌ２を５．１モル％添加し、チニングオイルと
共に調合した。これらの物質をサンドグラインダ容器に
入れ、アルミナボールのメディアと共に攪拌し、ＣｄＳ
、ＣｄＳｅ、ＣｄＣｌ２等の粉砕及び混練を約１１時間
行ないペーストを作製する。

次に、このサンドグラインダー分散によりペースト中に
取り込まれた気泡を脱泡するため、ペースト重量ｌｏｇ
に対しシリコンオイルを主成分とする消泡剤０．１ｇ添
加し、超音波分散法にて水冷却しながら６００Ｗの出力
で２０分間分散し、その後３０分間靜置市ることにより
消泡処理を行なう。この結果シリコンオイルによりペー
ストの表面張力か低くなりペースト中の気泡がはじけや
すくなり、消泡が促される。

この様に作製したペーストをスクリーン印刷法にてコー
ニング１７０５９ガラス板上に３ＷＩＩＩ幅。

２２０ａ長のストライプ状に膜厚１０μｍに塗布する。

このとき膜厚分布は±０．５μｍの範囲内に収まり、ロ
フト間の膜厚分布も±１μｍの範囲に収まり、塗布膜の
膜厚制御性が非常に良くなる。

次に、この塗布膜をエアー雰囲気中で４７０℃×２Ｈの
熱処理を行ない微結晶粒を結晶成長させる。

この熱処理に伴い膜厚は６μｍへ収縮する。

次に、リフトオフ法を用いたフォトリ＼グラフイ一工程
によりチタン（Ｔｉ）電極を光電変換膜上に１２５μｍ
ピッチにて１７２８画素分形成し、さらに信号処理を簡
単にするためマトリックス配線を施こす。

上記の方法で作製した素子は、バイアス電圧１２ｖ、波
長６９５μｍ、１６０μＷ／ｃ４．１００Ｈｚの入射光
に対して８００μＡの信号電流を読み取ることが出来１
．各画素間の均一性±５％光応答速度は５ｍ５ｅｃ以下
であった。これに対しサンドグラインダー分散後ペース
ト中に消泡剤を加えない場合、塗布後の膜厚分布は７±
３μｍとなり、ロット間の膜厚分布も±４μｍの範囲と
なる。この結果素子の特性は、平均膜厚の減少から５０
０μＡと低くなり、特に各画素間の均一性は±２０％と
非常に悪い。これは塗布後の膜厚の変化に対応しており
薄くなると出力は減少するためである。

また、サンドグラインダー分散後消泡剤を添加しないペ
ーストを塗布し走時塗布膜に直径０．１〜２節φ程度の
くぼみ及びピンホールが生じることがあり、この上にＴ
ｉ電極が形成された場合、その画素が出力の出ない欠陥
画素となる場合があるが、これはペースト中のアワが塗
布直後はじけて生じるためであり、本発明の様にペース
ト中の気泡をなくすことにより、欠陥画素を皆無にする
ことができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
例えばサンドグラインダー分散前に消泡剤を添加するよ
うに成しても同様に良好な結果を得ることが出来た。

また消泡剤の量も、ペースト重量に対して０．０５〜５
％の範囲の割合で添加することにより良好な結果が得ら
れた。

〈発明の効果〉 以上の様に本発明にあっては、サンドグラインダー分散
前、またその直後にシリコンオイルを主成分とする消泡
剤を添加することにより、サンドグラインダー分散時に
取り込まれた気泡を除去することが出来、その結果、膜
厚の均一な、かつピンホールの無い光電特性の均一性の
優れた光電変換膜を作製することが出来る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、II−IV族化合物半導体粉末を融剤であるＣｄのハロ
   ゲン化物の一種以上及び低融点ガラスフリットを有機オ
   イルと共に調合し、サンドグラインダー装置にて混練、
   粉砕し、ペースト状にしたものを基板に塗布し、該基板
   を熱処理して光電変換膜を作製する光電変換膜の作製方
   法であって、 サンドグラインダー分散前または直後に消泡剤を添加す
   ることを特徴とする光電変換膜の作製方法。 ２、前記消泡剤はシリコンオイルを主成分とすることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光電変換膜の作
   製方法。 ３、前記消泡剤は、ペースト重量に対し０．０５〜５％
   の割合で添加してなることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の光電変換膜の作製方法。